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题名用于纳米级表面形貌测量的光学显微测头
被引量：9
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作者
李强
任冬梅
兰一兵
李华丰
万宇
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机构
航空工业北京长城计量测试技术研究所计量与校准技术重点实验室
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出处
《计测技术》
2022年第2期91-96,共6页
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基金
国家技术基础科研项目(JSJL2015205C004)。
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文摘
为了满足纳米级表面形貌样板的高精度非接触测量需求,研制了一种高分辨力光学显微测头。以激光全息单元为光源和信号拾取器件,利用差动光斑尺寸变化探测原理,建立了微位移测量系统,结合光学显微成像系统,形成了高分辨力光学显微测头。将该测头应用于纳米三维测量机,对台阶高度样板和一维线间隔样板进行了测量实验。结果表明:该光学显微测头结合纳米三维测量机可实现纳米级表面形貌样板的可溯源测量,具有扫描速度快、测量分辨力高、结构紧凑和非接触测量等优点,对解决纳米级表面形貌测量难题具有重要实用价值。
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关键词
纳米测量
激光全息单元
位移
光学显微测头
纳米级表面形貌
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Keywords
nano measurement
laser holographic unit
displacement
optical microscope probe
nano-scale topography
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分类号
TB96
[机械工程—光学工程]
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题名近场光学显微探针技术
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作者
张娟娜
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机构
上海大学物理系
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
2002年第10期49-54,共6页
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文摘
讨论了近年来近场光学显微探针技术的一些发展,重点介绍了原子量级的两类探针:单分子探针和单离子探针。
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关键词
近场光学显微探针技术
单分子探针
单离子探针
探针工作原理
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Keywords
near-field optical microscope probe, single molecule probe, single ion probe
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分类号
TP73
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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