飞秒激光直写铜微电极研究 被引量：15

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作者 廖嘉宁 王欣达 +3 位作者 周兴汶 李立航 郭伟 彭鹏 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期190-195,共6页

采用飞秒激光直写技术在预涂覆廉价铜离子涂层的柔性基体上通过激光还原得到纳米铜颗粒并原位连接形成导电结构,成功制得了具有优良导电性能的铜微电极。研究了不同激光功率及扫描速率对微电极形貌结构、导电性能的影响。结果表明:在不... 采用飞秒激光直写技术在预涂覆廉价铜离子涂层的柔性基体上通过激光还原得到纳米铜颗粒并原位连接形成导电结构,成功制得了具有优良导电性能的铜微电极。研究了不同激光功率及扫描速率对微电极形貌结构、导电性能的影响。结果表明:在不损伤基体的条件下,随着辐照激光能量密度增大,铜微电极的导电性能明显提高;当激光功率为1210 mW、扫描速度为1 mm/s时,所制备的微电极的成分主要为铜,导电性能较好,方阻达到2.74Ω·sq-1。该研究为发展低成本、高效率的柔性电极制造提供了一种新技术,并拓宽了纳米铜材料在电子行业的应用范围。 展开更多

关键词 激光技术 微纳结构 原位还原 纳米连接 柔性电极

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Ni/Ag纳米结构制备及其纳米连接接头性能的研究

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作者 郑振 王宏 +3 位作者 王海波 杨鲁东 王春青 李宁 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期88-93,109,共7页

纳米连接材料可以很好地满足大功率器件的封装要求,由于纳米连接材料微观结构与传统焊盘存在较大差异,导致其在使用过程中存在微观尺度的不兼容。为了更好地实现低温连接高温服役的目的,在传统铜焊盘表面直接电沉积制备了Ni纳米阵列,并... 纳米连接材料可以很好地满足大功率器件的封装要求,由于纳米连接材料微观结构与传统焊盘存在较大差异,导致其在使用过程中存在微观尺度的不兼容。为了更好地实现低温连接高温服役的目的,在传统铜焊盘表面直接电沉积制备了Ni纳米阵列,并对Ni纳米阵列表面化学镀银工艺进行了研究,通过SEM、AFM等手段分析了不同清洗工艺、镀液组成、施镀温度和时间对Ag镀层微观结构的影响。得到的Ni/Ag表面纳米结构与纳米银连接材料进行直接热压烧结连接,接头剪切强度测试结果表明,其剪切强度较铜焊盘接头提高了14倍。 展开更多

关键词 化学镀银 Ni纳米阵列 纳米连接 剪切强度

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纳米技术在微电子连接方面的应用

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作者 汪雲杰 《现代信息科技》 2018年第4期57-58,共2页

纳米技术在微电子连接方面的应用一直是业内人士关心的内容。此项技术如果成熟,无疑会给现有的科技和生活带来巨大改变。本文介绍了纳米印刷技术和纳米连接技术,并在此基础上分析纳米技术在微电子连接方面的应用。

关键词 纳米技术 微电子连接 技术应用

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华北南部构造煤纳米级孔隙结构演化特征及作用机理 被引量：79

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作者 琚宜文 姜波 +2 位作者 侯泉林 王桂梁 方爱民 《地质学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期269-285,共17页

构造煤是在构造应力作用下,煤体发生变形或破坏的一类煤,在世界主要产煤国家皆有分布。构造变形不同程度的改变着煤的大分子结构和化学成分,而且也影响到构造煤的纳米级孔隙结构(<10 0 nm ) ,它是煤层气的主要吸附空间。通过构造煤... 构造煤是在构造应力作用下,煤体发生变形或破坏的一类煤,在世界主要产煤国家皆有分布。构造变形不同程度的改变着煤的大分子结构和化学成分,而且也影响到构造煤的纳米级孔隙结构(<10 0 nm ) ,它是煤层气的主要吸附空间。通过构造煤显微组分和镜质组油浸最大反射率的测定,采用液氮吸附法对不同变质变形环境、不同变形系列构造煤的纳米级孔隙分类、孔隙结构特征进行了深入系统的研究,并结合高分辨透射电子显微镜和X射线衍射对大分子结构和孔隙结构的分析,结果表明:不同类型构造煤纳米级孔径结构自然分类,可将孔径结构划分为过渡孔(15～10 0 nm )、微孔(5～15 nm )、亚微孔(2 .5～5 nm )和极微孔(<2 .5 nm ) 4类。低煤级变形变质环境中随着构造变形的增强,不同类型构造煤过渡孔孔容明显降低,微孔及其下孔径段孔容明显增多,可见亚微孔和极微孔,过渡孔的比表面积大幅度降低,而亚微孔的却增加得较快。从脆韧性变形煤至韧性变形煤,总孔体积、累积比表面积、N2 吸附量随着构造变形的增强,这些结构参数均迅速增加,但中值半径进一步下降。非均质结构煤孔隙参数与弱脆性变形煤相当。中、高煤级变形变质环境形成的各种类型构造煤与低煤级变质变形环境相比,孔隙参数的变化基本一致。 展开更多

