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基于各向异性热扩散方程的多聚焦图像融合算法 被引量:21
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作者 涂超平 肖进胜 +1 位作者 杜康华 易本顺 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1192-1199,共8页
本文根据多聚焦图像的光学成像原理,利用各向异性热扩散方程来估计图像深度信息,并讨论一种基于深度信息提取的多聚焦图像的融合算法.算法首先对两幅多聚焦图像进行光学成像过程的模拟,分别建立正向区域的热扩散方程,通过对热扩散方程... 本文根据多聚焦图像的光学成像原理,利用各向异性热扩散方程来估计图像深度信息,并讨论一种基于深度信息提取的多聚焦图像的融合算法.算法首先对两幅多聚焦图像进行光学成像过程的模拟,分别建立正向区域的热扩散方程,通过对热扩散方程的迭代求解估计出图像场景的深度信息.然后对深度信息进行自适应的区域划分,分别得到每幅图像的清晰区域,模糊区域和中间过渡区域.最后通过提取清晰区域的像素点,融合过渡区域的像素点实现多聚焦图像的融合.理论推导和实验验证表明,本方法能够克服常用算法中出现的块效应和人工痕迹,是一种有效的图像融合算法. 展开更多
关键词 多聚焦 深度提取 热扩散 图像融合 分层模型
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一种自适应的多聚焦图像融合方法 被引量:13
2
作者 狄红卫 韩耀东 陈木生 《中国图象图形学报》 CSCD 北大核心 2006年第3期353-356,共4页
为了对不同的多聚焦图像进行有效融合,提出了一种小波域中基于区域特征的自适应多聚焦图像融合方法。该方法首先对参加融合的两幅图像进行小波分解,然后针对低频部分,在保留源图像共同特征的基础上,将待融合的两图像各自所具有的特征添... 为了对不同的多聚焦图像进行有效融合,提出了一种小波域中基于区域特征的自适应多聚焦图像融合方法。该方法首先对参加融合的两幅图像进行小波分解,然后针对低频部分,在保留源图像共同特征的基础上,将待融合的两图像各自所具有的特征添加到融合图像中,而对于高频部分,则根据区域的小波能量进行融合;最后通过小波逆变换来重构融合图像。该方法不仅能够完全自适应地对多聚焦图像进行有效的融合,而且对于各种不同的源图像具有通用性。实验表明,该算法能够得到良好的融合效果,是一种有效的多聚焦图像融合方法。 展开更多
关键词 图像融合 自适应 小波变换 多聚焦
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基于分层模型与局部复原的多聚焦图像融合方法 被引量:11
3
作者 魏利胜 张平改 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期161-169,共9页
针对多聚焦图像融合后清晰像素信息损失较为严重的问题,提出一种分层模型与局部复原相结合的方法。首先,根据源图像模糊区域分布情况,对不同灰度特征源图像进行多尺度分解选取恰当的分层模型,并利用此模型对图像进行初步融合;在此基础上... 针对多聚焦图像融合后清晰像素信息损失较为严重的问题,提出一种分层模型与局部复原相结合的方法。首先,根据源图像模糊区域分布情况,对不同灰度特征源图像进行多尺度分解选取恰当的分层模型,并利用此模型对图像进行初步融合;在此基础上,通过计算对应区域的功率谱曲线斜率以推导图像中局部模糊区域像素值,提高图像融合算法的细节提取能力,再结合维纳滤波策略对其进行恢复,以实现图像清晰融合。最后,利用3个实例验证了该方法的有效性与可行性。 展开更多
关键词 分层模型 局部复原 多聚焦 图像融合
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非球面散光矫正型多焦点人工晶状体植入术对白内障患者视力和对比敏感度的影响 被引量:11
4
作者 张玲玲 贾义军 郑广瑛 《国际眼科杂志》 CAS 2016年第7期1302-1305,共4页
目的:观察非球面散光矫正型多焦点人工晶状体植入术对白内障患者视力和对比敏感度的影响。方法:将我院2014-05/2015-05期间行超声乳化人工晶状体植入术的合并有角膜规则散光的白内障患者58例72眼,随机分为两组:观察组植入散光矫正型多... 目的:观察非球面散光矫正型多焦点人工晶状体植入术对白内障患者视力和对比敏感度的影响。方法:将我院2014-05/2015-05期间行超声乳化人工晶状体植入术的合并有角膜规则散光的白内障患者58例72眼,随机分为两组:观察组植入散光矫正型多焦点人工晶状体29例36眼;对照组植入散光型单焦点人工晶状体29例36眼。术后随访1、6mo,观察术后患者的裸眼远视力(UCDVA)、裸眼近视力(UCNVA)、最佳矫正远视力(BCDVA)、最佳矫正近视力(BCNVA)、残余散光、暗光下对比敏感度。结果:两组术后1、6mo UCDVA、BCNVA、BCDVA以及残余散光的比较差异无统计学意义(P>0.05);观察组术后1、6mo的UCNVA优于对照组(P<0.05);术后6mo两组对比敏感度在高空间频率比较上差异有统计学意义(P<0.05)。结论:非球面散光矫正型多焦点人工晶状体植入术治疗合并有角膜规则散光的白内障患者疗效确切,与散光型单焦点人工晶状体植入术比较均可改善患眼视力,且采用非球面散光矫正型多焦点人工晶状体植入术治疗后可获得更好的裸眼近视力和对比敏感度。 展开更多
