-
题名三氧化钨纳米薄膜制备与气敏性能的研究
被引量：3
- 1
-
-
作者
尹英哲
胡明
冯有才
陈鹏
-
机构
天津大学电子信息工程学院
-
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期2361-2363,共3页
-
文摘
讨论一种对二氧化氮具有高灵敏性的WO3纳米薄膜的制备方法.当基片温度为室温,溅射混合气体(O2/Ar)的比例为1:1时,用直流反应磁控溅射法制备的薄膜,经过两步热处理(300℃/600℃),得到纳米结构WO3气敏元件.通过XRD、XPS和SEM对该薄膜的晶体结构和化学成分进行分析,用静态配气法测试NO2气敏特性.在Si3N4基片上制备的这种薄膜对空气中较低浓度的NO2(体积分数为0.1×10-5～3×10-5)具有优异的敏感特性和响应特性,最佳工作温度为150℃,在此温度下对其他一些气体(如CO,C2H5OH,NH3)的敏感性很差,显示出良好的选择性.
-
关键词
wo3纳米薄膜
灵敏度
直流反应磁控溅射
两步热处理
-
Keywords
nanocrystalline wo3 thin film
sensitivity
dc reactive magnetron sputtering
two-step annealing
-
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
