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采用改进型多弧离子镀膜设备镀制装饰膜层的研究 被引量:1
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作者 朱元义 朱常锋 +1 位作者 李力 朱元术 《真空》 CAS 2013年第2期31-33,共3页
针对目前国内多弧离子镀膜领域存在的智能化水平不高和大颗粒污染问题,我们通过设备改进,增加了可编程逻辑控制器和磁过滤器。以装饰镀膜中常用的二氧化钛膜为研究对象,对比了设备改进前后膜层的性能。X射线衍射测试表明所制备的二氧化... 针对目前国内多弧离子镀膜领域存在的智能化水平不高和大颗粒污染问题,我们通过设备改进,增加了可编程逻辑控制器和磁过滤器。以装饰镀膜中常用的二氧化钛膜为研究对象,对比了设备改进前后膜层的性能。X射线衍射测试表明所制备的二氧化钛膜层为金红石相。改进后的设备制备的膜层基本看不到大颗粒的存在,且膜层的绿色更加鲜艳。同时,由于设备的智能化水平提高,使得产品的性能非常稳定,随机抽取的5个样品不论从外观看还是通过反射率测试,性能几乎一样。 展开更多
关键词 多弧离子镀 二氧化钛 大颗粒
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锆合金表面磁控溅射与多弧离子镀Cr涂层的高温抗氧化性能 被引量:23
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作者 黄鹤 邱长军 +3 位作者 陈勇 胡良斌 刘艳红 李怀林 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期51-58,共8页
为了研究磁控溅射(MS)和多弧离子镀(MAIP)技术制备Cr涂层的高温抗氧化性能,分别在锆合金表面制备厚度约5μm的Cr涂层。利用氧化动力学曲线对比研究800℃条件下涂层的高温抗氧化性能,利用SEM、XRD、EDS分析涂层表面形貌和相结构。结果表... 为了研究磁控溅射(MS)和多弧离子镀(MAIP)技术制备Cr涂层的高温抗氧化性能,分别在锆合金表面制备厚度约5μm的Cr涂层。利用氧化动力学曲线对比研究800℃条件下涂层的高温抗氧化性能,利用SEM、XRD、EDS分析涂层表面形貌和相结构。结果表明:磁控溅射和多弧离子镀Cr涂层均能显著提高锆合金的高温抗氧化性能;磁控溅射Cr涂层表面光滑、致密,但涂层表面存在一定数量的孔洞,占涂层表面积0.40%,氧化7 h后涂层表面出现裂纹,单位面积氧化增重6.434 mg/cm2;与磁控溅射Cr涂层相比,多弧离子镀Cr涂层不再有(211)单一择优取向,Cr涂层厚度均匀,表面平整,膜/基界面分明,孔洞相对较少,占涂层表面积0.21%,氧化7 h后涂层表面依然致密,单位面积氧化增重5.616 mg/cm2,高温抗氧化性能优于磁控溅射Cr涂层。 展开更多
关键词 磁控溅射 多弧离子镀 Cr涂层 孔洞 高温抗氧化性能
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Ti_(1-x)Al_xN涂层的组织结构及Al元素的作用机理 被引量:17
3
作者 王永康 熊仁章 +2 位作者 雷廷权 夏立芳 李炳生 《宁波大学学报(理工版)》 CAS 2001年第4期48-51,共4页
通过不同Al含量的Ti Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了Ti1 xAlxN涂层 .用SEM、XRD、GAXRD以及XTEM等手段研究了涂层的组织结构及Al元素的作用 .研究表明 ,TiAlN涂层呈柱状多晶组织 ,(Ti,Al)N为涂层的主要组成相 ;随着Al含量的增... 通过不同Al含量的Ti Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了Ti1 xAlxN涂层 .用SEM、XRD、GAXRD以及XTEM等手段研究了涂层的组织结构及Al元素的作用 .研究表明 ,TiAlN涂层呈柱状多晶组织 ,(Ti,Al)N为涂层的主要组成相 ;随着Al含量的增加 ,涂层中的(Ti,Al)N相将减少 ,且其晶格常数将降低 . 展开更多