关键词 散光 人工晶状体植入术 白内障 视力 多焦点 对比敏感度
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一种新的像素级多聚焦图像融合算法 被引量:10
5
作者 吴艳 刘重阳 廖桂生 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第12期2800-2804,共5页
该文在小波变换的基础上提出了一种将一维自组织特征映射(SOFM)网络和进化策略相结合的多聚焦图像融合算法。该方法对不同聚焦点的图像进行冗余小波分解,再分别将其各方向、各尺度的高频信息进行叠加,并在高频信息叠加层上提取反映图像... 该文在小波变换的基础上提出了一种将一维自组织特征映射(SOFM)网络和进化策略相结合的多聚焦图像融合算法。该方法对不同聚焦点的图像进行冗余小波分解,再分别将其各方向、各尺度的高频信息进行叠加,并在高频信息叠加层上提取反映图像清晰度差异的归一化特征图,依据此特征图,使用SOFM网络对原始图像像素进行分类,并利用进化策略对各类像素求出最优的融合系数。实验结果表明该算法比拉普拉斯变换法和小波变换法具有更好的融合效果。 展开更多
关键词 图像融合 小波分解 多聚焦 自组织特征映射网络 进化策略
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一种复合型PCNN的NSCT域多聚焦图像融合方法 被引量:10
6
作者 张宝华 吕晓琪 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2014年第2期393-396,共4页
针对基于多尺度变换的融合算法会产生伪吉布斯效应,处理偏暗或偏亮的图像效果不理想,提出一种基于NSCT(非下采样Contourlet变换)和复合型PCNN(脉冲耦合神经网络)的多聚焦图像融合方法,通过分别将两幅图像经NSCT变换后得到若干不同频带... 针对基于多尺度变换的融合算法会产生伪吉布斯效应,处理偏暗或偏亮的图像效果不理想,提出一种基于NSCT(非下采样Contourlet变换)和复合型PCNN(脉冲耦合神经网络)的多聚焦图像融合方法,通过分别将两幅图像经NSCT变换后得到若干不同频带子图像,采用基于复合型PCNN的融合规则确定融合系数,最后对融合系数进行NSCT逆变换得到融合图像.通过本文方法获取的融合图像的灰度级分布更加分散,图像纹理较丰富,细节突出,具有较好的融合效果.实验结果证明,该算法克服传统多聚焦图像融合方法的缺陷,实验数据显示本方法优于Laplace、DWT和PCNN等传统图像融合方法. 展开更多
关键词 复合型PCNN NSCT 多聚焦 稀疏矩阵 图像融合
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基于多聚焦图像深度信息提取的背景虚化显示 被引量:10
7
作者 肖进胜 杜康华 +1 位作者 涂超平 岳显昌 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第2期304-311,共8页
针对普通相机无法拍摄出符合视觉美感的背景虚化图像问题,提出一种基于多聚焦图像深度信息提取的背景虚化算法.首先,根据图像的光学成像原理,对多聚焦图像进行热扩散方程的数学建模,对图像中的每个点自适应的初始化一个深度值;其次,根... 针对普通相机无法拍摄出符合视觉美感的背景虚化图像问题,提出一种基于多聚焦图像深度信息提取的背景虚化算法.首先,根据图像的光学成像原理,对多聚焦图像进行热扩散方程的数学建模,对图像中的每个点自适应的初始化一个深度值;其次,根据图像每个点的热扩散系数对初始图像进行前向扩散,用数值方法来解此偏微分方程,通过正则化得到修正后的图像深度信息;最后,对图像深度信息进行分层,利用多尺度高斯滤波对不同深度层的图像进行虚化处理.本算法能够有效地提取出图像的深度信息,并且获得的背景虚化效果也能够较好地符合光学原理. 展开更多
关键词 多聚焦 深度提取 热扩散 背景虚化
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一种多聚焦图像融合方法 被引量:5
8
