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用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜
被引量：
1
1
作者
窦瑞芬
田林海
+2 位作者
潘俊德
陈飞
赵晋香
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期27-29,共3页
介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法———网状阴极法。其设备简单、价格低廉。实验中发现 ,在各个参数配比合适的条件下 ,可制备出结构为fcc(面心立方 )和hex(密排六方 )的氮化钽薄膜。薄膜较致密且均匀 ,与基体的结合...
介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法———网状阴极法。其设备简单、价格低廉。实验中发现 ,在各个参数配比合适的条件下 ,可制备出结构为fcc(面心立方 )和hex(密排六方 )的氮化钽薄膜。薄膜较致密且均匀 ,与基体的结合好。同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等。该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径。
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关键词
网状阴极法
碳钢
表面沉积
氮化钽薄膜
空心阴极效应
下载PDF
职称材料
题名
用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜
被引量：
1
1
作者
窦瑞芬
田林海
潘俊德
陈飞
赵晋香
机构
太原理工大学表面工程研究所
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期27-29,共3页
基金
山西省青年基金资助项目 (9910 2 0 )
文摘
介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法———网状阴极法。其设备简单、价格低廉。实验中发现 ,在各个参数配比合适的条件下 ,可制备出结构为fcc(面心立方 )和hex(密排六方 )的氮化钽薄膜。薄膜较致密且均匀 ,与基体的结合好。同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等。该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径。
关键词
网状阴极法
碳钢
表面沉积
氮化钽薄膜
空心阴极效应
Keywords
net
\|
shape
cathode
sputtering
hollow
cathode
effect
tantalum
nitride
thin
film
分类号
TB43 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜
窦瑞芬
田林海
潘俊德
陈飞
赵晋香
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2002
1
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职称材料
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