神光Ⅲ强激光光束远场诊断系统光学设计 被引量：17

1

作者 沈为民 吴泉英 薛鸣球 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第8期964-969,共6页

介绍了神光Ⅲ光束远场诊断系统的基本组成 ,光学系统的工作原理 ,主要论述了光学系统的设计指标、设计思想、设计结果及其像质评价 研究表明 :利用离轴非球面反射镜能很好地实现强激光光束的取样、缩束和衰减 通过切换弯月形离轴非球... 介绍了神光Ⅲ光束远场诊断系统的基本组成 ,光学系统的工作原理 ,主要论述了光学系统的设计指标、设计思想、设计结果及其像质评价 研究表明 :利用离轴非球面反射镜能很好地实现强激光光束的取样、缩束和衰减 通过切换弯月形离轴非球面透镜可分别实现对基频。 展开更多

关键词 强激光束 远场诊断 离轴非球面 光学设计

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基于计算全息的光学自由曲面测量不确定度分析 被引量：15

2

作者 黄亚 马骏 +2 位作者 朱日宏 沈华 高志山 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期156-164,共9页

光学自由曲面元件如离轴非球面等在现代光学系统中起到了越来越重要的作用。计算全息元件(CGH)可产生任意形状的波前,能够很好地应用在光学自由曲面的零位补偿干涉测量中。针对一离轴椭球面为测量样品,以光学计量领域比较成熟的Offner... 光学自由曲面元件如离轴非球面等在现代光学系统中起到了越来越重要的作用。计算全息元件(CGH)可产生任意形状的波前,能够很好地应用在光学自由曲面的零位补偿干涉测量中。针对一离轴椭球面为测量样品,以光学计量领域比较成熟的Offner补偿器法,测量离轴非球面母镜的面形偏差,进而获得离轴椭球面的面形偏差;再将离轴椭球面通过旋转平移,作为自由曲面元件,在平面基板上设计CGH对其进行零位补偿测量,研究零位补偿CGH的误差传递数据。通过主要原理误差分析与计算,在光学熔石英平面基底上制作零位补偿CGH,测量不确定度达到λ/10[峰谷(PV)值,λ=0.6328μm],满足光学自由曲面元件的高精度检测要求。 展开更多

关键词 测量 计算全息 光学自由曲面 离轴非球面 offner补偿器

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三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理 被引量：7

3

作者 王建明 郭培基 仇谷烽 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期291-296,共6页

为了研究三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理,介绍了三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的原理,对除三坐标测量仪自身误差之外的误差进行了详细的分析,在此基础上建立了校正这些误差的离轴非球面数据处理模型。使用Matlab与C语言混... 为了研究三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理,介绍了三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的原理,对除三坐标测量仪自身误差之外的误差进行了详细的分析,在此基础上建立了校正这些误差的离轴非球面数据处理模型。使用Matlab与C语言混合编程,并进行了数据模拟,对实际离轴非球面进行了测量。在对离轴非球面数据进行模拟时,面形误差PV值小于0.001μm;实际应用时,面形误差PV值约为0.245μm,利用数据处理模型得到的面形误差PV值为1.2μm,达到了三坐标轮廓测量仪本身的测量精度。结果表明,所建立的数据处理模型和处理软件是正确的。 展开更多

关键词 光学测量 离轴非球面 三坐标测量仪 测量精度

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离轴非球面三坐标检测技术 被引量：5

4

作者 陈曦 郭培基 +1 位作者 王建明 仇谷烽 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期339-344,共6页

提出了一种使用三坐标测量机(CMM)测量底面为圆形、矩形、跑道形离轴非球面面形误差的方法。针对离轴非球面的外形特征设计工件坐标系,规划工件坐标系定位点;利用CMM对离轴非球面进行点触发式自动测量,得到被测面点云坐标数据;建立离轴... 提出了一种使用三坐标测量机(CMM)测量底面为圆形、矩形、跑道形离轴非球面面形误差的方法。针对离轴非球面的外形特征设计工件坐标系,规划工件坐标系定位点;利用CMM对离轴非球面进行点触发式自动测量,得到被测面点云坐标数据;建立离轴非球面数据处理模型,得出了面形误差。模拟分析表明,该测试方法和误差处理模型是正确的,并用该检测技术完成了离轴非球面粗抛光阶段的加工。 展开更多