关键词 构造煤 构造应力 化学成分 纳米级孔隙结构 煤层气 吸附空间 变形煤 结构参数 作用机理 演化特征

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激光微纳连接技术研究进展 被引量：5

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作者 张丽丽 孙树峰 +4 位作者 王茜 张丰云 王萍萍 曹成铭 张子宾 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2022年第3期22-39,共18页

激光微纳连接技术是实现微纳米结构、电子元器件批量化生产的基础,是微纳制造领域的关键技术。在简要介绍微纳连接技术的应用需求和主要技术方法的基础上,重点对微纳尺度的激光连接技术进行了分析和论述。首先介绍了激光连接技术的尺寸... 激光微纳连接技术是实现微纳米结构、电子元器件批量化生产的基础,是微纳制造领域的关键技术。在简要介绍微纳连接技术的应用需求和主要技术方法的基础上,重点对微纳尺度的激光连接技术进行了分析和论述。首先介绍了激光连接技术的尺寸范围,然后根据其工艺特性的不同选取三种典型的激光微纳连接技术,即激光微焊接,微纳尺度的激光软钎焊和激光植球,分别论述该三种技术的加工原理及特点、工艺参数和应用现状。通过对激光微纳连接技术工艺参数的研究和应用现状的总结,探讨激光微纳连接技术在航空航天、微电子封装、医疗器件等领域的重要应用,并对激光微纳连接技术的发展方向和未来研究工作进行了总结。 展开更多

关键词 激光光学 激光微纳连接 激光微焊接 激光软钎焊 激光植球

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“后摩尔时代”芯片互连方法简析

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作者 张墅野 初远帆 +6 位作者 李振锋 鲍俊辉 张雨杨 刘一甫 易庆鸿 崔澜馨 何鹏 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第15期121-130,共10页

随着半导体制程接近工艺物理极限,半导体工业进入“后摩尔时代”,集成技术成为继续提高电子产品性能的重要途径。现存的实现高度集成的关键技术都对更小尺寸的连接提出了要求。同时随着连接尺寸的减小,封装体在连接工艺中受到的影响导... 随着半导体制程接近工艺物理极限,半导体工业进入“后摩尔时代”,集成技术成为继续提高电子产品性能的重要途径。现存的实现高度集成的关键技术都对更小尺寸的连接提出了要求。同时随着连接尺寸的减小,封装体在连接工艺中受到的影响导致器件在使用温度下失效的问题越来越严重。封装内的互连部分是芯片热传导、电气连接的重要结构,也是器件失效的重要部位,在互连接头尺寸不断减小的背景下,互连部分的失效在器件整体失效的情况中占据着越来越重要的地位,研究高导热、低工艺影响的微纳连接技术有望解决高功率密度器件的可靠性问题。本文总结了微纳连接技术在新型焊料、能量传递方式两方面的发展,简单介绍了表面活化技术并讨论其应用在电子封装中的可能性,在此基础上讨论了微纳连接技术的发展方向。 展开更多

关键词 微纳连接 表面活化键合 低温焊料 纳米焊料 电子束辐照 超声连接

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纳米重防腐有机涂层体系中纳米环氧封闭底漆的作用 被引量：4

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作者 李莎莎 申春淼 +2 位作者 徐颖 杨奔奔 芦玉峰 《涂料工业》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期13-17,共5页