关键词 多弧离子镀 Ti1-xAlxN涂层 组织结构 铝元素 晶格常数 金属材料 表面处理 氮化铝钛 多元涂层
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多弧离子镀TiAlN薄膜的制备及其抗氧化性能 被引量:21
4
作者 梁启超 王天国 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期1-4,共4页
目前,关于氮氩比对TiAlN薄膜高温抗氧化性能影响的研究较少。采用多弧离子镀技术在M2高速钢上沉积TiAlN薄膜,利用SEM、XRD等方法研究氮氩流量比对薄膜组织结构、表面形貌和抗氧化性的影响。结果表明:TiAlN薄膜呈δ-TiN面心立方晶体结构... 目前,关于氮氩比对TiAlN薄膜高温抗氧化性能影响的研究较少。采用多弧离子镀技术在M2高速钢上沉积TiAlN薄膜,利用SEM、XRD等方法研究氮氩流量比对薄膜组织结构、表面形貌和抗氧化性的影响。结果表明:TiAlN薄膜呈δ-TiN面心立方晶体结构;随着氮氩流量比的提高,薄膜表面熔滴数量显著下降,膜层表面更加平整光滑,相结构的择优取向发生改变,硬度先增大后趋于稳定,表面氧化物含量逐渐下降;当氮氩流量比为9∶1时,所得TiAlN薄膜在800℃氧化温度下,其表面会生成一层致密的Al_2O_3保护膜,有效阻止了薄膜被进一步氧化,具有良好的抗氧化性能。 展开更多
关键词 多弧离子镀 TIALN薄膜 氮氩流量比 M2高速钢 组织结构 抗氧化性能
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低温磁控溅射与普通多弧离子镀TiN薄膜的摩擦学性能比较 被引量:13
5
作者 白秀琴 李健 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2006年第1期12-15,20,共5页
采用低温磁控溅射和普通多弧离子镀分别在冷作模具钢基体上制备了TiN薄膜,用纳米压痕法测量了薄膜的表面硬度,并比较了低温磁控溅射与普通多弧离子镀TiN薄膜的摩擦学性能。试验表明,低温磁控溅射TiN薄膜具有与普通多弧离子镀TiN薄膜相... 采用低温磁控溅射和普通多弧离子镀分别在冷作模具钢基体上制备了TiN薄膜,用纳米压痕法测量了薄膜的表面硬度,并比较了低温磁控溅射与普通多弧离子镀TiN薄膜的摩擦学性能。试验表明,低温磁控溅射TiN薄膜具有与普通多弧离子镀TiN薄膜相近的表面硬度,在多种试验条件下,低温磁控溅射TiN薄膜都有较好的摩擦学性能,摩擦副的磨损率低,摩擦因数小且变化平稳,磨损表面光滑。 展开更多
关键词 低温磁控溅射 多弧离子镀 TIN薄膜 摩擦学性能
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多弧离子镀装饰膜层的色泽研究 被引量:8
6
作者 侯俊英 胡尔建 +1 位作者 彭红瑞 赵程 《电镀与精饰》 CAS 2003年第5期9-12,共4页
运用多弧离子镀的方法,在1Cr13不锈钢及黄铜镀铬基体的表面上制备了氮化钛仿金装饰膜层。对氮化钛装饰膜层的色泽进行了研究,发现膜层具有装饰效果的黄金色彩,并讨论了镀膜工艺对膜层色泽的影响。
关键词 多弧离子镀 氮化钛 仿金装饰膜层 色泽 不锈钢 黄铜 镀铬基体
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多弧离子镀TiAlSiN梯度涂层制备及切削性能 被引量:15
7
作者 汪鹏 许昌庆 +3 位作者 蔡飞 斯松华 张世宏 梁加刚 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期34-43,共10页
