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基于纳米裂纹的超高灵敏度柔性温度传感器 被引量:4
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作者 初永志 郭洪吉 +1 位作者 尹鹏和 刘军山 《机电工程技术》 2018年第11期33-35,59,共4页
利用光刻和弯曲的方法,在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底上制作出一种带有纳米裂纹的柔性温度传感器。该传感器的平均电阻温度系数TCR高达1.4/K,比传统的温度传感器提高3个数量级。此外,还对单方向弯曲和双方向弯曲制作的温度传感器的性能进... 利用光刻和弯曲的方法,在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底上制作出一种带有纳米裂纹的柔性温度传感器。该传感器的平均电阻温度系数TCR高达1.4/K,比传统的温度传感器提高3个数量级。此外,还对单方向弯曲和双方向弯曲制作的温度传感器的性能进行对比分析。实验结果表明双方向弯曲制作的温度传感器具有更高的灵敏度,但测量范围较窄。 展开更多
关键词 纳米裂纹 聚二甲基硅氧烷 温度传感器
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熔石英抛光表面结构的蚀刻和热处理表征 被引量:4
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作者 杨明红 赵元安 +2 位作者 单海洋 易葵 邵建达 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期61-68,共8页
利用HF蚀刻和热处理,结合原子力显微(AFM)分析,对传统抛光和磁流变抛光的表面结构进行了表征。为了分析热处理凸起的形成源,抛光表面在热处理前分别采用超声清洗、化学沥滤和HF蚀刻三种不同的表面处理技术进行处理,去除了不同表面材料... 利用HF蚀刻和热处理,结合原子力显微(AFM)分析,对传统抛光和磁流变抛光的表面结构进行了表征。为了分析热处理凸起的形成源,抛光表面在热处理前分别采用超声清洗、化学沥滤和HF蚀刻三种不同的表面处理技术进行处理,去除了不同表面材料。蚀刻形貌和热处理形貌及其关联性表明,传统抛光表面存在着大量纳米级缺陷,这些缺陷由易于诱导激光损伤的纳米级微裂纹和颗粒状分布的抛光杂质组成。结合抛光机制的分析,建立了传统抛光表面的微裂纹-颗粒杂质结构模型。 展开更多
关键词 光学制造 抛光表面结构 HF蚀刻 热退火 退火凸起 纳米级裂纹
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考虑表面效应时孔边均布径向多裂纹Ⅲ型断裂力学分析 被引量:3
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作者 冯国益 肖俊华 苏梦雨 《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 2020年第4期376-385,共10页
理论研究了纳米尺度孔边均布径向多裂纹的Ⅲ型断裂性能.基于Gurtin-Murdoch表面弹性理论和保角映射技术,获得了孔和裂纹应力场的解析解,给出了裂纹尖端应力强度因子的闭合解.基于解答分析了应力强度因子的尺寸效应,讨论了裂纹数量、裂纹... 理论研究了纳米尺度孔边均布径向多裂纹的Ⅲ型断裂性能.基于Gurtin-Murdoch表面弹性理论和保角映射技术,获得了孔和裂纹应力场的解析解,给出了裂纹尖端应力强度因子的闭合解.基于解答分析了应力强度因子的尺寸效应,讨论了裂纹数量、裂纹/孔径比和缺陷表面性能对应力强度因子的影响.结果表明:当孔和裂纹尺寸在纳米量级时,无量纲应力强度因子具有显著的尺寸效应;应力强度因子随裂纹数量的变化规律受裂纹/孔径比的影响;裂纹/孔径比对应力强度因子的影响受到缺陷表面性能的制约,同时表面性能对应力强度因子的影响也受限于裂纹/孔径比;表面效应对应力强度因子的影响与裂纹数量无关. 展开更多
关键词 纳米尺度缺陷 孔边径向多裂纹 表面效应 应力强度因子
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