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复眼透镜提高液晶投影照明系统的能量利用率 被引量：22
1
作者 周平 陆巍 +3 位作者 林宇翔 郑臻荣 李海峰 顾培夫 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期587-591,共5页
照明系统是液晶投影仪的重要组成部分 ,它将直接影响到投影仪的光能利用率以及色彩等系统性能。对于复眼照明系统 ,复眼透镜的良好设计可以大大提高系统的能量利用率。在对液晶投影照明系统的原理进行分析的基础上 ,提出了两种复眼透镜... 照明系统是液晶投影仪的重要组成部分 ,它将直接影响到投影仪的光能利用率以及色彩等系统性能。对于复眼照明系统 ,复眼透镜的良好设计可以大大提高系统的能量利用率。在对液晶投影照明系统的原理进行分析的基础上 ,提出了两种复眼透镜的设计方案。两种方案均采用矩形子复眼 ,便于设计和加工。通过对复眼透镜中每个子复眼进行偏心以及改变其形状大小来提高系统能量利用率。计算机模拟结果表明 ,两种设计方案与传统设计相比 ,在光能利用率上分别提高了 16 .5 %和 2 6 .3% ,并且具有较高的均匀性。最后 ,还对两种复眼透镜的设计方案进行了分析和比较。 展开更多
关键词 复眼透镜 液晶投影照明系统 光能利用率 均匀性 偏振光分离器 光学设计
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偏振分束器对光学电流传感器稳定性的影响 被引量：12
2
作者 李红斌 刘延冰 汪本进 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期159-161,共3页
采用偏振光学理论 ,详细分析了光学电流传感器中偏振分束器消光比的变化对传感器性能的影响 ,得到了偏振分束器消光比与传感器输出的关系式 ,并用系统实验进行了验证 .理论及实验结果的吻合证明了光学电流传感器稳定性直接受偏振分束器... 采用偏振光学理论 ,详细分析了光学电流传感器中偏振分束器消光比的变化对传感器性能的影响 ,得到了偏振分束器消光比与传感器输出的关系式 ,并用系统实验进行了验证 .理论及实验结果的吻合证明了光学电流传感器稳定性直接受偏振分束器两路消光比影响的结论 . 展开更多
关键词 光学电流传感器 偏振分束器 消光比
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新型小尺寸窄带偏振分光器在光纤通信中的应用 被引量：18
3
作者 李美萱 董连和 +1 位作者 张雷 冷雁冰 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期4072-4075,共4页
在光纤通信中,为了在不改变调制波长范围的基础上仍能实现更多数据通道的波分复用,设计了一种新型的小尺寸窄带偏振分光器,用于对现有的数据通信网络进行扩容以及提高光信号的信噪比。在该分光器上蒸镀了两种新设计的膜系,一层是窄带滤... 在光纤通信中,为了在不改变调制波长范围的基础上仍能实现更多数据通道的波分复用,设计了一种新型的小尺寸窄带偏振分光器,用于对现有的数据通信网络进行扩容以及提高光信号的信噪比。在该分光器上蒸镀了两种新设计的膜系,一层是窄带滤光膜,另一层是偏振分光膜。采用TFCalc软件仿真,设计结果中窄带滤光膜的带宽约为0.4nm,偏振分光膜在1 530~1 560nm范围内对p光的通透性能优于99.8%。基于以上膜系设计在BK7光学玻璃上实际制备两组膜系,实验采用Agilent 8164-A型光波测量系统对经过膜后的光进行光谱分析。结果显示,窄带滤光膜的实际带宽优于0.4nm,增益平坦度小于-0.05dB,相比现有常见的0.8nm滤光膜具有更窄的带宽,可以实现在调制波长范围不变的条件下增大波分复用的数据通道总量。偏振滤光膜的实际p光透光率为99.6%,相比仿真值略低,但仍优于设计要求,相比传统分光器的光信号强度保留效果更好,具有更高的信噪比。综上所述,该分光器具有更好的应用价值和实用意义。 展开更多
关键词 光纤通信 膜系设计 窄带滤光膜 偏振分光
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冰洲石-玻璃组合三元结构平行分束偏光镜 被引量：16
4
作者 任树锋 吴福全 +1 位作者 赵培 唐恒敬 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期311-312,316,共3页
