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梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响
被引量：
2
1
作者
乔大勇
杨璇
+3 位作者
夏长锋
曾琪
潘春晖
练彬
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期172-177,共6页
为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描...
为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描镜,并对其相关特性进行了测试。测试结果表明:在相同的驱动电压下,发散型结构始终都比平行型结构具有更大的机械转角,与仿真结果基本一致;当加载驱动电压为42 V的方波信号时,发散型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角可以达到12.3°、13.49°,而平行型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角则为10.25°、11.68°。
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关键词
扫描镜
非线性动力学
梳齿分布
大转角
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职称材料
非线性动力学理论与大型火电机组振动故障综合治理技术
被引量：
19
2
作者
陈予恕
田家玉
+1 位作者
金宗武
丁千
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第9期1063-1068,共6页
应用非线性动力学理论的Ｃ—Ｌ方法，对当前国内外大型火电机组轴系存在的若干关键振动问题，建立了转子非线性动力学模型，从理论、实验和数值计算方面，对各种故障因素影响下的动力学行为进行了综合分析，提出了对轴系振动故障进行综...
应用非线性动力学理论的Ｃ—Ｌ方法，对当前国内外大型火电机组轴系存在的若干关键振动问题，建立了转子非线性动力学模型，从理论、实验和数值计算方面，对各种故障因素影响下的动力学行为进行了综合分析，提出了对轴系振动故障进行综合治理的方案。
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关键词
非线性动力学
火电机组
大型
振动故障
综合治理
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职称材料
题名
梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响
被引量：
2
1
作者
乔大勇
杨璇
夏长锋
曾琪
潘春晖
练彬
机构
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室
西北工业大学深圳研究院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期172-177,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51375399
51375400)
+2 种基金
深圳市财政委员会2012年第四批市新一代信息技术产业发展专项资金基础研究计划项目(JCYJ20120614154203639)
西北工业大学基础研究基金项目(JCY20130119)
航空科学基金项目(2013ZC53036)
文摘
为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描镜,并对其相关特性进行了测试。测试结果表明:在相同的驱动电压下,发散型结构始终都比平行型结构具有更大的机械转角,与仿真结果基本一致;当加载驱动电压为42 V的方波信号时,发散型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角可以达到12.3°、13.49°,而平行型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角则为10.25°、11.68°。
关键词
扫描镜
非线性动力学
梳齿分布
大转角
Keywords
MEMS
MEMS
microscanner
nonlinear
dynamics
theory
comb
distribution
large
deflection
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
非线性动力学理论与大型火电机组振动故障综合治理技术
被引量：
19
2
作者
陈予恕
田家玉
金宗武
丁千
机构
天津大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第9期1063-1068,共6页
基金
国家自然科学基金
文摘
应用非线性动力学理论的Ｃ—Ｌ方法，对当前国内外大型火电机组轴系存在的若干关键振动问题，建立了转子非线性动力学模型，从理论、实验和数值计算方面，对各种故障因素影响下的动力学行为进行了综合分析，提出了对轴系振动故障进行综合治理的方案。
关键词
非线性动力学
火电机组
大型
振动故障
综合治理
Keywords
nonlinear
dynamics
theory
large
scale
gas
turbine
vibration
failure
solving
irregular
operation
in
a
comprehensive
way
分类号
TM311.071 [电气工程—电机]
O322 [理学—一般力学与力学基础]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响
乔大勇
杨璇
夏长锋
曾琪
潘春晖
练彬
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
下载PDF
职称材料
2
非线性动力学理论与大型火电机组振动故障综合治理技术
陈予恕
田家玉
金宗武
丁千
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
19
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职称材料
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