关键词 离轴非球面 三坐标测量仪 工件坐标系

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逆向迭代离轴非球面检测方法 被引量：3

5

作者 任王涛 徐洪艳 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第21期266-271,共6页

离轴非球面广泛应用于现代光学系统中,一般需要特定的光学辅助元件对其进行检测,为此提出一种逆向迭代非零检测法。该方法可以不借助光学辅助元件,适用于检测同一类的离轴非球面。首先设计检测光路,并采用逆向迭代法去除非零误差。然后... 离轴非球面广泛应用于现代光学系统中,一般需要特定的光学辅助元件对其进行检测,为此提出一种逆向迭代非零检测法。该方法可以不借助光学辅助元件,适用于检测同一类的离轴非球面。首先设计检测光路,并采用逆向迭代法去除非零误差。然后对系统误差、调整误差和随机误差等进行分析补偿以及各项误差的处理方法。最后通过仿真模拟,逆向迭代求解离轴非球面的面形方均根值为0.133λ,与仿真模拟的实际面形一致,仿真拟合的残差在10-5λ以内。逆向迭代非零检测法是针对离轴非球面一种高精度和通用型的非零检测方法。 展开更多

关键词 光学器件 离轴非球面 面形误差 逆向迭代 精度分析

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半导体双波长透射式红外干涉仪的研制及应用 被引量：3

6

作者 赵智亮 陈立华 +2 位作者 赵子嘉 刘杰 刘敏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期2639-2646,共8页

采用635nm波长半导体可见光激光和10.5μm波长半导体红外激光作为干涉光源,设计了635nm和10.5μm双波段共光路透射式红外干涉仪,实现了可见光波段干涉测试与红外光波段干涉测试共光路,且双光路共用可见光对准。双波段共用机械式相移系统... 采用635nm波长半导体可见光激光和10.5μm波长半导体红外激光作为干涉光源,设计了635nm和10.5μm双波段共光路透射式红外干涉仪,实现了可见光波段干涉测试与红外光波段干涉测试共光路,且双光路共用可见光对准。双波段共用机械式相移系统,并采用635nm测试光分段驻点标定10.5μm测试时相移器的长行程误差。研制的双波长红外干涉仪系统的红外测试精度达到PV优于0.05λ,RMS优于0.02λ,系统重复性RMS优于0.001λ。采用该干涉仪测试口径为400mm×400mm,离轴量为800mm的离轴非球面,得到边缘最大偏差值为21.9μm,能够实现大口径离轴非球面从粗磨到精磨高精度加工面形的全过程干涉测试。 展开更多

关键词 光学检测 干涉测量 半导体双波长 红外干涉仪 离轴非球面

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基于计算全息的大口径离轴非球面子镜的折衍混合补偿检测方法 被引量：3

7

作者 黄亚 王丰璞 +4 位作者 李新南 陈哲 李博 徐晨 曹亭 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期190-200,共11页

提出一种基于计算全息元件(CGH)的折衍混合补偿检测光路,通过CGH和消球差透镜组合实现离轴子镜的缩焦零位检测。该方法使得检测光路长度减少至CGH直接检测的1/4至1/8,同时提高了小焦比子镜的调节灵敏度,将大离轴量子镜的干涉图长宽畸变... 提出一种基于计算全息元件(CGH)的折衍混合补偿检测光路,通过CGH和消球差透镜组合实现离轴子镜的缩焦零位检测。该方法使得检测光路长度减少至CGH直接检测的1/4至1/8,同时提高了小焦比子镜的调节灵敏度,将大离轴量子镜的干涉图长宽畸变比率由12.5优化至1.25。保持光路各器件位置不动,通过更换相应的计算全息片,还可实现不同离轴量子镜的批量高效检测。应用该方法完成直径为330 mm的离轴试验镜的加工与检测,测试结果面形均方根(RMS)值为0.0290λ(λ为波长)。通过标准球面镜对消球差透镜进行标定,RMS值降至0.0267λ。 展开更多

关键词 测量 干涉测量 离轴非球面 计算全息片 30 m望远镜 折衍混合补偿

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Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面反射镜 被引量：3