作者 王蓉 高立群 +1 位作者 柴玉华 杨姝 《控制与决策》 EI CSCD 北大核心 2005年第11期1256-1260,共5页
提出一种基于小波变换的多聚焦图像融合方法.该方法首先通过小波变换得到源图像的小波系数,然后对低频和高频分量采用不同的融合规则和融合算子构造融合图像的小波系数,最后基于一致性检测由高低频融合系数得到最终的融合结果.用两组源... 提出一种基于小波变换的多聚焦图像融合方法.该方法首先通过小波变换得到源图像的小波系数,然后对低频和高频分量采用不同的融合规则和融合算子构造融合图像的小波系数,最后基于一致性检测由高低频融合系数得到最终的融合结果.用两组源图像数据验证所提出的融合算法,并与其他融合算法进行比较,仿真结果表明该算法在多聚焦图像融合中优于其他方法. 展开更多
关键词 图像融合 小波变换 多聚焦 图像处理
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基于SWT区域对比度像素提取的多聚焦图像融合 被引量:8
9
作者 陈焕平 何明一 李旭 《中国图象图形学报》 CSCD 北大核心 2011年第5期865-870,共6页
在多聚焦图像融合算法中,针对多分辨率系数融合法无法提取源图像清晰像素点和分块法存在的块效应的现象,从多聚焦图像清晰像素点和人眼视觉对比度的特征出发,利用平稳小波变换(SWT)的非下采样性和平移不变性,定义基于SWT的图像像素点区... 在多聚焦图像融合算法中,针对多分辨率系数融合法无法提取源图像清晰像素点和分块法存在的块效应的现象,从多聚焦图像清晰像素点和人眼视觉对比度的特征出发,利用平稳小波变换(SWT)的非下采样性和平移不变性,定义基于SWT的图像像素点区域对比度作为提取像素点的依据,在研究区域对比度邻域大小对像素点提取影响的基础上,设定适合的阈值建立提取模板,对多聚焦源图像中清楚区域的像素点进行提取,并对小部分未能提取的像素位置采用基于局部能量策略进行融合。仿真实验结果表明,新算法既有效地提取源图像的清晰像素点,又改善了块效应现象,融合效果有了很大提升。 展开更多
关键词 多聚焦 图像融合 平稳小波变换 区域对比度 像素提取
原文传递
小波分析在多聚焦图像融合中的应用 被引量:7
10
作者 王珂 欧阳宁 《电光与控制》 北大核心 2008年第3期64-67,共4页
多聚焦图像融合是图像融合领域的一个重要分支,小波分析方法使得多聚焦图像融合研究取得了重大发展。首先说明了多聚焦图像融合的概念和一般融合方法,然后介绍了图像的小波分解原理,采用小波分析进行图像融合的步骤以及不同的融合规则... 多聚焦图像融合是图像融合领域的一个重要分支,小波分析方法使得多聚焦图像融合研究取得了重大发展。首先说明了多聚焦图像融合的概念和一般融合方法,然后介绍了图像的小波分解原理,采用小波分析进行图像融合的步骤以及不同的融合规则。最后介绍了融合效果的评价标准,并通过仿真实验进行了定量的分析和比较,得出了结论。 展开更多
关键词 小波分析 图像融合 多聚焦 融合规则
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一种新的多聚焦彩色图像融合方法 被引量:8
11
作者 付朝霞 韩焱 刘晓利 《中国体视学与图像分析》 2006年第3期222-225,229,共5页
彩色空间变换法是图像融合的经典算法之一,本文提出了一种彩色空间变换与小波变换结合的多聚焦图像融合算法,发挥了两种变换算法的优点。算法首先把源图像变换到YIQ空间,对所有图像的各个颜色分量进行小波分解;对小波分解后的高低频分... 彩色空间变换法是图像融合的经典算法之一,本文提出了一种彩色空间变换与小波变换结合的多聚焦图像融合算法,发挥了两种变换算法的优点。算法首先把源图像变换到YIQ空间,对所有图像的各个颜色分量进行小波分解;对小波分解后的高低频分量采取不同的融合规则,构造小波系数;然后以亮度Y分量作为衡量标准,通过一致性检测得到融合系数;最后进行小波逆变换,再进行YIQ反变换得到融合后的图像。对比实验结果表明,此方法的最佳小波分解层数为2层。最佳小波分解层数越少,图像融合的计算量越小。该方法在减少计算量的同时,也提高了融合质量。融合图像平滑自然,具有很好的视觉效果。 展开更多
关键词 图像融合 多聚焦 YIQ变换 小波变换
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基于区域小波变换的序列显微图像融合 被引量:4
12
作者 姜志国 韩冬兵 +1 位作者 薛斌党 周孝宽 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期399-403,共5页
