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碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势
1
作者
罗求发
陈杰铭
+1 位作者
程志豪
陆静
《湖南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期140-152,共13页
碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应,给现有的加工技术带来了巨大的挑战,高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当下的研究热点.本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛加工技术的研究进展,对...
碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应,给现有的加工技术带来了巨大的挑战,高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当下的研究热点.本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛加工技术的研究进展,对比各类磨抛技术的特点,指出碳化硅衬底磨抛加工技术面临的挑战和发展趋势,以期为大尺寸碳化硅衬底的高质量、高效率、低成本加工提供新的思路和方法.
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关键词
碳化硅
表面粗糙度
机械磨抛技术
化学反应磨抛技术
多能场辅助磨抛技术
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职称材料
题名
碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势
1
作者
罗求发
陈杰铭
程志豪
陆静
机构
华侨大学制造工程研究院
华侨大学脆性材料产品智能制造技术国家地方联合工程研究中心
高性能工具全国重点实验室
出处
《湖南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期140-152,共13页
基金
国家自然科学基金资助项目(52005190)
福建省自然科学基金资助项目(2021J05060)
+1 种基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(ZQN-1022)
国家自然科学基金联合基金重点资助项目(U22A20198)。
文摘
碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应,给现有的加工技术带来了巨大的挑战,高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当下的研究热点.本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛加工技术的研究进展,对比各类磨抛技术的特点,指出碳化硅衬底磨抛加工技术面临的挑战和发展趋势,以期为大尺寸碳化硅衬底的高质量、高效率、低成本加工提供新的思路和方法.
关键词
碳化硅
表面粗糙度
机械磨抛技术
化学反应磨抛技术
多能场辅助磨抛技术
Keywords
silicon
carbide
surface
roughness
mechanical
grinding
and
polishing
technology
chemical
reac-tion
grinding
and
polishing
technology
multi
-
energy
field
assisted
grinding
and
polishing
technology
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势
罗求发
陈杰铭
程志豪
陆静
《湖南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
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职称材料
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