针对含Si超硬涂层与基体结合强度不足,切削过程中涂层易发生剥落从而导致涂层刀具切削性能低的问题,采用离子源增强的多弧离子镀技术在硬质合金刀具上制备了不同含Si层梯度结构的TiAlSiN梯度涂层。利用XRD、SEM、OM以及切削试验探讨不同... 针对含Si超硬涂层与基体结合强度不足,切削过程中涂层易发生剥落从而导致涂层刀具切削性能低的问题,采用离子源增强的多弧离子镀技术在硬质合金刀具上制备了不同含Si层梯度结构的TiAlSiN梯度涂层。利用XRD、SEM、OM以及切削试验探讨不同含Si层梯度结构对涂层物相、表面形貌、膜基结合强度、摩擦磨损以及切削性能的影响。结果显示:不同含Si层梯度结构的TiAlSiN涂层主要由固溶的(Ti, Al)N和(Al, Ti)N相组成。其中,低Si直接过渡的TiAlSiN涂层(S3)呈现出较高的硬度、良好的膜基结合力、较低的涂层残余应力和摩擦因数。铣削结果显示,涂层刀具的切削磨损机理主要表现为粘着磨损。当切削速度为80 m/min时,低Si过渡涂层(S3涂层)表现出更高的切削长度(925 m),显著高于S1涂层的525 m;当切削速度由80 m/min增加至110 m/min时,S3涂层切削长度增加到1650 m。对含Si刀具涂层进行梯度设计,可有效提高涂层的膜-基结合强度和涂层刀具的切削性能。 展开更多
关键词 多弧离子镀 TiAlSiN涂层 梯度涂层 切削性能
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多弧离子镀合金涂层成分离析效应的物理机制研究 被引量:11
8
作者 张钧 《真空科学与技术》 CSCD 1996年第3期174-178,共5页
提出了一种关于多弧离子镀合金涂层成分离析效应的物理模型。利用该模型,从理论上较为圆满地解释了成分离析的影响因素及其作用机制。
关键词 多弧 离子镀 合金涂层 成分离析
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硬质合金表面多弧离子镀(Ti,Al,Zr,Cr)N多元氮化物膜 被引量:13
9
作者 赵时璐 张钧 刘常升 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2009年第9期15-20,共6页
采用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶,用多弧离子镀技术在WC-8%Co硬质合金基体上沉积(Ti,Al,Zr,Cr)N多元氮化物膜。分析了薄膜的成分、形貌、粗糙度和结构,研究了薄膜的显微硬度、膜/基结合力和抗高温氧化性能。结果表明,获得的多元氮化物膜仍是B1... 采用Ti-Al-Zr合金靶和Cr靶,用多弧离子镀技术在WC-8%Co硬质合金基体上沉积(Ti,Al,Zr,Cr)N多元氮化物膜。分析了薄膜的成分、形貌、粗糙度和结构,研究了薄膜的显微硬度、膜/基结合力和抗高温氧化性能。结果表明,获得的多元氮化物膜仍是B1-NaCl型TiN面心立方结构;适当控制偏压条件可以改善薄膜的表面形貌;在不同的偏压条件下,(Al+Zr+Cr)/(Ti+Al+Zr+Cr)的成分比为0.41~0.43,当其比值趋于0.4时,薄膜的显微硬度和膜/基结合力达到最大值3600HV0.01和200N;同时薄膜的抗高温氧化性能提高,最高温度可达700℃左右。 展开更多
关键词 多弧离子镀 TiN基硬质膜 显微硬度 结合力 抗高温氧化性
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多弧离子镀TiAlN涂层熔滴工艺参数的影响 被引量:13
10
作者 毛延发 宫永辉 +3 位作者 杨琳 韩培刚 兰新哲 周廉 《内蒙古民族大学学报(自然科学版)》 2007年第5期514-517,共4页
综合介绍了多弧离子镀TiAlN涂层熔滴颗粒产生的原因,探讨了N2分压和脉冲偏压对熔滴形成的影响.结果表明,TiAlN涂层中的熔滴颗粒密度和直径随N2分压和脉冲偏压峰值的提高而减小.