为了既节省稀有昂贵的冰洲石晶体材料,又实现偏振光的大剪切差输出,采用冰洲石晶体与光学玻璃组合的方法,给出一种新型平行分束偏光镜的设计。该棱镜为ZBaF3玻璃中间夹冰洲石晶体薄片的三元结构,并由大折射率液态胶合剂溴代萘胶合而成... 为了既节省稀有昂贵的冰洲石晶体材料,又实现偏振光的大剪切差输出,采用冰洲石晶体与光学玻璃组合的方法,给出一种新型平行分束偏光镜的设计。该棱镜为ZBaF3玻璃中间夹冰洲石晶体薄片的三元结构,并由大折射率液态胶合剂溴代萘胶合而成。理论分析和实验测试表明,该棱镜消光比优于10-3,且可以实现大的横向剪切。 展开更多
关键词 光学器件 偏振光学 平行分束偏光镜 剪切差 消光比
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光束分束比对2μm平衡式相干探测系统信噪比影响的实验研究 被引量：15
5
作者 王春晖 高龙 +3 位作者 庞亚军 刘磊 李彦超 曲杨 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期53-58,共6页
给出了平衡式相干探测系统的一般信噪比数学模型,对该数学模型和普通单源相干探测系统的信噪比模型进行了数值仿真对比研究。仿真结果表明,当平衡式相干探测系统中的光电探测器理想匹配时,其系统的信噪比以分束比系数等于0.5呈对称分布... 给出了平衡式相干探测系统的一般信噪比数学模型,对该数学模型和普通单源相干探测系统的信噪比模型进行了数值仿真对比研究。仿真结果表明,当平衡式相干探测系统中的光电探测器理想匹配时,其系统的信噪比以分束比系数等于0.5呈对称分布;而当光电探测器失配时,系统的最大信噪比所对应的最佳光束分束比发生偏离。最后搭建了2μm平衡式相干探测实验系统,实验结果表明,在相同的输入光功率下,平衡式相干探测系统的最大信噪比比普通单源相干探测系统的信噪比高19dB;平衡式相干探测系统的信噪比趋于饱和的范围比普通相干探测系统趋于饱和的范围宽大约0.2。 展开更多
关键词 光学测量 平衡式相干探测 光束分束比 量子效率 散粒噪声
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星地激光通信系统偏振特性分析 被引量：10
6
作者 王超 江伦 +2 位作者 董科研 安岩 姜会林 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2015年第12期66-71,共6页
对于星地激光通信,使用圆偏振光进行传输是其较优的选择,此时必须对其光学系统进行偏振定标。利用菲涅耳公式及琼斯矩阵对影响光学系统偏振态的因素进行了分析。针对一个特定的星地激光通信发射光学系统,给出了系统结构以及存在于系统... 对于星地激光通信,使用圆偏振光进行传输是其较优的选择,此时必须对其光学系统进行偏振定标。利用菲涅耳公式及琼斯矩阵对影响光学系统偏振态的因素进行了分析。针对一个特定的星地激光通信发射光学系统,给出了系统结构以及存在于系统中的几种不同分光膜系的曲线。利用光学软件ZEMAX,对初始状态为线偏振的激光在光学系统中传播过程的每一步进行偏振特性分析。分析结果表明:对于空间光通信光学系统,45°放置的分光片和反射镜是导致偏振态改变的主要因素;一般意义上的消偏振膜系只能保证p分量和s分量的能量透射率相同,但p光和s光之间仍存在相位延迟,造成偏振态变化;调整入射光的光矢量方向至与入射面平行或垂直,可将光学系统引起的仪器偏振误差降至最低。 展开更多
关键词 光通信 星地激光通信 光学系统 偏振特性 波长分光片
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一种自由空间光通信光路的设计与分析 被引量：5
7
作者 支新军 艾勇 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期197-199,216,共4页
提出了一种用于自由空间光通信的光学系统的设计方法,在这种设计方法中通过卡塞格伦天线实现对激光束的准直,通过偏振分光镜和γ/2波片的巧妙使用来减少杂散光和反射光对信号光的干扰,通过对光学系统的自动跟踪控制消除了通信终端的失... 提出了一种用于自由空间光通信的光学系统的设计方法,在这种设计方法中通过卡塞格伦天线实现对激光束的准直,通过偏振分光镜和γ/2波片的巧妙使用来减少杂散光和反射光对信号光的干扰,通过对光学系统的自动跟踪控制消除了通信终端的失准问题。分析和实验表明,基于该光学系统的通信终端激光发散角达到0.4 mrad,对准误差小于6μrad,可实现2 km的自由空间光通信。 展开更多
关键词 自由空间光通信 光学天线 偏振分光镜 自动跟踪
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红外短波/长波分色片的研究 被引量：7
