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光学显微三维测量解耦合准则 被引量：10
1
作者 刘俭 谷康 +1 位作者 李梦周 谭久彬 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第3期1-7,共7页
光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器... 光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系。与现有W/3准则相比,光学显微三维测量解耦合准则能够客观反映光学仪器表征能力受样品结构差异变化的影响,指示高度测量解耦合评定的示值区域,预见高度测量原理误差产生,为沟槽或台阶样品三维结构表征提供了一种新的计量评定准则。 展开更多
关键词 解耦合准则 光学显微测量 薄样品测量 深沟槽测量 台阶高度
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三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征 被引量：2
2
作者 王陈 孟宪昱 +2 位作者 于瀛洁 孔明 刘维 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期651-658,共8页
三维微纳米台阶光学显微测量信息为多维形貌数据,其数据量庞大复杂、多维相关性低、表征难度大,且通常存在测量坏点影响关键尺寸表征精度。本文提出了一种三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征方法。首先,针对三维微纳米台阶的结... 三维微纳米台阶光学显微测量信息为多维形貌数据,其数据量庞大复杂、多维相关性低、表征难度大,且通常存在测量坏点影响关键尺寸表征精度。本文提出了一种三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征方法。首先,针对三维微纳米台阶的结构特征选取测量系统并设计测量方法,获取其三维形貌点云数据信息;其次,建立三维形貌实测数据维度重构方法,将复杂的多维面形数据降维至有序二维空间;基于K-means聚类算法和数据映射,创建台阶高度参数量化表征模型,实现识别离群值的同时将二维数据点集中的质心距离映射为台阶高度值;最后,通过迭代收敛设计,进一步提高算法表征的准确度和鲁棒性。对两种微纳台阶标准物质进行实验,结果表明,在测量存在离群值等坏点情况下,本方法能够高精度表征出台阶高度参数,与校准值比对,误差小于1.5%。 展开更多
关键词 三维纳米结构 台阶高度 光学显微测量 参数表征 三维形貌
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相移与焦移法在调制度测量轮廓术中的应用
3
作者 陆泳屹 钟敏 +6 位作者 赵旭 王嘉卉 张学琴 李敏 甘曜玮 戴湘麟 黄锴志 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第15期80-88,共9页
提出一种基于相移与焦移法的三维面形垂直测量方法,当投影仪变焦扫描被测物体的深度信息时,将三步相移中的三帧条纹图依次连续循环投影到被测物体表面上,相机同步采集对应的条纹图。在计算投影仪每一焦距值对应的条纹图的调制度分布时,... 提出一种基于相移与焦移法的三维面形垂直测量方法,当投影仪变焦扫描被测物体的深度信息时,将三步相移中的三帧条纹图依次连续循环投影到被测物体表面上,相机同步采集对应的条纹图。在计算投影仪每一焦距值对应的条纹图的调制度分布时,利用该焦距位置及其前后相邻焦距值位置处的三帧条纹图近似计算该焦距位置处的调制度分布,并根据调制度值最大值与深度信息的关系重建被测物体的三维形貌。实验结果表明,所提方法的条纹投影量和数据采集量仅占传统三步相移法的1/3,却可获得与传统三步相移法几乎相同的测量精度。在1100μm测量深度范围内,相移与焦移法对任意位姿斜面的测量均方根误差平均值可达4.98μm。 展开更多
关键词 测量 光学微观三维面形测量 调制度测量轮廓术 垂直测量 相移方法
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钢丝绳网紧固件镀锌层厚度测量不确定度评定
4
作者 宋梦佳 尹亚豪 +1 位作者 郭磊 苏建锋 《理化检验（物理分册）》 CAS 2024年第4期34-36,共3页
根据JJF 1059.1—2012及GB/T 6462—2005对影响钢丝绳网紧固件镀锌层厚度的不确定度因素进行分析,评定了合成不确定度和扩展不确定度,通过人员比对分析的方法确定归一化偏差,给出了评定意见。
关键词 钢丝绳网紧固件 光学显微镜 镀锌层厚度不确定度 测量重复性 示值误差
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三维视频光学显微镜在高分子材料形貌分析中的应用
5
作者 徐文文 刘莹峰 +2 位作者 许齐勇 庞承焕 吴博 《合成材料老化与应用》 2020年第5期19-21,共3页
三维视频光学显微镜能够快速捕获高画质的图像,并且制样简单,测试方便快捷,在不同行业的形貌分析工作中有着广泛的应用,尤其是在质量保证、故障分析、产品研发、取证工作中能够发挥出色的作用。该文以塑料、橡胶、纤维等高分子材料和制... 三维视频光学显微镜能够快速捕获高画质的图像,并且制样简单,测试方便快捷,在不同行业的形貌分析工作中有着广泛的应用,尤其是在质量保证、故障分析、产品研发、取证工作中能够发挥出色的作用。该文以塑料、橡胶、纤维等高分子材料和制品为实验对象,以徕卡三维视频光学显微镜为例,简要阐述了其在不同高分子材料或制品二维和三维形貌拍摄和测量中的应用。 展开更多
关键词 光学显微镜 形貌分析 二维测量 三维成像 颗粒分析
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过焦扫描光学显微测量技术综述
6
作者 石俊凯 李冠楠 +3 位作者 霍树春 姜行健 陈晓梅 周维虎 《计测技术》 2023年第1期18-29,共12页
随着半导体产业的发展和器件性能的不断提升,半导体器件的特征尺寸越来越小,器件结构越来越复杂,对检测仪器的性能提出了更高的要求。首先介绍过焦扫描光学显微法(Through-focus Scanning Optical Microscope,TSOM)的测量装置及测量原理... 随着半导体产业的发展和器件性能的不断提升,半导体器件的特征尺寸越来越小,器件结构越来越复杂,对检测仪器的性能提出了更高的要求。首先介绍过焦扫描光学显微法(Through-focus Scanning Optical Microscope,TSOM)的测量装置及测量原理,该方法可实现三维几何参数的无损测量,因其具有精度高、速度快、成本低等优点,可以满足在线测量的需求;然后从TSOM图构建和待测参数提取两个方面对TSOM方法的研究进展进行了梳理和归纳;最后对TSOM方法未来的研究重点和发展方向进行了展望。该方法有望为我国半导体制造产业提供新的检测手段,为优化和提升我国半导体制造工艺提供重要的技术支撑。 展开更多
关键词 光学微纳测量 过焦扫描光学显微法 深度学习 无损测量
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