关键词 TIALN 熔滴 N2分压 脉冲偏压 多弧离子镀
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脉冲偏压对(Ti,Al)N/TiN/(Ti,Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响 被引量:11
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作者 毛延发 唐为国 +2 位作者 兰新哲 周廉 韩培刚 《稀有金属快报》 CSCD 2008年第6期12-16,共5页
采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影... 采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影响,实验中重点考察了脉冲偏压幅对Al含量的影响。同时测试了复合涂层的Vickers硬度与偏压幅值的关系。研究结果得出,随着脉冲偏压幅值的增加,涂层中Al含量先增加,然后减少,偏压幅值为-150V时,Al含量高达36.41at%;偏压幅与涂层显微硬度的关系有相似的规律,在偏压幅值为-150V时,7层复合膜的Vickers硬度达2750MPa左右,10层复合膜的硬度约2880MPa。 展开更多
关键词 多弧离子膜 (Ti Al)N/TiN/(Ti Al)N 多声能复合涂层 维氏硬度
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钛合金表面磁控溅射与多弧离子镀TiN膜的摩擦学性能比较 被引量:11
12
作者 奚运涛 刘道新 +2 位作者 李美英 张晓化 谭宏斌 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2007年第6期14-18,24,共6页
分别采用磁控溅射(MS)和多弧离子镀(MAIP)技术在TC4钛合金表面制备了TiN膜层,采用划痕仪、显微硬度计和多冲试验机评价了两种方法制备膜层的膜基结合强度及承受静态和动态载荷的能力。采用球–盘磨损试验机评价了膜层的摩擦学性能,利用... 分别采用磁控溅射(MS)和多弧离子镀(MAIP)技术在TC4钛合金表面制备了TiN膜层,采用划痕仪、显微硬度计和多冲试验机评价了两种方法制备膜层的膜基结合强度及承受静态和动态载荷的能力。采用球–盘磨损试验机评价了膜层的摩擦学性能,利用扫描电镜(SEM)分析了磨痕形态特征,利用轮廓仪测量了磨损体积。结果表明:磁控溅射和多弧离子镀TiN膜层均能显著提高钛合金表面的硬度和承载能力;磁控溅射TiN膜层致密、光滑,有良好的减摩作用,但由于膜层承载能力低和膜基结合强度较差,摩擦因数随磨损行程呈增大变化趋势;多弧离子镀TiN膜层结合强度高,膜层厚,承载能力强,韧性好,同时硬质TiN膜层表面分布的Ti颗粒起到了润滑作用,因而耐磨性能优于磁控溅射TiN膜层。 展开更多
关键词 磁控溅射 多弧离子镀 TIN膜 摩擦学性能 钛合金
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Al/Cr原子比对AlCrTiSiN多元复合刀具涂层微观结构及切削性能的影响 被引量:11
13
作者 董标 毛陶杰 +4 位作者 陈汪林 蔡飞 王启民 李明喜 张世宏 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期49-55,共7页
AlCrTiSiN多元复合涂层能显著改善刀具的表面特性,可大幅提高刀具的切削性能,延长刀具使用寿命。在高速钢样品和铣刀表面通过多弧离子镀制备AlCrTiSiN多元复合涂层,并研究了Al/Cr原子比对AlCrTiSiN多元复合涂层微观结构及切削性能的影... AlCrTiSiN多元复合涂层能显著改善刀具的表面特性,可大幅提高刀具的切削性能,延长刀具使用寿命。在高速钢样品和铣刀表面通过多弧离子镀制备AlCrTiSiN多元复合涂层,并研究了Al/Cr原子比对AlCrTiSiN多元复合涂层微观结构及切削性能的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、纳米压痕仪、划痕仪和球盘摩擦磨损试验对涂层的微观结构和力学性能进行研究,并通过切削试验对涂层刀具的寿命进行测试。