8
作者 章岳光 王颖 +3 位作者 孙雪铮 沈伟东 刘旭 顾培夫 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期597-601,共5页
短波红外/长波红外分色片在红外双波段成像光学系统中起着重要的作用。分析了分色片基板和薄膜材料的选择。选定硒化锌为基板,采用Ge,ZnSe和YbF3作为薄膜材料进行了优化设计,并对沉积温度和蒸发速率等工艺条件进行了优化,用电子束蒸发... 短波红外/长波红外分色片在红外双波段成像光学系统中起着重要的作用。分析了分色片基板和薄膜材料的选择。选定硒化锌为基板,采用Ge,ZnSe和YbF3作为薄膜材料进行了优化设计,并对沉积温度和蒸发速率等工艺条件进行了优化,用电子束蒸发方法制备了该分色片,其反射率和透射率都达到了93%以上,已成功应用于实际光学系统中。 展开更多
关键词 薄膜光学 分色片 硒化锌基板 红外双波段成像光学系统
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与偏振无关的双向3×3光开关结构设计 被引量：6
9
作者 杨俊波 苏显渝 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1279-1284,共6页
利用传统成熟的偏振控制技术,设计了一种由偏振光分束器、相位型空间光调制器、反射镜和四分之一波片构成的3×3光开关。该光开关具有结构紧凑规整、功能的实现与信号光的偏振态无关以及可以完成双向交换等特点。根据其路由控制表对... 利用传统成熟的偏振控制技术,设计了一种由偏振光分束器、相位型空间光调制器、反射镜和四分之一波片构成的3×3光开关。该光开关具有结构紧凑规整、功能的实现与信号光的偏振态无关以及可以完成双向交换等特点。根据其路由控制表对该3×3光开关交换模块功能的实现进行了分析,结果表明,通过对各相位型空间光调制器状态的调整,控制通过其信号光的偏振态,完成信号光的路由,该交换模块可以完成输入信号光的全排列无阻塞输出与交换。同时,该交换模块具有一定的扩容和重构能力,对于构建大规模的交换矩阵具有一定的作用。 展开更多
关键词 光通信 光开关 偏振光分束器 相位型空间光调制器
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基于光子晶体自准直效应的太赫兹偏振分束器设计 被引量：6
10
作者 汪静丽 刘洋 陈鹤鸣 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期298-304,共7页
提出了一种新型、紧凑的光子晶体太赫兹(THz)偏振分束器,利用自准直效应实现横电(TE)模和横磁(TM)模的无衍射传输,利用禁带特性实现TE模和TM模的分离。基于平面波展开法和时域有限差分法对太赫兹偏振分束器的性质进行仿真建模分析,结果... 提出了一种新型、紧凑的光子晶体太赫兹(THz)偏振分束器,利用自准直效应实现横电(TE)模和横磁(TM)模的无衍射传输,利用禁带特性实现TE模和TM模的分离。基于平面波展开法和时域有限差分法对太赫兹偏振分束器的性质进行仿真建模分析,结果表明,该偏振分束器在2.9~3.01THz频率范围内可实现偏振分离;频率为3THz时,TE模的反射率和TM模的透射率均高于90%,TE模和TM模的消光比分别高达19.9dB和26.24dB。此外,与以往的光子晶体太赫兹偏振分束器相比,所提出的偏振分束器设计简单,更易于实现(无需引入缺陷),尺寸更微小(650μm×650μm),带宽更宽(2.9~3.01THz)。 展开更多
关键词 光学器件 太赫兹 偏振分束器 平面波展开法 时域有限差分法 光子晶体 自准直
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基于下山单纯形算法的宽带光子晶体1×3分束器研究 被引量：1
11
作者 许健 施鹏程 +1 位作者 施伟华 李培丽 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期45-53,共9页
