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基体负偏压对膜层形貌与性能的影响 被引量：5
1
作者 冯光光 刘崇林 卢龙 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2013年第14期103-105,共3页
用多弧离子镀技术在40Cr基体上制备Ti0.33Al0.67N复合膜层;分析基体负偏压对膜层形貌、厚度、结合力及显微硬度等性能的影响。结果表明,基体负偏压参数设计范围内存在一个最佳值,可获得最优性能的膜层。
关键词 多弧离子镀 离子渗氮 制备工艺
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基于正交试验Ti_(0.33)Al_(0.67)N膜层制备工艺研究 被引量：2
2
作者 张会霞 刘崇林 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2013年第14期113-114,119,共3页
选用纯Ti靶与Ti0.33Al0.67合金靶制备Ti0.33Al0.67N膜层,在对基体材料进行离子渗氮之后,采用正交试验对多弧离子镀中的工艺参数进行优化,通过观察膜层结合力、表面形貌、显微硬度和膜层厚度选择最佳的工艺参数。
关键词 多弧离子镀 Ti0 33Al0 67N 正交试验
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关于(Ti,Cr)N膜摩擦学性能的研究 被引量：2
3
作者 钟利 沈丽如 +3 位作者 陈美艳 刘彤 但敏 金凡亚 《真空》 CAS 2020年第2期27-32,共6页
为了研究多弧离子镀技术中所用靶材与薄膜成分比例的关系,并对比不同成分比例的(Ti,Cr)N膜的摩擦学性能,设计制备了纯Ti靶、纯Cr靶及钛铬比分别为9:1、4:1和1:1的钛铬合金靶共5种靶材进行镀膜试验。利用扫描电子显微镜观察薄膜微观形貌... 为了研究多弧离子镀技术中所用靶材与薄膜成分比例的关系,并对比不同成分比例的(Ti,Cr)N膜的摩擦学性能,设计制备了纯Ti靶、纯Cr靶及钛铬比分别为9:1、4:1和1:1的钛铬合金靶共5种靶材进行镀膜试验。利用扫描电子显微镜观察薄膜微观形貌,利用X射线能谱分析仪对微区成分进行定性和半定量分析,利用X射线衍射分析薄膜结构,通过摩擦磨损试验测试薄膜的耐磨性,最终以磨痕宽度、磨痕深度和磨痕长度来计算磨损体积,以磨损体积表征不同膜的耐磨性能。测试结果表明,合金靶制备的薄膜中成分比例并不与靶材中的成分配比一致,但均具有TiCrN(200)择优取向。纯靶制备的薄膜表面最为细腻,TiCrN膜的粗糙度随Cr含量的提高而降低。TiCrN膜的硬度和耐磨性明显优于纯靶制备的薄膜,在靶材配比Ti:Cr=4:1时制备的Ti0.3Cr0.23N薄膜硬度最高(HV0.053274.9)、耐磨性能最好。以合金靶制备复合薄膜时,薄膜中的成分比例受单一金属离化率的影响较大,受靶材中金属配比的影响较小;在薄膜中添加硬质元素可以改善膜的质量、提高耐磨性能。 展开更多
关键词 多弧离子镀技术 合金靶材 TiCrN复合薄膜 耐磨性能
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Ti60合金和表面Ni-Co-Cr-Al-Y-Si涂层氧化动力学的研究 被引量：1
4
作者 李剑锋 廖云建 +2 位作者 李晓虹 王兆松 李国卿 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期520-523,共4页
研究了Ti60合金及表面阴极多弧离子镀沉积涂层（Ni—Co-Cr-Al-Y-Si）的600～750℃的高温氧化行为。采用x射线衍射、扫描电子显微镜等方法，对Ti60合金及涂层表面形貌、结构和成分进行分析研究。结果表明涂层对Ti60合金在600，650和750... 研究了Ti60合金及表面阴极多弧离子镀沉积涂层（Ni—Co-Cr-Al-Y-Si）的600～750℃的高温氧化行为。采用x射线衍射、扫描电子显微镜等方法，对Ti60合金及涂层表面形貌、结构和成分进行分析研究。结果表明涂层对Ti60合金在600，650和750℃均有较好的抗氧化性能。循环氧化动力学曲线基本上符合抛物线规律。涂层显著提高了Ti60合金抗氧化性能。 展开更多
关键词 Ti60合金多弧离子镀Ni.Co.Cr-A1.Y.Si涂层抗氧化
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离子渗氮与多弧离子镀复合涂层制备工艺的优化
5
作者 卢龙 冯光光 张会霞 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2012年第24期150-152,共3页
采用离子渗氮与多弧离子镀工艺相结合的复合处理方法,对齿轮材料复合处理的工艺进行研究与优化。实验证明,采用离子渗氮与多弧离子镀复合工艺,可以使过渡层与陶瓷涂层之间具有高的结合力,为Ti1-xAlxN陶瓷膜层在工业中更广泛的应用提供... 采用离子渗氮与多弧离子镀工艺相结合的复合处理方法,对齿轮材料复合处理的工艺进行研究与优化。实验证明,采用离子渗氮与多弧离子镀复合工艺,可以使过渡层与陶瓷涂层之间具有高的结合力,为Ti1-xAlxN陶瓷膜层在工业中更广泛的应用提供了可能。 展开更多
