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多自由度测试技术的发展 被引量：8
1
作者 范志刚 许士文 《应用光学》 CAS CSCD 2003年第6期1-4,8,共5页
　介绍目前较常用的多种多自由度测试技术,给出每种测试技术的测试原理和应用场合,比较各种技术的优缺点和适用范围,讨论该技术发展的方向。
关键词 多自由度 测试技术 实时测量
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基于历史与磁检测信息的永磁同步平面电机定位方法（英文） 被引量：1
2
作者 朱翼先 胡金春 +2 位作者 杜胜武 高阵雨 陈龙敏 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第12期205-213,共9页
通过检测永磁同步平面电机固有的空间磁场实现平面三自由度定位,能够简化运动位移传感器的结构布局,对电流相位的确定和运动控制的精度实现具有重要意义。然而,由于磁场空间分布的非线性,若直接采用常规的数学方法计算三自由度位移,会... 通过检测永磁同步平面电机固有的空间磁场实现平面三自由度定位,能够简化运动位移传感器的结构布局,对电流相位的确定和运动控制的精度实现具有重要意义。然而,由于磁场空间分布的非线性,若直接采用常规的数学方法计算三自由度位移,会导致问题极其复杂且求解精度低。本文从信息融合的角度,运用电机运动的连续性与惯性,提出一种顺序求解算法,可实现平面三自由度位移的高精度、快速求解。该算法基于电机的历史位移和磁场检测信息,解决了原方法由于计算模型限制导致的收敛速度慢的问题。这种基于顺序求解的定位方法较原方法提高了位移分辨率和计算效率,为实现永磁同步平面电机的高精度运动控制铺平道路。 展开更多
关键词 多自由度定位 位移测量 传感器系统及应用 永磁同步平面电机 磁性装置
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四自由度同步外差干涉测量系统设计 被引量：1
3
作者 张善婷 郭汉明 《光学仪器》 2020年第4期75-81,共7页
针对多自由度测量技术中存在的测量范围有限、精度低和阿贝误差等问题,设计了一种大行程、高精度、可溯源、四自由度同时测量的外差干涉测量系统。采用碘稳频532 nm固体激光器作为测量仪光源,结合光纤耦合技术对双频光进行空间分离。使... 针对多自由度测量技术中存在的测量范围有限、精度低和阿贝误差等问题,设计了一种大行程、高精度、可溯源、四自由度同时测量的外差干涉测量系统。采用碘稳频532 nm固体激光器作为测量仪光源,结合光纤耦合技术对双频光进行空间分离。使用差分波前传感技术实现位移、俯仰角和偏转角的同步检测,并采用楔面棱镜测量直线度的变化。该测量系统可以抑制双频光混叠引起的非线性误差,行程范围为6 m,位移分辨率为0.13 nm,俯仰角和偏转角分辨率为0.026μrad,直线度分辨率为14.88 nm,测量结果具有可溯源性。 展开更多
关键词 多自由度测量 外差干涉测量 差分波前传感 楔面棱镜 可溯源
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基于无衍射光的三自由度误差测量方法 被引量：1
4
作者 别业广 吕清花 +4 位作者 商逸远 翟中生 黄孝川 成纯富 吕辉 《重庆师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期81-87,共7页
【目的】采用轴锥镜产生无衍射光作为光源,提出了一种基于无衍射光的3自由度误差测量方法。【方法】测量部分由1面反射镜和2面分光镜组成,并固定于可以在3个自由度上转动的工作台上。工作台转动产生的3种角度偏差(偏摆角、俯仰角和滚转... 【目的】采用轴锥镜产生无衍射光作为光源,提出了一种基于无衍射光的3自由度误差测量方法。【方法】测量部分由1面反射镜和2面分光镜组成,并固定于可以在3个自由度上转动的工作台上。工作台转动产生的3种角度偏差(偏摆角、俯仰角和滚转角)将造成2个不同位置处CCD接收到的光斑中心位置发生变化。【结果】通过理论分析得出了3种角度误差对应的变化量,并给出了模拟和实验结果。【结论】实验结果和模拟得到的理论值相一致,表明该方法能准确测量3自由度误差。 展开更多
关键词 多自由度误差测量 无衍射光 角度误差
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线性运动平台多自由度几何运动误差测量技术 被引量：1
5
作者 蔡引娣 王路辉 +1 位作者 高英豪 范光照 《计测技术》 2021年第5期42-51,共10页
线性运动平台是精密制造和测量的基础,其定位精度直接影响着制造和测量的精度。由于制造和装配误差的影响,运动平台存在六个自由度的运动误差,将影响运动平台的定位精度。为了提高运动平台的定位精度,需要准确地测量各项运动误差。传统... 线性运动平台是精密制造和测量的基础,其定位精度直接影响着制造和测量的精度。由于制造和装配误差的影响,运动平台存在六个自由度的运动误差,将影响运动平台的定位精度。为了提高运动平台的定位精度,需要准确地测量各项运动误差。传统的测量方法只能对单一误差进行测量,并且测量仪器体积较大,无法集成在运动平台中进行实时误差测量。本文提出了一系列成本低、体积小、易集成的高精度多自由度几何运动误差同时测量技术,可以根据测量需求选择测量系统的自由度,在提高测量精度的同时,实现在线测量,为提高线性运动平台运动精度起到重要作用。 展开更多
