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题名纳米光刻技术的现状和未来
被引量：6
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作者
陈献忠
姚汉民
陈旭南
李展
罗先刚
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机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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出处
《物理》
CAS
北大核心
2002年第11期691-695,共5页
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基金
中国科学院知识创新工程项目 (批准号 :A2K0 0 0 9)
微细加工光学技术国家重点实验室开放基金课题 (批准号 :KFS4)资助项目
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文摘
纳米技术是 2 1世纪信息科学的一项关键技术 ,纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分 .纳米光刻技术是制作纳米结构的基础 ,具有重要的应用前景 .文章对光学光刻技术进行了概述 ,介绍了几种纳米光刻技术的新途径、发展现状和关键问题 。
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关键词
纳米技术
纳米光刻
纳米结构制作
应用前景
纳米材料
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Keywords
nanotechnolgy, nanolithography, nanostructure, applied perspective
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名纳米光刻技术现状与进展
被引量：4
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作者
耿磊
陈勇
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机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
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出处
《世界科技研究与发展》
CSCD
2005年第3期7-11,共5页
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文摘
随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础。纳米光刻技术是制作纳米结构的基础,具有重要的应用前景。文章介绍了几种极有潜力的下一代纳米光刻技术,包括极紫外光刻技术、电子束光刻技术、纳米压印光刻技术的新途径、发展现状和关键问题,最后讨论了纳米光刻技术的应用前景。
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关键词
纳米技术
纳米光刻
纳米结构制作
纳米光刻技术
现状与进展
纳米结构器件
极紫外光刻技术
电子束光刻技术
纳米加工技术
集成电路
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Keywords
nanotechnolgy , nanolithography , nanostructure
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分类号
TG669
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名中国纳米科技创新系统的形成、演化及建议
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作者
欧龙新
胡志强
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机构
中国科学院研究生院人文学院
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出处
《中国科学院院刊》
2010年第4期465-471,共7页
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文摘
经过20世纪80年代中期至今近30年的发展,中国纳米科技队伍已经成为国际纳米科技界最为活跃的力量之一。这一发展历程经历了3个阶段,即纳米科学知识积累阶段、纳米科技创新系统形成阶段和创新价值链雏形阶段。为促进纳米科技创新系统的不断完善,今后应以促进产业目标实现为导向,重点推动系统各行为主体构建更为紧密的互动关系。
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关键词
纳米科技
创新系统
政策建议
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Keywords
nanotechnolgy
system of innovation
and suggestions on policies
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分类号
TB383.1
[一般工业技术—材料科学与工程]
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