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一种对在片测量系统中串扰误差进行修正的新型校准方法
被引量：
7
1
作者
王一帮
吴爱华
+5 位作者
刘晨
梁法国
栾鹏
霍晔
孙静
赵伟
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021年第12期1553-1558,共6页
现有高频段在片S参数校准方法有16-term误差模型校准方法和基于多线TRL的二次串扰修正算法,它们对测试系统之间的串扰误差进行了较好的表征。提出了一种新型校准方法,即把测试系统之间的串扰等效为一个与被测件并联的二端口网络。整个...
现有高频段在片S参数校准方法有16-term误差模型校准方法和基于多线TRL的二次串扰修正算法,它们对测试系统之间的串扰误差进行了较好的表征。提出了一种新型校准方法,即把测试系统之间的串扰等效为一个与被测件并联的二端口网络。整个校准方法一共分为两步,第一步采用常规的SOLR校准方法得到基本8项误差模型,第二步通过测量一个串扰标准件(可以是SOLR中的开路校准件)完成对串扰误差的表征。仿真和测试结果表明,新型校准方法准确度可达到16-term误差模型的准确度,并对串扰误差具有相当的抑制效果。同时,新模型方法只需使用4个校准件,数量少于传统16-term误差模型方法,在保证准确度的前提下,提高了测试效率。
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关键词
计量学
在片S参数
16项误差模型
串扰
SOLR
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职称材料
在片S参数测量系统校准技术研究
被引量：
2
2
作者
吴爱华
孙静
+2 位作者
刘晨
梁法国
郑延秋
《宇航计测技术》
CSCD
2015年第5期11-16,共6页
在片S参数测量系统在半导体行业裸芯片测量中得到了广泛的应用,但是国内在片S参数测量系统无法有效溯源的现状影响了高端裸芯片产品的研发进度。为了建立该类系统的校准能力,本文研制了微带形式的在片校准件、在片传递标准件和在片检验...
在片S参数测量系统在半导体行业裸芯片测量中得到了广泛的应用,但是国内在片S参数测量系统无法有效溯源的现状影响了高端裸芯片产品的研发进度。为了建立该类系统的校准能力,本文研制了微带形式的在片校准件、在片传递标准件和在片检验件三类标准样片,搭建了高准确度的在片S参数传递标准件定标系统,通过HFSS仿真方法使得在片S参数溯源至几何量基准,最终建立了在片S参数测量系统中传输参数的计量校准能力,为最终完成在片S参数测量系统校准奠定了技术基础。
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关键词
在片测量
S参数测量系统
散射参数
校准
裸芯片
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职称材料
一种增强型的SOLR校准方法
3
作者
吴爱华
王一帮
+5 位作者
霍晔
梁法国
刘晨
栾鹏
陈晓华
王海
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第8期973-978,共6页
提出了一种增强型的在片SOLR校准方法(eSOLR),结合无需定义的直通传输线标准,2对对称的反射标准(开路标准、短路标准)和1对准确定义的负载标准,实现微波毫米波频段的校准测试。详细给出了8项误差模型的求解过程,同时采用校准比较算法对...
提出了一种增强型的在片SOLR校准方法(eSOLR),结合无需定义的直通传输线标准,2对对称的反射标准(开路标准、短路标准)和1对准确定义的负载标准,实现微波毫米波频段的校准测试。详细给出了8项误差模型的求解过程,同时采用校准比较算法对商用校准方法和eSOLR进行了验证。实验结果表明,eSOLR优于现有的商用SOLT、LRRM校准方法。0.2~110 GHz陶瓷衬底的无源失配衰减器验证件测量结果表明,新方法S测量结果更加连续,测量结果与多线TRL更为吻合。
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关键词
计量学
在片散射参数
校准
SOLR
校准标准定义
无源器件
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职称材料
在片Multi-TRL校准技术研究
被引量：
5
4
作者
王一帮
栾鹏
+3 位作者
孙静
刘晨
吴爱华
梁法国
《中国测试》
CAS
北大核心
2018年第4期8-13,共6页
美国NIST Multi-TRL校准技术实现在片散射参数(S参数)的精确校准测试,但国内尚未实现上述校准技术,致使在片测量准确度不能满足精密测试需求。在充分研究Multi-TRL算法并自主推导相关核心公式的基础上,开发Mutli-TRL校准软件CETC13,并...