提出了一种基于二维光子晶体的波导型宽带光子晶体1×3分束器,通过在波导分支处引入一个调控介质柱并优化其半径和偏移量,可以调控分束器各输出端口的透过率;通过在两分支波导内侧引入三组带宽优化介质柱并优化其半径,可以实现分束... 提出了一种基于二维光子晶体的波导型宽带光子晶体1×3分束器,通过在波导分支处引入一个调控介质柱并优化其半径和偏移量,可以调控分束器各输出端口的透过率;通过在两分支波导内侧引入三组带宽优化介质柱并优化其半径,可以实现分束器的宽带特性。为了提高优化效率,获得性能优良的宽带分光比可设计的分束器,利用下山单纯形算法,根据特定的分光比目标,对提出的1×3分束器进行逆向设计和研究。结果表明,不仅提高了光子晶体分束器的优化效率,而且获得了性能优良的宽带分束器。设计的1×3等比分束器在1525~1565 nm带宽范围内的附加损耗低于0.199 dB,均匀性小于0.119 dB,响应时间在0.5 ps以内;设计的1×3不等比分束器在1525~1565 nm带宽范围内的附加损耗不大于0.177 dB,分束方差不大于6.88×10^(-4),响应时间在0.5 ps以内。该分束器在未来全光通信网、光子高密度集成等领域具有很好的应用前景。 展开更多
关键词 光学器件 光子晶体 分束器 宽带 下山单纯形算法
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近红外波段偏振编码用分色片的设计与制作 被引量：5
12
作者 尹欣 刘定权 +2 位作者 段微波 李大琪 陈刚 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期505-509,共5页
在基于偏振编码的光通信试验中,需要对不同波长的线偏光进行光路分离,同时要保持分离后线偏光的偏振方向和消光比,为此设计和制备了入射角为45°的810 nm波长透射/850 nm波长反射的近红外分色片.为了抑制斜入射条件下工作波长附近s... 在基于偏振编码的光通信试验中,需要对不同波长的线偏光进行光路分离,同时要保持分离后线偏光的偏振方向和消光比,为此设计和制备了入射角为45°的810 nm波长透射/850 nm波长反射的近红外分色片.为了抑制斜入射条件下工作波长附近s、p偏振分量的能量、相位分离,选择了合适的基础膜系,利用旁反射带边缘透、反射带光谱过渡迅速的特性,实现了临近波长的光路分离,也减小了偏振分离;通过非规整膜层的相位补偿和软件自动优化,实现了设计目标.分别选用TiO2和SiO2为高低折射率膜层材料,以离子束辅助沉积技术镀制薄膜,采用光学极值法和晶体振荡法结合的方式控制膜层厚度.制备样品的消光比在波长810 nm处达到7000∶1以上,在850 nm处达到20000∶1,实现了分色片对相位的控制,满足了偏振编码光通信试验的需求. 展开更多
关键词 光学薄膜 分色片 消偏振设计 相位控制 偏振编码
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用于光网络通信的Si基光子集成器件的研究 被引量：4
13
作者 王启明 《南京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期23-30,共8页
报导了可用于光网络系统终端OADM和OXC的Si基长波长量子阱窄带响应光电接收器 ,MOEMS和F_PTO宽频域光学滤波器 ,M_Z型TO光开关和MMI多路分束器以及可变光强衰减器 .用应变层SiGe/SiMQW研制的RCE光电接收器响应谱半宽FWHM <6nm ,外量... 报导了可用于光网络系统终端OADM和OXC的Si基长波长量子阱窄带响应光电接收器 ,MOEMS和F_PTO宽频域光学滤波器 ,M_Z型TO光开关和MMI多路分束器以及可变光强衰减器 .用应变层SiGe/SiMQW研制的RCE光电接收器响应谱半宽FWHM <6nm ,外量子效率 η >4 .2 % ;采用表面微机械加工的桥式光学滤波器 ,当外加电压 0→ 50V ,连续可调谐范围达 90nm ;采用全平面工艺研制的F_P腔TO滤波器 ,当外加电流 0→ 57mA时 ,连续可调谐范围达 2 3nm ,FWHM <0 .5nm .在SOISi基片上研制的M_ZTO波导光开关 ,开关时间 <30 μs,功耗～ 10 0mW .开关消光比_13dB和_10dB ,1× 4MMI多路分束器输出光场的不均衡性 <0 .36dB ,总插入损耗 6 .9dB .用背向对接的MMI构成的M_Z干涉仪实现了光强的可变调最大衰减量 2 6dB ,响应时间 10 0 μs,插入损耗 4 .8～ 7dB . 展开更多
关键词 Si基集成 光电探测器 光学滤波器 光开关 光分路器 光强衰减器
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硅基二氧化硅偏振分束器的设计及误差分析 被引量：4
14
作者 潘盼 李伶俐 蔡雪原 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2017年第12期405-411,共7页