为了提高对纳米重防腐有机涂层体系的了解,为进一步优化纳米重防腐涂料涂层体系、缩短工艺周期提供支撑,本研究通过扫描电镜测试、3.5%Na Cl划叉加速浸泡实验和电化学阻抗谱分析,研究了纳米重防腐有机涂层体系中纳米环氧封闭底漆在体系... 为了提高对纳米重防腐有机涂层体系的了解,为进一步优化纳米重防腐涂料涂层体系、缩短工艺周期提供支撑,本研究通过扫描电镜测试、3.5%Na Cl划叉加速浸泡实验和电化学阻抗谱分析,研究了纳米重防腐有机涂层体系中纳米环氧封闭底漆在体系中起到的作用。结果表明:纳米环氧封闭底漆具有优良的封孔作用和连接作用,使重防腐纳米有机涂层体系中涂层之间的结合更加紧密,可以有效增强涂层体系的抗腐蚀介质渗透性,提高涂层体系的耐腐蚀性。 展开更多

关键词 纳米重防腐有机涂层 纳米环氧封闭底漆 封孔 连接 耐腐蚀性

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铜基纳米复合减摩涂料在抗腐蚀油套管螺纹接头上的应用 被引量：3

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作者 孟昭 张雪峰 +1 位作者 杨云 赵世龙 《钢管》 CAS 2018年第1期18-22,共5页

将高度浓缩纳米铜悬浮液与聚四氟乙烯颗粒按适当比例混合,并以特种聚丙烯酸树脂为主要黏结剂,制备出铜基纳米复合减摩涂料。将该复合减摩涂料用于N80S、P110S、TP95TS三种材质的抗腐蚀油套管接头,并在工厂进行标准全尺寸上卸扣试验。试... 将高度浓缩纳米铜悬浮液与聚四氟乙烯颗粒按适当比例混合,并以特种聚丙烯酸树脂为主要黏结剂,制备出铜基纳米复合减摩涂料。将该复合减摩涂料用于N80S、P110S、TP95TS三种材质的抗腐蚀油套管接头,并在工厂进行标准全尺寸上卸扣试验。试验结果表明:卸扣后螺纹表面未出现任何明显的螺纹黏结划伤;接箍表面经该减摩涂料处理可有效提高其螺纹接头的抗黏结性能,使其达到与镀铜相当的良好效果。 展开更多

关键词 油套管 纳米减摩涂料 抗腐蚀螺纹接头 镀铜 螺纹黏结

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微连接用碳基纳米颗粒增强无铅复合钎料的研究新进展 被引量：3

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作者 王悔改 张柯柯 +1 位作者 尹宸翔 吴咏锦 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期15-26,共12页

综合评述含碳纳米管、石墨烯纳米片等碳基纳米颗粒增强微连接用无铅复合钎料的研究现状,介绍了碳纳米管、石墨烯纳米片、富勒烯、金属改性碳纳米管(石墨烯纳米片)等增强相对无铅钎料和钎焊接头组织与性能的影响。简述了无铅复合钎料的... 综合评述含碳纳米管、石墨烯纳米片等碳基纳米颗粒增强微连接用无铅复合钎料的研究现状,介绍了碳纳米管、石墨烯纳米片、富勒烯、金属改性碳纳米管(石墨烯纳米片)等增强相对无铅钎料和钎焊接头组织与性能的影响。简述了无铅复合钎料的制备方法、熔化特性、导电性、润湿性、力学性能和无铅复合钎料焊点可靠性等,指出了碳基纳米颗粒增强无铅复合钎料存在的问题、解决措施及发展趋势。 展开更多

关键词 碳基纳米颗粒 无铅复合钎料 微连接 进展

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纳升液相色谱仪器的研究进展 被引量：2

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作者 杨三东 李乃杰 +2 位作者 马周 唐涛 李彤 《色谱》 CAS CSCD 北大核心 2021年第10期1065-1076,共12页

小型化是液相色谱分离技术发展的重要趋势之一,包括仪器外形尺寸的小型化、分离材料粒径的小型化以及色谱柱内径的小型化。色谱柱内径的减小能够降低样品和流动相的消耗,具有更高的质量灵敏度,特别适合用于复杂样品体系的分离分析。纳... 小型化是液相色谱分离技术发展的重要趋势之一,包括仪器外形尺寸的小型化、分离材料粒径的小型化以及色谱柱内径的小型化。色谱柱内径的减小能够降低样品和流动相的消耗,具有更高的质量灵敏度,特别适合用于复杂样品体系的分离分析。纳升液相色谱一般是指使用内径小于100μm的毛细管色谱柱,流速范围在每分钟几十至几百纳升的色谱技术。由于流速很低,色谱柱体积很小,柱外效应显著,因此对色谱仪器系统各个模块的性能以及系统柱外效应的优化提出了较高的要求。纳升液相色谱的输液装置需要能够准确稳定地输送纳升级流速,具有梯度输液模式,且拥有一定的耐压能力,以适应不同规格的色谱柱类型;进样装置需要能够进行准确重复的进样过程,进样体积及进样方式适合毛细管色谱柱,同时不产生明显的柱外效应;检测装置需要具有较高的灵敏度,且具有较小的柱外扩散;管路与连接系统需要稳定、可靠、易操作,并能够最大限度地减小柱外体积,适配纳升级流速。鉴于目前大多数纳升液相色谱系统与质谱检测器联用,因而本文主要从输液装置、进样装置、管路与连接3个方面对相关技术领域的研究论文、技术专利以及仪器厂商的宣传文件等进行了检索与归纳,综述了这些模块的技术路线与研究进展,同时简要介绍光学吸收型检测装置的优化思路与研究进展,并对部分商品化的纳升液相色谱系统进行了对比。 展开更多