研究结果表明:当Al/Cr比为0.4时,AlCrTiSiN涂层物相由fcc-AlCrN,fcc-Al Ti N,hcp-Al N和非晶态Si_3N_4相组成,涂层呈现(200)AlCrN择优取向;随Al/Cr比由0.4降低至0.2时,涂层物相由fcc-AlCrN,fcc-Al Ti N,hcp-Cr2N和非晶态Si_3N_4相组成,(200)AlCrN择优取向消失。随Al/Cr比由0.4降低至0.2时,AlCrTiSiN涂层硬度和结合力增加,摩擦因数和磨损率降低,与另两组相比,AlCrTiSiN-3涂层具有较好的抗摩擦磨损性能,其涂层刀具具有相对较高的切削寿命。 展开更多
关键词 多弧离子镀 AlCrTiSiN 刀具 涂层 微观结构 寿命
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氮气分压对AlCrTiSiN超晶格涂层微观结构及力学性能的影响 被引量:11
14
作者 牛宝林 陈汪林 +1 位作者 刘书媛 张世宏 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期45-52,共8页
超晶格涂层因具有优异的力学性能及抗氧化性能在刀具涂层工业中备受关注。采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备了AlCrTiSiN涂层,研究了氮气分压对AlCrTiSiN涂层微观结构及力学性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和... 超晶格涂层因具有优异的力学性能及抗氧化性能在刀具涂层工业中备受关注。采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备了AlCrTiSiN涂层,研究了氮气分压对AlCrTiSiN涂层微观结构及力学性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜研究了AlCrTiSiN涂层的微观结构;利用纳米压痕仪、划痕仪和磨损仪研究了AlCrTiSiN涂层的力学性能。结果表明:不同氮气分压的AlCrTiSiN涂层均由(Cr,Al)N相、(Ti,Al)N相和(Cr,Al)2N相以及非晶态的Si相和Si3N4相组成。与氮气分压为4Pa的涂层相比,氮气分压为2或3Pa的涂层具有更高的硬度、抗载荷能力和涂层-基体结合强度,以及更低的摩擦因数及磨损率。此外,45钢和铸铁切削试验表明:AlCrTiSiN涂层刀具较AlCrN涂层刀具有更好的切削性能,无涂层刀具具有最差的切削性能。 展开更多
关键词 多弧离子镀 超晶格涂层 AlCrTiSiN 微观组织 力学性能
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多弧离子镀(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜的制备及力学性能研究 被引量:10
15
作者 崔贯英 张钧 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期329-333,共5页
采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜。利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉积工艺对(Ti,Al,Zr)N膜层质量、膜/基附着力和硬度的影响;并对... 采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜。利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉积工艺对(Ti,Al,Zr)N膜层质量、膜/基附着力和硬度的影响;并对膜层抗热震性进行了研究。通过与TiN,(Ti,Al)N,(Ti,Zr)N等硬质膜进行比较,发现采用Ti-Al-Zr合金靶制备的(Ti,Al,Zr)N多元梯度膜有更高的硬度和膜/基附着力,硬度可达4000 HV,实现了从硬质膜到超硬膜的转变;膜/基附着力大于200 N,同时对沉积工艺有较强的适应性。 展开更多