美国NIST Multi-TRL校准技术实现在片散射参数(S参数)的精确校准测试,但国内尚未实现上述校准技术,致使在片测量准确度不能满足精密测试需求。在充分研究Multi-TRL算法并自主推导相关核心公式的基础上,开发Mutli-TRL校准软件CETC13,并对校准软件准确度进行验证。然后利用半导体工艺开展0.1~40 GHz Multi-TRL校准标准1312的设计和制作,通过衬底厚度、横截面的优化设计,该校准标准能有效抑制多模传输。CETC13校准软件与校准标准校准过的在片系统测量结果与国外相同等级的在片系统相比,在0.1~40 GHz频段内,传输幅度相差0.05~0.10 d B,相位相差0.05°~1.3°;反射幅度相差0.002~0.007,可解决国内在片S参数精确校准测试问题。
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关键词
在片散射参数
传输线特征阻抗
Multi-TRL
校准标准
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职称材料
题名
一种对在片测量系统中串扰误差进行修正的新型校准方法
被引量：
7
1
作者
王一帮
吴爱华
刘晨
梁法国
栾鹏
霍晔
孙静
赵伟
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
西安电子科技大学
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021年第12期1553-1558,共6页
基金
国家重点研发计划重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0102105)。
文摘
现有高频段在片S参数校准方法有16-term误差模型校准方法和基于多线TRL的二次串扰修正算法,它们对测试系统之间的串扰误差进行了较好的表征。提出了一种新型校准方法,即把测试系统之间的串扰等效为一个与被测件并联的二端口网络。整个校准方法一共分为两步,第一步采用常规的SOLR校准方法得到基本8项误差模型,第二步通过测量一个串扰标准件(可以是SOLR中的开路校准件)完成对串扰误差的表征。仿真和测试结果表明,新型校准方法准确度可达到16-term误差模型的准确度,并对串扰误差具有相当的抑制效果。同时,新模型方法只需使用4个校准件,数量少于传统16-term误差模型方法,在保证准确度的前提下,提高了测试效率。
关键词
计量学
在片S参数
16项误差模型
串扰
SOLR
Keywords
metrology
on-
wafer
scattering parameter
16-term
error
model
crosstalk
SOLR
分类号
TB973 [一般工业技术—计量学]
下载PDF
职称材料
题名
在片S参数测量系统校准技术研究
被引量：
2
2
作者
吴爱华
孙静
刘晨
梁法国
郑延秋
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《宇航计测技术》
CSCD
2015年第5期11-16,共6页
文摘
在片S参数测量系统在半导体行业裸芯片测量中得到了广泛的应用,但是国内在片S参数测量系统无法有效溯源的现状影响了高端裸芯片产品的研发进度。为了建立该类系统的校准能力,本文研制了微带形式的在片校准件、在片传递标准件和在片检验件三类标准样片,搭建了高准确度的在片S参数传递标准件定标系统,通过HFSS仿真方法使得在片S参数溯源至几何量基准,最终建立了在片S参数测量系统中传输参数的计量校准能力,为最终完成在片S参数测量系统校准奠定了技术基础。
关键词
在片测量
S参数测量系统
散射参数
校准
裸芯片
Keywords
On-
wafer
measurement
S-
parameter
measurement
system
scattering parameter
Calibration
Bare
chip
分类号
TB973 [一般工业技术—计量学]
下载PDF
职称材料
题名
一种增强型的SOLR校准方法
3
作者
吴爱华
王一帮
霍晔
梁法国
刘晨
栾鹏
陈晓华
王海
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
西安电子科技大学
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第8期973-978,共6页
文摘
提出了一种增强型的在片SOLR校准方法(eSOLR),结合无需定义的直通传输线标准,2对对称的反射标准(开路标准、短路标准)和1对准确定义的负载标准,实现微波毫米波频段的校准测试。详细给出了8项误差模型的求解过程,同时采用校准比较算法对商用校准方法和eSOLR进行了验证。实验结果表明,eSOLR优于现有的商用SOLT、LRRM校准方法。0.2~110 GHz陶瓷衬底的无源失配衰减器验证件测量结果表明,新方法S测量结果更加连续,测量结果与多线TRL更为吻合。
关键词
计量学
在片散射参数
校准
SOLR
校准标准定义
无源器件
Keywords
metrology
on-
wafer
scattering parameter
calibration
SOLR
definition
for
calibration
standard
passive
components
分类号
TB973 [一般工业技术—计量学]
下载PDF
职称材料
题名
在片Multi-TRL校准技术研究
被引量：
5
4
作者
王一帮
栾鹏
孙静
刘晨
吴爱华
梁法国
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2018年第4期8-13,共6页
文摘
美国NIST Multi-TRL校准技术实现在片散射参数(S参数)的精确校准测试,但国内尚未实现上述校准技术,致使在片测量准确度不能满足精密测试需求。在充分研究Multi-TRL算法并自主推导相关核心公式的基础上,开发Mutli-TRL校准软件CETC13,并对校准软件准确度进行验证。然后利用半导体工艺开展0.1~40 GHz Multi-TRL校准标准1312的设计和制作,通过衬底厚度、横截面的优化设计,该校准标准能有效抑制多模传输。CETC13校准软件与校准标准校准过的在片系统测量结果与国外相同等级的在片系统相比,在0.1~40 GHz频段内,传输幅度相差0.05~0.10 d B,相位相差0.05°~1.3°;反射幅度相差0.002~0.007,可解决国内在片S参数精确校准测试问题。
关键词
在片散射参数
传输线特征阻抗
Multi-TRL
校准标准
Keywords
on-
wafer
scattering parameter
s
transmission
line
characteristic
impedance
Multi-TRL
calibration
standards
分类号
TB9 [一般工业技术—计量学]
TN811 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种对在片测量系统中串扰误差进行修正的新型校准方法
王一帮
吴爱华
刘晨
梁法国
栾鹏
霍晔
孙静
赵伟
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021
7
下载PDF
职称材料
2
在片S参数测量系统校准技术研究
吴爱华
孙静
刘晨
梁法国
郑延秋
《宇航计测技术》
CSCD
2015
2
下载PDF
职称材料
3
一种增强型的SOLR校准方法
吴爱华
王一帮
霍晔
梁法国
刘晨
栾鹏
陈晓华
王海
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022
0
下载PDF
职称材料
4
在片Multi-TRL校准技术研究
王一帮
栾鹏
孙静
刘晨
吴爱华
梁法国
《中国测试》
CAS
北大核心
2018
5
下载PDF
职称材料
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