利用图像处理技术实现序列显微图像的融合显示是解决显微成像焦深有限的有效方法.针对空域融合算法在处理离焦步长较大和透明显微图像时存在的块效应和重影现象,基于图像像素间高度的相关性和小波变换多分辨率分析的特点,提出了一种基... 利用图像处理技术实现序列显微图像的融合显示是解决显微成像焦深有限的有效方法.针对空域融合算法在处理离焦步长较大和透明显微图像时存在的块效应和重影现象,基于图像像素间高度的相关性和小波变换多分辨率分析的特点,提出了一种基于区域小波变换的序列显微图像融合算法:在小波变换域内进行序列显微图像融合时,不同频段选择不同的融合算子;在确定融合的小波系数时,不仅考虑到相应位置的小波系数,还考虑了与它相邻的小波系数,使得融合后图像克服了空域算法存在的块效应和重影现象.同时,研究了不同的小波滤波器对图像融合质量的影响.实验证明,该方法具有很好的融合效果. 展开更多
关键词 图像融合 小波变换 显微图像 多层聚焦
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大焦深人工晶体的设计 被引量:7
13
作者 饶丰 《中国光学》 EI CAS 2012年第5期485-492,共8页
运用Zemax光学设计软件构建Liou-Brennan眼模型,设计了增大焦深的非球面、折射型多焦点和衍射型多焦点人工晶体,并用点列图和视锐度分析了所设计的人工晶体的光学质量。对于非球面人工晶体,在3 mm瞳孔下,当人眼无球差时,最佳视锐度相当... 运用Zemax光学设计软件构建Liou-Brennan眼模型,设计了增大焦深的非球面、折射型多焦点和衍射型多焦点人工晶体,并用点列图和视锐度分析了所设计的人工晶体的光学质量。对于非球面人工晶体,在3 mm瞳孔下,当人眼无球差时,最佳视锐度相当高,但焦深仅为1.4 m-1;当人眼球差为0.4λ时,最佳视锐度可达0.9,焦深达2.2 m-1,同时在整个焦深范围内视觉质量均优越。对于衍射型和折射型多焦点人工晶体,在明视条件下,虽然视远和视近时视觉质量良好,但是中间距离的视锐度<0.5。衍射型多焦点人工晶体只有81%的光能用于成像,远近焦点能量均分,且与瞳孔大小无关;折射型多焦点人工晶体的远近焦点能量与瞳孔大小相关。设计的人工晶体均能增大人眼的焦深,但各有优缺点,临床上应该酌情选用。 展开更多
关键词 眼视光学 人工晶体 焦深 多焦点 眼模型
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基于模糊算法的多聚焦图像融合效果评价研究 被引量:5
14
作者 胡春海 丁志秀 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期885-888,共4页
针对多聚焦图像的融合效果评价问题,提出了一种基于模糊理论的图像融合效果评价方法.该方法采用融合图像熵值、交互信息量值、平均梯度值、偏差值构成单因素评价指标集,引入基于专家评判法的人的知识确定隶属度函数,用对比排序法综合各... 针对多聚焦图像的融合效果评价问题,提出了一种基于模糊理论的图像融合效果评价方法.该方法采用融合图像熵值、交互信息量值、平均梯度值、偏差值构成单因素评价指标集,引入基于专家评判法的人的知识确定隶属度函数,用对比排序法综合各个单因素指标得到综合评价指标,其计算简单,评价结果更为全面客观.将该方法应用于多聚焦图像的融合试验,评价结果与理论分析和人的目视效果一致,从而证明了该评价方法的有效性. 展开更多
关键词 图像融合 多聚焦 模糊算法 评价指标
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四焦距聚焦型光场计算成像系统的设计 被引量:6
15
作者 王佳华 杜少军 +3 位作者 张烜喆 李俊 王彦 刘青松 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第2期171-177,共7页
光场相机是一种在图像传感器前增加微透镜阵列的新型相机结构,除了记录不同位置下光的强度及颜色外,也记录不同位置下光线的方向信息,从而能够计算目标场景的深度图和高阶相位图。该技术由于景深和分辨率相互制约,获得大景深时分辨率会... 光场相机是一种在图像传感器前增加微透镜阵列的新型相机结构,除了记录不同位置下光的强度及颜色外,也记录不同位置下光线的方向信息,从而能够计算目标场景的深度图和高阶相位图。该技术由于景深和分辨率相互制约,获得大景深时分辨率会降低。分析了其结构特点并推导了景深和分辨率的关系,并就选定的设计参数绘制了变化曲线。在此基础上,提出了一种新型光场相机的设计方法,该结构基于具有四类焦距的微透镜阵列,可获得超大景深,同时将分辨率的下降程度控制在可接受范围。仿真结果表明:相对于三类焦距微透镜阵列,所设计的四类焦距微透镜阵列景深可提高三倍,而分辨率达到普通相机的18.9%。 展开更多
关键词 光场相机 景深 有效分辨率比率 多焦距 微透镜阵列
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一种图像融合的新方法 被引量:6
16