关键词 (Ti Al Zr)N梯度膜 多弧离子镀 显微硬度 热震 合金靶
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AlCrN涂层的滑动摩擦学特性研究 被引量:10
16
作者 莫继良 朱旻昊 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2008年第3期12-16,共5页
采用CETRUMT–2型摩擦磨损试验机,对多弧离子镀制备的AlCrN涂层进行了往复滑动摩擦试验研究。以CrN涂层作为对比,采用台阶仪、扫描电子显微镜(SEM)、电子能谱(EDX)分析了涂层的磨痕,探讨了AlCrN涂层的磨损机理。结果表明:AlCrN涂层的摩... 采用CETRUMT–2型摩擦磨损试验机,对多弧离子镀制备的AlCrN涂层进行了往复滑动摩擦试验研究。以CrN涂层作为对比,采用台阶仪、扫描电子显微镜(SEM)、电子能谱(EDX)分析了涂层的磨痕,探讨了AlCrN涂层的磨损机理。结果表明:AlCrN涂层的摩擦因数平稳,磨损表面极其光滑,表面呈现抛光效应;AlCrN涂层拥有较高硬度和良好的排屑能力,因此在高载荷下具有比CrN涂层更好的抗磨损性能。 展开更多
关键词 AlCrN CRN 多弧离子镀 滑动摩擦磨损 磨损机制
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TiN/TiAlN涂层的断裂韧性研究 被引量:10
17
作者 郑立允 王玉果 +2 位作者 赵立新 张京军 熊惟皓 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A01期752-755,共4页
采用多弧离子镀技术在Ti(C,N)基和WC基金属陶瓷基体上沉积了TiN/TiAlN涂层,利用维氏硬度计对涂层进行压痕试验;通过测试压痕周围的裂纹长度和数目,用裂纹密度β来评价涂层的断裂韧性。结果表明,Ti(C,N)基金属陶瓷基体上TiN/TiAlN涂层的... 采用多弧离子镀技术在Ti(C,N)基和WC基金属陶瓷基体上沉积了TiN/TiAlN涂层,利用维氏硬度计对涂层进行压痕试验;通过测试压痕周围的裂纹长度和数目,用裂纹密度β来评价涂层的断裂韧性。结果表明,Ti(C,N)基金属陶瓷基体上TiN/TiAlN涂层的裂纹密度为4558,比WC基金属陶瓷基体上涂层的裂纹密度低。TiN/TiAlN涂层的压痕形貌中,涂层没有剥落,只有沿压痕应力角径向显微裂纹和压痕四周的侧向显微裂纹,不同基体其压痕裂纹特点也不同。Ti(C,N)基金属陶瓷基体上涂层的径向裂纹非常短,并有裂纹偏转现象,侧向裂纹很长。WC基金属陶瓷基体上涂层的径向裂纹很长,非常平直,侧向裂纹很短。 展开更多
关键词 金属陶瓷 多弧离子镀 TiN/TiAlN涂层 压痕试验 断裂韧性
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多弧离子镀沉积TiAlN/TiN多层膜的结构与性能 被引量:9
18
作者 黄美东 李云珂 +2 位作者 王萌萌 王宇 陈广宵 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2015年第1期26-29,共4页
为研究调制周期对薄膜结构和性能的影响,采用多弧离子镀技术在高速钢上制备TiAlN/TiN多层膜,通过改变调制周期制备了不同层数的TiAlN/TiN多层膜,使用扫描电子显微镜(SEM)、XP-2台阶仪、X线衍射仪(XRD)和维氏硬度计对薄膜的表面形貌、厚... 为研究调制周期对薄膜结构和性能的影响,采用多弧离子镀技术在高速钢上制备TiAlN/TiN多层膜,通过改变调制周期制备了不同层数的TiAlN/TiN多层膜,使用扫描电子显微镜(SEM)、XP-2台阶仪、X线衍射仪(XRD)和维氏硬度计对薄膜的表面形貌、厚度、物相结构和硬度进行测量,并对实验结果进行分析和讨论.结果表明:TiAlN/TiN多层薄膜中膜层的择优生长方向主要表现为Ti Al N相的(0010)取向;调制周期的改变对薄膜的沉积速率基本没有影响;随着调制周期的减小,样品的表面质量提高,显微硬度明显变大. 展开更多