8

作者 卢文川 张金平 +3 位作者 王孝坤 张忠玉 郑立功 张学军 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期410-414,共5页

在离轴非球面反射镜研磨后期和粗抛光阶段,被测反射镜面形与理想面形存在着较大的偏差,表面反射率较低,采用干涉测量会因局部区域干涉条纹过密或条纹对比度过低,造成普通干涉仪无法进行全口径测量,而普通接触式轮廓仪测量精度此时已经... 在离轴非球面反射镜研磨后期和粗抛光阶段,被测反射镜面形与理想面形存在着较大的偏差,表面反射率较低,采用干涉测量会因局部区域干涉条纹过密或条纹对比度过低,造成普通干涉仪无法进行全口径测量,而普通接触式轮廓仪测量精度此时已经不能满足加工要求。鉴于Shack-Hartmann波前传感器较大的动态范围和较高的测量精度,提出了采用Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面面形,研究了该方法的检测原理并搭建了检测系统,分析了系统误差来源,并制作了用于在轴检测离轴非球面的参考波前,对两个不同加工精度的离轴非球面反射镜进行了测量,并与干涉仪的测量结果进行了对比。对比结果表明,Shack-Hartmann波前传感器的测量结果是正确可靠的,并且可以弥补轮廓仪测量和干涉仪测量的不足,从而证明了采用Shack-Hartmann波前传感器在轴检测离轴非球面的可行性和正确性。 展开更多

关键词 光学测量 离轴非球面 Shack-Hartmann波前传感器 干涉测量 轮廓测量

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五轴加工中心范成铣磨离轴非球面研究 被引量：2

9

作者 陈曦 戴卓成 +1 位作者 郭培基 王伟 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期55-59,共5页

离轴非球面作为非球面的一部分,是空间光学系统、天文学和高精度测量系统不可或缺的光学器件。针对空间光学对离轴非球面光学元件制造技术的重大需求,开展了离轴非球面反射镜的精密铣磨加工技术研究。分析了五轴联动范成法铣磨离轴非球... 离轴非球面作为非球面的一部分,是空间光学系统、天文学和高精度测量系统不可或缺的光学器件。针对空间光学对离轴非球面光学元件制造技术的重大需求,开展了离轴非球面反射镜的精密铣磨加工技术研究。分析了五轴联动范成法铣磨离轴非球面的原理,将离轴非球面所在的同轴母镜离散为一系列不同半径的球面环带,将工件坐标系建立在待加工离轴非球面的同轴母镜中心位置,使用杯形砂轮依次范成离轴镜所在的同轴母镜上的环带,由众多的球面环带拼接出离轴非球面。对Φ100mm直径离轴抛物镜进行工艺试验,环带宽度7.28mm,一次加工面形精度PV达到7μm,RMS达0.622μm,加工用时7min。研究表明该方法具有可行性,为离轴非球面快速铣磨提供了有效的解决方案。 展开更多

关键词 范成法 铣磨 离轴非球面 五轴加工中心 同轴母镜

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离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术 被引量：2

10

作者 武中华 袁吕军 +4 位作者 朱永田 何丽 康燕 苏志德 孔维斌 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期123-129,共7页

基于付科法的离轴非球面波面再现检测技术,通过对付科检测过程的数学分析,建立了离轴非球面波面再现的数学模型,提出了波面整合算法,通过对两幅阴影图灰度值积分、去倾斜及波面整合等数据处理再现出被检离轴非球面的波面误差.在被检离... 基于付科法的离轴非球面波面再现检测技术,通过对付科检测过程的数学分析,建立了离轴非球面波面再现的数学模型,提出了波面整合算法,通过对两幅阴影图灰度值积分、去倾斜及波面整合等数据处理再现出被检离轴非球面的波面误差.在被检离轴非球面两个方向的弥散斑分别为0.152mm和0.284mm时,干涉检测得到其面形误差峰谷值为1.110μm、均方根值为0.194μm,且两种检测方法的波面轮廓相一致.实验结果验证了基于付科法的离轴非球面再现技术的正确性,可以应用于指导离轴非球面在细磨粗抛阶段的加工并且实现与精抛光阶段干涉检测的有效衔接. 展开更多