设计了一种非对称臂马赫-曾德尔干涉仪(MZI)型硅基二氧化硅偏振分束器(PBS),在1535~1565nm波长范围内,其偏振消光比大于20dB,插入损耗大于-0.5dB。采用有限差分-束传播法(FD-BPM)进行误差分析,分别计算了多模波导的宽度和长度以及非对... 设计了一种非对称臂马赫-曾德尔干涉仪(MZI)型硅基二氧化硅偏振分束器(PBS),在1535~1565nm波长范围内,其偏振消光比大于20dB,插入损耗大于-0.5dB。采用有限差分-束传播法(FD-BPM)进行误差分析,分别计算了多模波导的宽度和长度以及非对称臂的宽度和长度误差对偏振分束器性能的影响。仿真结果表明,多模波导长度和非对称臂长度误差分别小于±2μm和±4μm时,偏振分束器的消光比和插入损耗仍能保持较好的结果;而要保持20dB以上的偏振消光比,多模波导宽度误差应小于±500nm,非对称臂宽度误差应小于±4nm(宽臂)和±2.5nm(窄臂)。非对称臂宽度对工艺的要求比较高,拟利用热光效应改变波导折射率来补偿波导尺寸变化引起的相位误差,以便下一步制备出高性能的硅基二氧化硅偏振分束器。 展开更多
关键词 光学器件 硅基二氧化硅波导 偏振分束器 有限差分-束传播法 误差分析
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基于相变材料的偏振分束器开关
15
作者 杨炯 《科学技术创新》 2024年第18期66-69,共4页
光开关是光子集成电路中用于可重构光传输网络的重要部件之一,功能丰富,性能优异的光开关一直是重要的研究方向。本文提出了一种基于相变材料(PCM)的偏振分束器(PBS)光开关,器件由两个平行的直波导构成,其中一个硅波导中嵌入PCM,能实现... 光开关是光子集成电路中用于可重构光传输网络的重要部件之一,功能丰富,性能优异的光开关一直是重要的研究方向。本文提出了一种基于相变材料(PCM)的偏振分束器(PBS)光开关,器件由两个平行的直波导构成,其中一个硅波导中嵌入PCM,能实现当PCM在非晶态时,将输入的TE_(0)和TM_(0)分离。而在晶态时,入射光以较低损耗通过硅波导。该开关仅有14*4μm的紧凑尺寸,耦合长度仅为7.1μm,非晶态时,TM和TE偏振的ER分别高达19.9 dB和19.4 dB,IL分别低至0.2和0.1 dB。晶态时,TM_(0)和TE0直接通过Thru端口。TM_(0)和TE_(0)的插入损耗分别是0.6 dB和0.2 dB。 展开更多
关键词 集成光学 集成光器件 光开关 偏振分束器 相变材料
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对抗光学神经网络识别误差的渐进式训练方法
16
作者 郭鹏星 游正容 +1 位作者 侯维刚 郭磊 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期131-138,共8页
提出了一种渐进式训练方案来重新配置马赫-曾德尔干涉仪(MZI)前馈光学神经网络(ONN)的相移,从而对抗MZI的相位误差和分束器误差,提高识别准确率。为了验证所提方案,利用Neuroptica Python仿真平台搭建了3层MZIONN结构,并在考虑到MZI相... 提出了一种渐进式训练方案来重新配置马赫-曾德尔干涉仪(MZI)前馈光学神经网络(ONN)的相移,从而对抗MZI的相位误差和分束器误差,提高识别准确率。为了验证所提方案,利用Neuroptica Python仿真平台搭建了3层MZIONN结构,并在考虑到MZI相位误差和分束器误差的情况下,利用Iris和MNIST数据集验证了所提方案的有效性。仿真结果表明:在Iris数据集下,对于3层4×4 MZI-ONN结构,所提方案的识别准确率能够提升64.15百分点;在MNIST数据集下,对于4×4、6×6、8×8和16×16规模的MZI-ONN,所提方案的识别准确率能够提升2.00~37.00百分点。所提方案极大地提高了MZI-ONN的抗误差性能,有助于未来大规模、高准确率MZI-ONN的实现。 展开更多
关键词 光计算 马赫-曾德尔干涉仪 光学神经网络 相位误差 分束器误差 渐进式训练 抗误差
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基于分束器的光学偏振保真传输
17
作者 林雨菲 谢微 《华东师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期47-56,共10页