关键词 多弧离子镀 TiAlN/TiN多层膜 薄膜结构 力学性能
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TiAlN/CrN多层膜的组织结构及耐蚀性机理 被引量:9
19
作者 王丽君 文广 +2 位作者 李明昆 王梦超 陈辉 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期268-274,共7页
目的研究TiAlN/CrN多层膜及TiAlN、CrN单一膜层的微观组织和电化学性能区别,分析不同结构薄膜材料的耐腐蚀性影响因素。基于电化学参数、组织结构和腐蚀形貌特征,为开发新型腐蚀性薄膜提供理论依据。方法采用多弧离子镀方法,在316不锈... 目的研究TiAlN/CrN多层膜及TiAlN、CrN单一膜层的微观组织和电化学性能区别,分析不同结构薄膜材料的耐腐蚀性影响因素。基于电化学参数、组织结构和腐蚀形貌特征,为开发新型腐蚀性薄膜提供理论依据。方法采用多弧离子镀方法,在316不锈钢基底上先沉积150 nm Cr薄膜作为过渡层,然后交替沉积CrN薄膜和TiAlN薄膜,制备单层厚度为10 nm的TiAlN/CrN多层膜。作为对比,制备单一TiAlN、CrN薄膜。通过SEM、XRD表征薄膜断面形貌、组织结构,并分析耐蚀机理,结合极化曲线和阻抗谱对三种涂层进行电化学性能分析,最后对涂层进行浸泡腐蚀试验。结果TiAlN/CrN纳米多层膜为面心立方结构,呈现共格外延生长,且呈(200)择优取向。纳米多层膜的动电位极化曲线测量结果与不锈钢基体和单层薄膜相比,其腐蚀电位正移为−0.36 V,腐蚀电流密度降低为0.501μA/cm^2,极化电阻为120 kΩ·cm^2。阻抗谱试验结果表明,相比较于单层膜和基体,TiAlN/CrN多层膜的CPE值最低,为29.83×10^−6Ω^−1·cm^−2·sn,n值为0.922,电阻为1.50×10^6Ω·cm^2。腐蚀形貌分析可得出,多层薄膜腐蚀后表面形貌与沉积态涂层形貌最为接近,认为其具有较高的耐腐蚀性。结论纳米层状结构改变了单一薄膜的原始生长模式,抑制了粗大柱状晶的生长,减小了薄膜的固有缺陷、晶粒尺寸,对薄膜的耐蚀性有正面积极的作用。 展开更多
关键词 TiAlN/CrN多层膜 TIALN涂层 CRN涂层 多弧离子镀 耐腐蚀性 电化学性能
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多弧离子镀与磁控溅射共沉积TiN/TiCN多层膜的高温抗氧化性能 被引量:9
20
作者 赵瑞山 任鑫 +3 位作者 王亮 宋晓龙 许细健 刘伟 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期11-15,50,共6页
TiN/TiCN多层膜的高温抗氧化性研究对于扩大其应用领域具有重要作用,但目前鲜见相关报道。采用多弧离子镀与磁控溅射技术以不同调制周期在304不锈钢表面共沉积TiN/TiCN多层膜。采用XRD、XPS、倒置显微镜及高温氧化试验研究了多层膜的高... TiN/TiCN多层膜的高温抗氧化性研究对于扩大其应用领域具有重要作用,但目前鲜见相关报道。采用多弧离子镀与磁控溅射技术以不同调制周期在304不锈钢表面共沉积TiN/TiCN多层膜。采用XRD、XPS、倒置显微镜及高温氧化试验研究了多层膜的高温抗氧化行为。结果表明:TiN/TiCN多层膜表面光滑平整、均匀致密,薄膜主要为具有Ti-(C,N)键的fcc-TiN结构;随着调制周期的减小,TiN/TiCN多层膜生长取向发生转变,且具有(111)晶面生长织构;随着氧化温度的升高,多层膜的显微硬度逐渐降低,氧化增重速率不断增大,且在700℃之后变化速率较快,薄膜的开始氧化温度约为750℃;随着调制周期的减小,多层膜TiN与TiCN界面层数量增多,促使晶粒细化,提高了其致密性,还隔断了缺陷贯穿薄膜的连续性,显著降低了薄膜的孔隙率,致使O原子扩散困难,增强了薄膜的高温抗氧化性能。 展开更多
关键词 多弧离子镀 磁控溅射 TiN/TiCN多层膜 304不锈钢 调制周期 高温抗氧化性能
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