作者 王学伟 王世立 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1055-1057,共3页
在众多图像融合算法中,不存在完美的算法,每一种算法都具有优点和不足。本文针对这一问题提出一种新的图像融合方法,即图像二次融合,通过对两种算法的融合结果再进行一次简单的像素选择得到最终融合图像。图像二次融合可以综合算法的优... 在众多图像融合算法中,不存在完美的算法,每一种算法都具有优点和不足。本文针对这一问题提出一种新的图像融合方法,即图像二次融合,通过对两种算法的融合结果再进行一次简单的像素选择得到最终融合图像。图像二次融合可以综合算法的优点,弥补之间的不足,获得更好的融合效果。实验表明,该方法获得的融合结果优于单一算法。 展开更多
关键词 图像融合 图像二次融合 多聚焦 梯度
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基于小波变换的多聚焦彩色图像融合新方法 被引量:5
17
作者 陈木生 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2008年第32期189-190,202,共3页
给出了一种基于小波变换的多聚焦彩色图像融合方法。首先对待融合图像的R、G、B三分量进行小波变换,将其分成不同频率的子图像。然后对于低频和高频子图像采用不同的算法进行融合,得到融合图像的小波系数。最后利用小波逆变换重构融合... 给出了一种基于小波变换的多聚焦彩色图像融合方法。首先对待融合图像的R、G、B三分量进行小波变换,将其分成不同频率的子图像。然后对于低频和高频子图像采用不同的算法进行融合,得到融合图像的小波系数。最后利用小波逆变换重构融合图像。实验结果表明,融合图像具有较小的颜色失真和较高的峰值信噪比。 展开更多
关键词 图像融合 小波变换 多聚焦 彩色图像
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一种改进的低照度图像增强算法研究 被引量:6
18
作者 谢有庆 陈泽辉 +3 位作者 黎建健 周瑞鹏 黄浩衡 何涛 《电子设计工程》 2021年第2期168-173,178,共7页
为了提高低照度图像的可视性和清晰度,提出一种基于梯度策略的DCT域低照度图像增强算法。该算法将图像分为入射分量和反射分量,建立灰度线性增强模型,对入射分量进行灰度线性增强;分别将入射分量和反射分量分别分块同时变换到离散余弦... 为了提高低照度图像的可视性和清晰度,提出一种基于梯度策略的DCT域低照度图像增强算法。该算法将图像分为入射分量和反射分量,建立灰度线性增强模型,对入射分量进行灰度线性增强;分别将入射分量和反射分量分别分块同时变换到离散余弦变换域(Discrete Co-sine Trans-form,DCT)中,进行DCT多聚焦融合,这里采用的是局部梯度融合准则,而不是目前常用的基于方差的融合策略,并采用一致性判别对融合的图像进行校验。最后将融合结果进行逆DCT变换得到最终增强的图像。实验结果表明,该算法对于低照度图像阴暗区域的细节可视性有明显的提升效果。 展开更多
关键词 梯度 线性增强 DCT域 多聚焦融合 可视性
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基于扩展相位拉伸变换的多聚焦图像融合算法 被引量:6
19
作者 张亚峰 耿则勋 王军敏 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第22期103-112,共10页
针对目前传统多聚焦图像融合中图像局部模糊不易度量,融合策略难以设计等问题,提出一种新的相位拉伸核函数,形成基于扩展相位拉伸变换的多聚焦图像融合算法。该算法将传统的线性或次线性群延迟相位滤波器推广到非线性群延迟相位滤波器,... 针对目前传统多聚焦图像融合中图像局部模糊不易度量,融合策略难以设计等问题,提出一种新的相位拉伸核函数,形成基于扩展相位拉伸变换的多聚焦图像融合算法。该算法将传统的线性或次线性群延迟相位滤波器推广到非线性群延迟相位滤波器,并从理论上证明,这种扩展相位拉伸变换的逆变换相位近似于原始图像的归一化二阶梯度,将图像高频特征传统的梯度极值表达转换为角度或相位表达,利用角度/相位图像局部方差对清晰与模糊图像良好的区别特性设计出基于扩展相位拉伸变换局部相位方差度量的融合策略,克服了目前融合方法存在的不足。利用MATLAB软件平台对Lytro数据集中的相当数量多聚焦图像数据进行融合实验,与传统基于离散小波变换、拉普拉斯、超分辨率、引导滤波和联合卷积自编码网络算法等融合算法结果进行对照分析。结果表明,本文算法的融合图像明显优于传统最好的融合算法,融合图像的互信息、信息熵、空间频率、平均梯度及结构相似性等指标比现有的其他方法提高5%以上,证明了所提算法的优越性与实用性。 展开更多
关键词 图像处理 图像融合 相位拉伸变换 色调、饱和度、亮度变换 多聚焦
