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利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征 被引量：2
1
作者 郭彤 胡春光 +2 位作者 陈津平 傅星 胡小唐 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期302-305,共4页
描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法,它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法,利用ISO5436-1:2000国际标准对纳米台阶高... 描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法,它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法,利用ISO5436-1:2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价。结果表明,该方法具有无损、快速和易于在晶片上进行的特点。系统测量的精度在纳米量级,重复性在亚纳米量级。 展开更多
关键词 计量学 纳米计量 台阶标准 相移干涉术 Hariharan算法 软件调平
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纳米标准物及长时稳定性
2
作者 刘庆纲 李源 +2 位作者 李敏 李艳宁 胡小唐 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2004年第2期161-163,共3页
纳米级尺度实物标准是纳米尺寸传递体系中的关键环节,也是评价和校正压电驱动等微扫描微定位装置的重要工具。该文针对一维台阶实物标准的材料选择、加工和评价方法等方面进行研究,并对已试制的纳米标准台阶进行了长时稳定性的跟踪研究... 纳米级尺度实物标准是纳米尺寸传递体系中的关键环节,也是评价和校正压电驱动等微扫描微定位装置的重要工具。该文针对一维台阶实物标准的材料选择、加工和评价方法等方面进行研究,并对已试制的纳米标准台阶进行了长时稳定性的跟踪研究。实验结果表明,该标准物的台阶高度制造精度为±1.1nm,长期稳定性优于±0.5nm。 展开更多
关键词 纳米标准物 评价方法 SPM 稳定性
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时间相移显微干涉术用于微机电系统的尺寸表征 被引量：5
3
作者 郭彤 胡春光 +2 位作者 陈津平 傅星 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第1期44-49,共6页
提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜,利用高性能压电陶瓷物镜纳米定位器... 提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜,利用高性能压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直方向的相移,并通过健壮的5帧Hariharan算法获取表面的相位信息.通过测量美国国家标准研究院(NIST)认证的标准台阶对系统进行了精度标定,并通过测量微谐振器和压力传感器微薄膜的几何尺寸说明了该方法作为测量和过程表征工具的功能. 展开更多
关键词 纳米计量 微机电系统 相移干涉术 Hariharan算法 台阶标准
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集成聚焦式测头的纳米测量机用于台阶高度标准的评价 被引量：5
4
作者 郭彤 陈津平 +1 位作者 傅星 胡小唐 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1096-1100,共5页
利用集成聚焦式测头的纳米测量机实现了高精度的台阶高度标准评价,该系统的测量范围可以达到25mm×25mm×5mm。描述了纳米测量机的工作原理,通过内嵌激光干涉仪和角度传感器的实时测量与反馈,实现高精度定位与扫描。聚焦式测头... 利用集成聚焦式测头的纳米测量机实现了高精度的台阶高度标准评价,该系统的测量范围可以达到25mm×25mm×5mm。描述了纳米测量机的工作原理,通过内嵌激光干涉仪和角度传感器的实时测量与反馈,实现高精度定位与扫描。聚焦式测头只作为零点传感器,与3个激光轴交于一点,避免了阿贝误差影响。通过将聚焦式测头的输出信号引入到纳米测量机的数字信号控制器中,实现定位系统的辅助测量,减小了聚焦式测头的非线性对测量结果的影响。根据ISO5436-1:2000的评价方法对经过标定的台阶高度进行评价,14次测量的均方根(RMS)偏差为0.237nm。 展开更多
关键词 测量与计量 纳米测量机 聚焦式测头 台阶高度标准
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集成AFM测头的纳米测量机用于台阶高度的评价 被引量：1
5
作者 郭彤 陈津平 +3 位作者 傅星 T. Hausotte G. Jager 胡小唐 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期297-300,共4页
利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作... 利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了NMM和AFM的工作原理,说明了NMM的高精度定位性能,系统利用NMM实现x、y方向的扫描,AFM测头只是作为零点传感器,通过将AFM的悬臂梁反馈控制信号引入到NMM的数字信号控制器中,NMM实现在z方向的辅助测量,这种测量模式减小了AFM的PZT扫描器固有特性对测量的影响。根据ISO 5436—1:2000的评价方法对经过标定的台阶高度进行评价,14次测量的标准偏差为0.52 nm。 展开更多
关键词 计量学 纳米测量机 原子力显微镜 台阶高度标准
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基于SIFT图像拼接算法的标准样板测量技术 被引量：2
6
作者 程纪榕 赵军 +1 位作者 蔡潇雨 邵力 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第1期71-77,共7页
为了在使用高倍物镜测量标准样板时获得高分辨率的样本整体区域信息,提出了一种基于尺度不变特征变换(SIFT)图像拼接算法的标准样板测量技术。首先通过高倍物镜获取局部三维结构,将其转化为二维灰度图像;然后采用SIFT和RANSAC算法得到... 为了在使用高倍物镜测量标准样板时获得高分辨率的样本整体区域信息,提出了一种基于尺度不变特征变换(SIFT)图像拼接算法的标准样板测量技术。首先通过高倍物镜获取局部三维结构,将其转化为二维灰度图像;然后采用SIFT和RANSAC算法得到准确的特征点;最后采用加权平均融合算法得到完整图像,重构整体样板三维结构,并利用ISO5436-1∶2000对标准样板台阶高度进行评价。实验对100和400 nm两种高度的标准样板进行了测量和拼接,并对拼接后的台阶高度进行评价,测量均值分别为100.3和398.9 nm,实验表明该技术能准确还原标准样板中台阶的高度,有效扩大了标准样板形貌重构的范围。 展开更多
关键词 微纳米测量 图像拼接 标准样板 台阶高度标准 形貌重构
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