关键词 测量 离轴非球面 付科法 光学检测 波面再现

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计算全息检测离轴非球面的离散相位拟合 被引量：2

11

作者 李世杰 伍凡 陈强 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2637-2641,共5页

为了计算补偿用计算全息图的刻线位置,需要对光线追迹得到的离散相位数据进行拟合。为此详细推导了均匀三次B样条和非均匀三次B样条的基函数,介绍了各自对应的曲面拟合方法。以一块抛物型离轴非球面数据为例,对其非对称的离散相位分布... 为了计算补偿用计算全息图的刻线位置,需要对光线追迹得到的离散相位数据进行拟合。为此详细推导了均匀三次B样条和非均匀三次B样条的基函数,介绍了各自对应的曲面拟合方法。以一块抛物型离轴非球面数据为例,对其非对称的离散相位分布进行了三次B样条曲面拟合。拟合结果表明,三次B样条曲面拟合能使拟合面经过所有数据点,保证拟合精度,且得到的连续的相位补偿函数表达式结构简单(最高次数只有3次),还能根据实际情况优化采样点数量,控制计算量。 展开更多

关键词 离轴非球面 计算全息图 离散相位拟合 三次B样条

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计算全息检测离轴非球面的离散相位计算 被引量：2

12

作者 李世杰 陈强 +2 位作者 吴高峰 李良红 鲜林翰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期3163-3166,共4页

为了设计检测离轴非球面的计算全息图(CGH),需要对采样点的相位进行计算。通过平移和旋转,将离轴非球面几何中心的法线作为检测光路光轴。在此基础上,采用光线追迹法,对离轴非球面上采样点的相位分布进行了研究,详细推导了离散相位的计... 为了设计检测离轴非球面的计算全息图(CGH),需要对采样点的相位进行计算。通过平移和旋转,将离轴非球面几何中心的法线作为检测光路光轴。在此基础上,采用光线追迹法,对离轴非球面上采样点的相位分布进行了研究,详细推导了离散相位的计算方法,给出了在3维空间坐标系中,离轴非球面上任意一采样点的相位计算公式,并通过计算、对比同一旋转对称非球面的相位分布对该算法进行了验证。结果表明该计算方法正确,且计算精度能够满足CGH的要求。 展开更多

关键词 离轴非球面 计算全息图 离散相位 光线追迹

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大口径离轴非球面离心力误差修正的车削方法 被引量：1

13

作者 宋鹏 白杨 +4 位作者 杨超 李闯 薛常喜 丁佳雯 郭杰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第7期267-275,共9页

大口径离轴非球面反射镜进行高精度车削过程中,由离心力引起的微米级面形误差变得尤为重要。为了减小离轴非球面反射镜在车削过程中受离心力变形而引起的面形误差,对离轴非球面铝合金反射镜开展了单点金刚石车削工艺研究。通过分析离心... 大口径离轴非球面反射镜进行高精度车削过程中,由离心力引起的微米级面形误差变得尤为重要。为了减小离轴非球面反射镜在车削过程中受离心力变形而引起的面形误差,对离轴非球面铝合金反射镜开展了单点金刚石车削工艺研究。通过分析离心力产生机理,构建了抑制离心力坐标变换加工模型;利用有限元仿真的方法优化了坐标变换的平移位移和旋转角度,最后基于优化结果对口径320 mm的RSA6061铝合金离轴非球面反射镜进行车削实验,获得了面形精度为RMS 0.198λ(λ=632.8 nm)的离轴非球面铝合金反射镜,验证了该优化加工方法的有效性。上述优化方式能够显著提高单点金刚石车削加工大口径离轴非球面反射镜的加工精度。 展开更多

关键词 光学制造 离轴非球面 离心力误差 金刚石车削

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离轴非球面超精密磨削加工几何模型的探讨 被引量：1

14

作者 韩成顺 董申 唐余勇 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第17期1520-1522,共3页

