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反射镜基片无损伤清洗技术研究
1
作者
张晋宽
白满社
滕霖
《航空精密制造技术》
2021年第5期1-3,8,共4页
本文以抛光表面模型为理论,分析了基片表面损伤产生的机理,设计正交实验,得出了基片表面损伤产生的主要因素。通过改进清洗工艺,制备出了无损伤的超光滑表面。
关键词
无损伤清洗
亚表面损伤
超光滑表面
反射镜
原文传递
题名
反射镜基片无损伤清洗技术研究
1
作者
张晋宽
白满社
滕霖
机构
航空工业西安飞行自动控制研究所
出处
《航空精密制造技术》
2021年第5期1-3,8,共4页
文摘
本文以抛光表面模型为理论,分析了基片表面损伤产生的机理,设计正交实验,得出了基片表面损伤产生的主要因素。通过改进清洗工艺,制备出了无损伤的超光滑表面。
关键词
无损伤清洗
亚表面损伤
超光滑表面
反射镜
Keywords
no
damage
cleaning
subsurface
damage
super-smooth
surface
mirror
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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1
反射镜基片无损伤清洗技术研究
张晋宽
白满社
滕霖
《航空精密制造技术》
2021
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