关键词 线性运动平台 多自由度运动误差 激光测量 半导体激光器
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多自由度全自动引信辐照实验台的研制与性能测试 被引量：6
6
作者 熊久良 武占成 +1 位作者 孙永卫 毕军建 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1715-1721,共7页
为解决引信辐照实验中姿态模拟难题,利用光纤控制、机械传动、屏蔽设计等方法,研制了一种多自由度全自动引信辐照实验台。整体设计了实验台实现方案,具体分析了相关模块的设计原理与实现方法,并对实验台的性能进行了测试。结果表明:实... 为解决引信辐照实验中姿态模拟难题,利用光纤控制、机械传动、屏蔽设计等方法,研制了一种多自由度全自动引信辐照实验台。整体设计了实验台实现方案,具体分析了相关模块的设计原理与实现方法,并对实验台的性能进行了测试。结果表明:实验台能够实现引信0~360°范围的角度调整,调整精度为1°,距离调整精度为1 cm;连续波辐照时场强误差小于6 V/m,强电磁脉冲辐照时场强误差小于2.6 kV/m。测试结果证明,该实验台可实现引信多自由度全自动姿态控制与调整,并完全适用于连续波和强电磁脉冲等辐照实验环境。 展开更多
关键词 多自由度全自动 引信 辐照实验台 连续波 强电磁脉冲 性能测试
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导轨五自由度运动误差的光学与倾角传感器组合测量方法 被引量：5
7
作者 郭俊康 李鑫波 李勰 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期64-72,共9页
为了准确、高效地对直线导轨多自由度运动误差进行测量,提升精密机械装配效率与质量,提出了一种运用光学与倾角传感器组合方式实现直线导轨系统五自由度运动误差同时测量的方法。首先对所提出的测量系统各测量模块进行光路分析,建立直... 为了准确、高效地对直线导轨多自由度运动误差进行测量,提升精密机械装配效率与质量,提出了一种运用光学与倾角传感器组合方式实现直线导轨系统五自由度运动误差同时测量的方法。首先对所提出的测量系统各测量模块进行光路分析,建立直线度测量模型,并提出了基于共光路的激光漂移分离检测与补偿方法。其次基于直线度测量模型,进一步分析了角度与平移误差串扰及解耦方法,消除由移动部件姿态变化和阿贝误差引起的误差串扰。最后,针对激光漂移的补偿方案进行了实验验证,并通过与激光干涉仪、电子水平仪的测量对比实验,俯仰角、偏摆角、滚转角误差最大偏差分别为5.55″、4.28″、2.21″,水平和竖直平移误差最大偏差分别为2.47、1.92μm,验证了组合测量系统的测量精度,为直线导轨准确、高效测量提供了一种结构简单、成本低的测量系统与方法。 展开更多
关键词 直线导轨 多自由度 组合测量 激光漂移补偿
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基于衍射光学器件的多自由度测量仿真研究 被引量：1
8
作者 颜树华 戴一帆 +1 位作者 吕海宝 李圣怡 《光学技术》 CAS CSCD 2003年第5期559-561,共3页
提出了基于衍射光学器件的单光束多自由度测量的新方法。描述了该方法的基本原理,建立了相应的激光干涉系统的数学模型,设计了一种能够产生多自由度测量信息的衍射光学器件。分析了干涉场光强信号特征与目标各平动和转动量之间的关系,... 提出了基于衍射光学器件的单光束多自由度测量的新方法。描述了该方法的基本原理,建立了相应的激光干涉系统的数学模型,设计了一种能够产生多自由度测量信息的衍射光学器件。分析了干涉场光强信号特征与目标各平动和转动量之间的关系,给出了仿真计算结果。该方法原理简单,测量效率高,并能提供较高的测量分辨率和测量精度。 展开更多
关键词 多自由度测量 激光干涉 衍射光学器件 仿真 数学模型 分辨率
原文传递
二自由度行波型超声波电机的驱动和运动姿态控制 被引量：9
9
作者 傅平 郭吉丰 +2 位作者 沈润杰 帅光举 鹿存跃 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第2期25-30,36,共7页
球形二自由度行波型超声波电机是一种多自由度超声波电机,文中介绍了一种二自由度行波型超声波电机简要的结构和机理,并介绍其驱动控制电源的设计,然后提出了一种新颖的电机姿态测量机构,最后研制基于相位差PI控制策略的电机驱动和运动... 球形二自由度行波型超声波电机是一种多自由度超声波电机,文中介绍了一种二自由度行波型超声波电机简要的结构和机理,并介绍其驱动控制电源的设计,然后提出了一种新颖的电机姿态测量机构,最后研制基于相位差PI控制策略的电机驱动和运动姿态控制系统。实验表明,球形二自由度超声波电机驱动和运动姿态控制是可行和正确的,而且具有较高的定位精度。本文为二自由度行波型超声波电机的优化设计和性能提高奠定了理论基础。 展开更多
关键词 行波型超声波电机 多自由度 球电机 相位差控制 位置测量 运动姿态控制
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