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Fast Beam Deflection and Beam Quality- Keys to Economic High Quality Electron Beam Applications 被引量:3
20
作者 Uwe Clauβ James Bull 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第S4期90-94,共5页
Since its first introduction to the industry the control systems of electron beam machines have gone through an enormous evolution.With the availability of fast amplifier components and digital beam controllers the ad... Since its first introduction to the industry the control systems of electron beam machines have gone through an enormous evolution.With the availability of fast amplifier components and digital beam controllers the advantages of the electron beam have further increased making it a truly software controlled thermal processing tool.Modern beam controllers enable multi-beam and multi-focus technologies,where the beam is split in up to 60 individual beams.These technologies can reduce the processing time by parallel processing or improve the quality by optimized thermal expansion of the part.Multi-process technologies,where several processes are performed in one run (e.g.welding and cosmetic treatment) further extend the application range of the electron beam process.Fast beam deflection in conjunction with electron-optical monitoring is the fundamental component for advanced seam tracking systems.They allow automating the EB application in order to optimize the process costs and improve the quality of the re-sults in a reproducible manner.Basis for a high quality of the EB process is the condition of the tool,the electron beam itself.By in-troducing the beam parameter product to the electron beam,reliable information about the quality of the beam can be derived.Im-plemented into automatic beam alignment systems repeatable results with high quality are achieved. 展开更多
关键词 electron BEAM control system FAST BEAM deflection multi-BEAM TECHNOLOGY multi-focus TECHNOLOGY electron-optical monitoring SEAM tracking systems BEAM parameter product BEAM quality automatic BEAM alignment
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