在用来加工轴对称非球面的二轴联动超精密数控机床的工件主轴上安装可以精确给出旋转角度的码盘 ,采用柱坐标加工方式进行离轴非球面的超精密磨削加工。在给出离轴非球面方程的基础上 ,给出数控加工离轴非球面的相应的几何模型。计算机... 在用来加工轴对称非球面的二轴联动超精密数控机床的工件主轴上安装可以精确给出旋转角度的码盘 ,采用柱坐标加工方式进行离轴非球面的超精密磨削加工。在给出离轴非球面方程的基础上 ,给出数控加工离轴非球面的相应的几何模型。计算机仿真验证了该加工方法的简便性与可靠性。该加工方法可以降低设备投入 。 展开更多

关键词 离轴非球面 超精密磨削 几何模型 仿真

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矩形离轴非球面反射镜双摆法加工与检测 被引量：1

15

作者 宋淑梅 《中国光学》 EI CAS 2014年第6期975-981,共7页

介绍了一种轻质矩形离轴非球面反射镜的加工与检测方法。针对矩形离轴非球面镜这种直角效应的加工难点,提出双摆式加工工艺,并设计改造双摆式加工机床使该方法得以实现。采用该方法加工完成某多光谱仪光学系统中4块矩形离轴非球面反射镜... 介绍了一种轻质矩形离轴非球面反射镜的加工与检测方法。针对矩形离轴非球面镜这种直角效应的加工难点,提出双摆式加工工艺,并设计改造双摆式加工机床使该方法得以实现。采用该方法加工完成某多光谱仪光学系统中4块矩形离轴非球面反射镜(其中最大尺寸为266 mm×110 mm),最终加工得到的面形精度均优于0.020λ(RMS,@633mm)的设计指标要求。加工结果表明,用该加工技术既提高了光学加工效率又利于得到较为平滑的面形质量。 展开更多

关键词 光学加工 离轴非球面 双摆法 4测杆法

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倾斜计算全息板标定补偿器误差 被引量：1

16

作者 朱德燕 李明 +1 位作者 薛栋林 张学军 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期160-166,共7页

为了标定利用补偿器检测非球面的精度,提出采用倾斜计算全息法(CGH)校验补偿器,并将补偿器精度提高。介绍补偿器检测离轴非球面基本原理,同时结合工程实例,设计补偿器检测860 mm×600 mm的离轴高次非球面,通过加工与装配,仿真分析... 为了标定利用补偿器检测非球面的精度,提出采用倾斜计算全息法(CGH)校验补偿器,并将补偿器精度提高。介绍补偿器检测离轴非球面基本原理,同时结合工程实例,设计补偿器检测860 mm×600 mm的离轴高次非球面,通过加工与装配,仿真分析出装配后的补偿器精度为2.91 nm[均方根(RMS)值]。设计了利用倾斜式的计算全息板检测该补偿器的实验,并分析出利用该CGH校验补偿器的精度为1.79 nm(RMS值)。结果表明,受限于补偿器光学元件加工和组装精度,其检测精度未知,通过对补偿器误差进行检测与标定,可以确定利用该补偿器检测非球面的可行性并将其精度提高。 展开更多

关键词 测量 计算全息法 补偿器 离轴非球面 光学检测 精度分析

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基于数控加工高次离轴非球面反射镜的刀具轨迹规划研究 被引量：5

17

作者 朱永翔 郭培基 陈曦 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期718-723,共6页

研究了五轴机床铣磨高次离轴非球面技术,分析了B-C双转台五轴机床的运动学原理,得到了刀轴矢量与B、C轴转角的数学映射,建立了刀具轨迹算法模型。针对高陡度高次离轴非球面矢高变化率太大等问题,对其进行坐标系变换使其近轴端和远轴端等... 研究了五轴机床铣磨高次离轴非球面技术,分析了B-C双转台五轴机床的运动学原理,得到了刀轴矢量与B、C轴转角的数学映射,建立了刀具轨迹算法模型。针对高陡度高次离轴非球面矢高变化率太大等问题,对其进行坐标系变换使其近轴端和远轴端等高,将离轴非球面由母镜坐标系位置转化到子镜坐标系位置,坐标变换后高次离轴非球面在子镜坐标系下的方程求解困难,提出一种新的求解旋转后高次离轴非球面坐标的方法,最后通过Matlab仿真和实例分析,利用五轴机床加工等高处理的高次离轴非球面,经三坐标测量仪测量,结果为面型PV值5.92μm,RMS值为0.893μm,验证了刀具轨迹算法和坐标变换算法的正确性。 展开更多