关键词 小型化 纳升液相色谱 柱外效应 输液装置 进样装置 管路与连接

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功率超声微纳电子封装互连技术研究进展 被引量：1

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作者 张文武 潘浩 +2 位作者 马秋晨 李明雨 计红军 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期100-121,共22页

新材料与工艺是推动先进电子制造与封装发展的关键,尤其针对高集成度、高温服役和高可靠性等大功率器件的互连难题,开发出面向高端微电子制造关键“卡脖子”技术的材料与工艺显得尤为紧迫。功率超声具有表面清洁、空化与声流等特性,可... 新材料与工艺是推动先进电子制造与封装发展的关键,尤其针对高集成度、高温服役和高可靠性等大功率器件的互连难题,开发出面向高端微电子制造关键“卡脖子”技术的材料与工艺显得尤为紧迫。功率超声具有表面清洁、空化与声流等特性,可显著提高界面冶金连接能力,能有效克服传统瞬态液相连接反应时间长与温度高的难点,且能破解Cu、Al等金属互连过程中易氧化的痛点问题,并解决了SiC、Al_(2)O_(3)、AlN等陶瓷基板难润湿与纳米颗粒低温烧结驱动力不足的难题。结合本团队在该领域深耕多年的积累,聚焦功率超声应用于微纳连接方向,从超声固相键合、超声复合钎焊和超声纳米烧结互连等三个方面综述了面向电子制造中功率超声微纳连接技术的原理、方法、特点及实际应用场合,并分别从固相连接中引线键合、室温超声金属连接和超声增材制造等领域,到钎焊连接中超声低中高温软钎焊与超声瞬态液相连接等领域,提出适用于超声微纳连接的新型互连技术。最后,针对第三代半导体中大功率器件封装互连的迫切需求提出了超声纳米烧结连接新方法,并开发出具有高效低温连接高温服役的金属纳米焊膏新型互连材料,且对其接头力学、热学、电学,以及可靠性等进行了全面评估,也进一步总结了功率超声微纳连接技术的研究进展及趋势。 展开更多

关键词 微电子封装 大功率器件封装 超声固相连接 超声复合钎焊 超声纳米烧结互连

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覆纳米银铜粉焊膏的制备及其连接性分析

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作者 曹洋 刘平 +3 位作者 魏红梅 林铁松 何鹏 顾小龙 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期33-36,114,共5页

提出将纳米银与覆纳米银铜粉按照比例混合制备焊膏,用于低温连接纯度为99.99%的无氧紫铜板:首先利用液相化学还原法制备出平均粒径为20~35 nm的纳米银颗粒,同时利用化学镀制备覆纳米银铜粉颗粒.之后将纳米银与覆纳米银铜粉机械混合制备... 提出将纳米银与覆纳米银铜粉按照比例混合制备焊膏,用于低温连接纯度为99.99%的无氧紫铜板:首先利用液相化学还原法制备出平均粒径为20~35 nm的纳米银颗粒,同时利用化学镀制备覆纳米银铜粉颗粒.之后将纳米银与覆纳米银铜粉机械混合制备焊膏并在200℃烧结温度,10 MPa压力,保温30 min条件下烧结连接无氧紫铜板,并与纳米银焊膏单独烧结情况做对比分析,通过扫描电镜(SEM)观察连接接头形貌,其中纳米银与覆纳米银铜粉混合焊膏得到的烧结接头界面连接紧密,接头组织内有一定的孔隙率,其平均抗剪强度达20 MPa. 展开更多

关键词 纳米银 覆银铜 低温连接

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