关键词 离子渗氮 多弧离子镀 制备工艺
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ZrN涂层的制备及其摩擦磨损性能
6
作者 黄珊 胡建民 《哈尔滨师范大学自然科学学报》 CAS 2022年第2期54-57,共4页
采用多弧离子镀技术在316 L不锈钢表面沉积制备ZrN涂层,分析涂层的表面形貌和物相组成,测试涂层的硬度、弹性模量以及涂层在大气环境与人工汗液环境下的摩擦学性能.结果表明,通入800 sccm氮气制备的ZrN涂层呈金黄色,涂层沿(200)择优取向... 采用多弧离子镀技术在316 L不锈钢表面沉积制备ZrN涂层,分析涂层的表面形貌和物相组成,测试涂层的硬度、弹性模量以及涂层在大气环境与人工汗液环境下的摩擦学性能.结果表明,通入800 sccm氮气制备的ZrN涂层呈金黄色,涂层沿(200)择优取向,硬度达到15.38 Gpa,表面粗糙度小至1.54 nm.在摩擦磨损试验中,涂层在干摩擦条件与人工汗液条件下磨痕的宽度分别为171.11μm和117.67μm,从750~3600 s内的平均摩擦系数分别为0.544和0.272,ZrN涂层在人工汗液环境中的耐磨性更好. 展开更多
关键词 多弧离子镀 ZRN涂层 摩擦磨损性能
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多弧离子镀(Ti,Cr)N膜层工艺及性能 被引量：17
7
作者 刘清平 曲敬信 潘国顺 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期20-22,40,共4页
用多弧离子镀膜机 ,以W 6Mo5Cr4V2高速钢为基体材料 ,镀覆 (Ti,Cr)N多元膜 ,研究了多弧离子镀工艺对膜层性能的影响 ,确定了最佳镀膜工艺参数 ,探讨了多元膜层的强化机理。结果表明 :膜层硬度及膜基结合力随偏压的增大而增大 ,膜层硬度... 用多弧离子镀膜机 ,以W 6Mo5Cr4V2高速钢为基体材料 ,镀覆 (Ti,Cr)N多元膜 ,研究了多弧离子镀工艺对膜层性能的影响 ,确定了最佳镀膜工艺参数 ,探讨了多元膜层的强化机理。结果表明 :膜层硬度及膜基结合力随偏压的增大而增大 ,膜层硬度随氮分压的升高而增大 ,孔隙率随氮分压的升高而增大。 (Ti,Cr)N多元膜层强化机理主要是 :晶粒细化、固溶强化、多元素优化。 展开更多
关键词 多弧离子镀 多元膜层 工艺 性能 表面强化 氮化钛 氧化铬
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多弧离子镀Cr涂层对γ-TiAl合金高温氧化性能的影响 被引量：9
8
作者 魏祥飞 张平则 +5 位作者 魏东博 周鹏 张扬 陈小虎 王琼 王若男 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期707-711,共5页
采用多弧离子镀技术在γ-TiAl合金表面制备Cr涂层,用SEM/EDS和XRD等手段研究了该涂层对γ-TiAl合金在高温下氧化性能的影响。结果表明,涂层在高温下可形成保护性氧化膜,氧化膜主要分为内外两层,其中外层氧化膜在650℃下主要为Cr2O3,在75... 采用多弧离子镀技术在γ-TiAl合金表面制备Cr涂层,用SEM/EDS和XRD等手段研究了该涂层对γ-TiAl合金在高温下氧化性能的影响。结果表明,涂层在高温下可形成保护性氧化膜,氧化膜主要分为内外两层,其中外层氧化膜在650℃下主要为Cr2O3,在750℃下为TiO2,在950℃为Al2O3,内层氧化膜均为Ti-Al-Cr的混合氧化膜,Ti-Al-Cr的互扩散层可有效阻止氧向基体扩散,显著提高了γ-TiAl的抗高温氧化能力。 展开更多
关键词 Γ-TIAL合金 多弧离子镀技术 Cr镀层 高温氧化中图法
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TiAl合金表面NiCrAlY涂层的抗高温氧化性能 被引量：3
9
作者 周鹏 张平则 +2 位作者 魏东博 魏祥飞 张扬 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期63-67,71,共6页
采用多弧离子镀技术在γ-TiAl合金表面制备了NiCrAlY涂层，用SEM、EDS和XRD等分析了涂层在高温氧化前后的形貌、结构和物相组成，用恒温氧化方法测试了涂层与基体的氧化动力学曲线。结果表明：涂层在高温下可形成保护性氧化膜，使其抗... 采用多弧离子镀技术在γ-TiAl合金表面制备了NiCrAlY涂层，用SEM、EDS和XRD等分析了涂层在高温氧化前后的形貌、结构和物相组成，用恒温氧化方法测试了涂层与基体的氧化动力学曲线。结果表明：涂层在高温下可形成保护性氧化膜，使其抗氧化性能显著提升；在650～950℃氧化时，镍和钛元素发生互扩散，850℃时，涂层与基体之间形成了扩散带和齿状TiNi相，950℃时，互扩散现象加剧，涂层表面生成了TiO2，涂层氯化膜与基体间形成了Kirkendall孔洞，对其抗高温氧化性能不利。 展开更多
关键词 Γ-TIAL合金 多弧离子镀技术 NICRALY涂层 高温氧化
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