关键词 光学加工 五轴机床 高次离轴非球面 坐标变换 数控加工

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CCOS边缘效应的小研抛盘修形修正方法 被引量：4

18

作者 杜航 李圣怡 宋辞 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期30-33,共4页

计算机控制光学表面技术(Computer Controlled Optical Surfacing,CCOS)是加工离轴非球面的一项重要技术。小磨头抛光的边缘效应严重制约CCOS技术的加工精度和加工效率。在获得影响边缘效应的关键参数后,结合残余误差等高线的路径规划,... 计算机控制光学表面技术(Computer Controlled Optical Surfacing,CCOS)是加工离轴非球面的一项重要技术。小磨头抛光的边缘效应严重制约CCOS技术的加工精度和加工效率。在获得影响边缘效应的关键参数后,结合残余误差等高线的路径规划,对CCOS产生的边缘效应产生的翘边现象进行修正;通过对一块体育场形离轴非球面的加工,获得了全口径光学测量数据,为后续精加工提供面形基础。 展开更多

关键词 CCOS边缘效应 小工具研抛 离轴非球面加工

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大口径离轴非球面加工中能动磨盘面形分析 被引量：4

19

作者 刘海涛 曾志革 张伟 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期77-83,共7页

利用齐次坐标变换理论分析了计算机数控能动磨盘加工大口径离轴非球面反射镜时磨盘底面需要形成的实时面形,给出了通用的盘面实时轮廓的计算方法。以NST(新太阳望远镜)的离轴抛物面主镜参数为例,给出了用现有能动磨盘加工时盘面形状及... 利用齐次坐标变换理论分析了计算机数控能动磨盘加工大口径离轴非球面反射镜时磨盘底面需要形成的实时面形,给出了通用的盘面实时轮廓的计算方法。以NST(新太阳望远镜)的离轴抛物面主镜参数为例,给出了用现有能动磨盘加工时盘面形状及磨盘变形量的计算结果,并将该方法用于两块轴对称非球面(Φ1030F/1.6椭球面和Φ1250F/1.5抛物面)反射镜的研磨中,加工结果表明该方法可以准确描述加工中磨盘的面形。理论分析、计算和实验结果为今后开展能动磨盘加工大口径离轴非球面反射镜奠定了基础。 展开更多

关键词 能动磨盘 离轴非球面加工 磨盘面形计算 坐标变换

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大口径离轴非球面碳化硅反射镜的加工 被引量：3

20

作者 张峰 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第B12期168-172,共5页

为了研制出高质量光学表面的离轴非球面碳化硅反射镜，提出一套包括铣磨成型、研磨、粗抛光、表面改性以及精密抛光等工序的完备的离轴非球面碳化硅反射镜加工工艺规范。采用Ultrasonic 100^-5数控加工机床直接将Φ600 mm碳化硅反射镜... 为了研制出高质量光学表面的离轴非球面碳化硅反射镜，提出一套包括铣磨成型、研磨、粗抛光、表面改性以及精密抛光等工序的完备的离轴非球面碳化硅反射镜加工工艺规范。采用Ultrasonic 100^-5数控加工机床直接将Φ600 mm碳化硅反射镜铣磨成离轴非球面，铣磨后反射镜面形精度的峰谷（PV）值为17.17 μm。利用计算机控制光学表面成型（CCOS）技术对离轴非球面碳化硅反射镜进行研磨和粗抛光，使其面形精度的均方根（RMS）值达到0.102λ（λ=0.6328 μm）。采用离子束辅助沉积（IBAD）表面改性技术在粗抛光后离轴非球面碳化硅反射镜表面镀制一层厚度约10 μm的硅改性层，并利用先进的离子束抛光（IBF）技术对表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行精密抛光。最终离轴非球面碳化硅反射镜的面形精度和表面粗糙度的RMS值分别达到0.018λ和0.6968 nm。加工结果表明提出的加工工艺规范完备，适用于离轴非球面碳化硅反射镜的加工。 展开更多

关键词 光学加工 离轴非球面碳化硅反射镜 铣磨 计算机控制光学表面成型 表面改性 离子束抛光

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