光的偏振作为光的基本禀性之一,在光信号获取分析应用中至关重要.光学分束器作为搭建探测光路/光学系统的常规元件,其对光偏振信息的保真传输效果会极大地影响整个探测系统的偏振检测能力.通过光学透反射理论分析,基于光学分束器设计出... 光的偏振作为光的基本禀性之一,在光信号获取分析应用中至关重要.光学分束器作为搭建探测光路/光学系统的常规元件,其对光偏振信息的保真传输效果会极大地影响整个探测系统的偏振检测能力.通过光学透反射理论分析,基于光学分束器设计出了同时满足反射保偏和透射保偏功能的光路.实验证明该光路的偏振保真度高达95%以上.此光路设计方案具有成本低、调节灵活、功能性强等特点,为偏振光的分析和应用提供了更多的可能性. 展开更多
关键词 光学分束器 偏振信息 光路设计
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与偏振相关和无关的4×4自由空间光开关 被引量：3
18
作者 杨俊波 苏显渝 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期383-388,共6页
设计了一种由相位型空间光调制器(PSLM)、偏振光分束器(PBS)、反射镜、半波片(HWP)和四分之一波片(QWP)构成的2×2光开关。该光开关所用器件少,具有结构紧凑规整、功能的实现与信号光的偏振态无关以及可以完成双向交换等特点。在此... 设计了一种由相位型空间光调制器(PSLM)、偏振光分束器(PBS)、反射镜、半波片(HWP)和四分之一波片(QWP)构成的2×2光开关。该光开关所用器件少,具有结构紧凑规整、功能的实现与信号光的偏振态无关以及可以完成双向交换等特点。在此基础上通过2×2光开关的级联,设计了一种与偏振无关的4×4光开关的实验模块,根据其路由控制表对该实验模块功能的实现进行了分析。为与之作比较,还提出了一种与偏振相关的4×4光开关,该光开关利用对信号光偏振态的控制进行路由选择,以实现所需的交换和排序。 展开更多
关键词 光通信 光开关 相位型空间光调制器 偏振光分束器
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基于偏振分像的制冷器件晶粒双面等光程共焦成像缺陷检测装置 被引量：3
19
作者 廖廷俤 颜少彬 +2 位作者 黄启禄 黄衍堂 崔旭东 《光学仪器》 2021年第6期64-69,共6页
针对待测晶粒大的情况,为解决晶粒双面检测时双面之间产生光程差导致的的成像清晰度问题,提出了一种基于偏振分光成像法的半导体制冷器件晶粒相邻双面同时成像缺陷检测的装置。利用偏振分光器与直角转像棱镜对采用偏振分束器与偏振相机... 针对待测晶粒大的情况,为解决晶粒双面检测时双面之间产生光程差导致的的成像清晰度问题,提出了一种基于偏振分光成像法的半导体制冷器件晶粒相邻双面同时成像缺陷检测的装置。利用偏振分光器与直角转像棱镜对采用偏振分束器与偏振相机的晶粒天面和侧面同时等光程共焦成像检测装置进行了光学设计,完成了晶粒相邻双面同时等光程偏振成像缺陷检测的实验验证。结果表明,该偏振分光成像检测技术可以实现晶粒相邻面的同时缺陷检测,并能很好地满足相邻面等光程成像缺陷检测的性能要求。当晶粒相邻面等光程共焦时,检测分辨率可达到110 lp/mm以上,而当晶粒相邻面离焦(准共焦)仅±0.20 mm时,分辨率则降至45 lp/mm以下。本检测装置具有双面成像清晰度好、成像光路共焦调整方便、检测装置结构简单可靠,以及提高的缺陷检测性能等优点。 展开更多
关键词 机器视觉 光学设计 自动光学检测 偏振分束器 半导体制冷器晶粒
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外加电场调制二维六角位相阵列光分束器的研究 被引量：3
20
作者 李建光 陈云琳 张进宏 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期290-295,共6页
本文建立了外加电场调制二维六角位相阵列光分束器的倒格矢理论模型,利用数值模拟方法开展了阵列光分束器的理论研究,对可调位相差阵列光分束器进行了分析,得到了不同分数泰伯距离以及外加电场条件下的光强分布图.实验设计与制备了铌酸... 本文建立了外加电场调制二维六角位相阵列光分束器的倒格矢理论模型,利用数值模拟方法开展了阵列光分束器的理论研究,对可调位相差阵列光分束器进行了分析,得到了不同分数泰伯距离以及外加电场条件下的光强分布图.实验设计与制备了铌酸锂二维六角位相阵列光分束器,并对其进行了Talbot衍射光分束实验研究,当外加电压为0.5 kV(电场为1 kV/mm)时,观测到了Talbot衍射光分束现象,随着外加调制电场的增大,其衍射光分束图像越清晰,该实验结果和理论研究结果相符. 展开更多
关键词 外加电场调制 二维六角位相阵列 光分束器
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