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光测方法在岩石力学实验观测中的应用述评 被引量:22
1
作者 马少鹏 赵永红 +2 位作者 金观昌 潘一山 王来贵 《岩石力学与工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1794-1799,共6页
综述了常用光测方法在岩石力学实验观测中的应用,总结了这些光测方法相对于岩石力学中常用的其他方法的特点。最后在分析岩石力学实验观测新趋势的基础上,指出发展一种以数字散斑相关方法(DSCM)为基础的岩石力学观测系统,将可以满足岩... 综述了常用光测方法在岩石力学实验观测中的应用,总结了这些光测方法相对于岩石力学中常用的其他方法的特点。最后在分析岩石力学实验观测新趋势的基础上,指出发展一种以数字散斑相关方法(DSCM)为基础的岩石力学观测系统,将可以满足岩石力学观测中的新的需要。 展开更多
关键词 岩石力学 实验 光测方法 变形场 数字散斑相关方法
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四读头法消除码盘偏心和振动对叠栅条纹相位测量的影响 被引量:21
2
作者 朱帆 吴易明 刘长春 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期138-144,共7页
光栅编码器装调的偏心误差和使用中安装转轴的振动严重影响光栅编码器的测量精度,限制了光栅码盘的应用范围。为了消除光栅编码器偏心与振动对测量的影响,在双读头法的基础上,提出了四读头法消除光栅编码器偏心和振动影响的方法,并进行... 光栅编码器装调的偏心误差和使用中安装转轴的振动严重影响光栅编码器的测量精度,限制了光栅码盘的应用范围。为了消除光栅编码器偏心与振动对测量的影响,在双读头法的基础上,提出了四读头法消除光栅编码器偏心和振动影响的方法,并进行了理论推导和仿真。结果表明,采用沿光栅编码器圆周均匀分布的四读头读取叠栅条纹信号,并将检测相位相加除以4的方法比当前普遍采用的对径读头读数相加除以2的方法更能有效地提高光栅编码器的测量精度,从而降低了光栅编码器的装调要求。利用四读头各自采集的测量信号可以解算出偏心方向和偏心量,从而可以消除安装转轴振动的影响。对光栅编码器的进一步应用研究具有指导意义。 展开更多
关键词 测量 光栅编码器 叠栅条纹 偏心误差 相位 转轴振动
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用DSP实现光栅高准确度细分技术 被引量:7
3
作者 刘清 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第7期25-27,共3页
对提高光栅的细分准确度进行了研究,提出了一种查表和插值相结合的方法,并用该方法设计了一个光栅测量系统,系统采用硬件对光栅莫尔条纹进行二细分和判向、用高速并行A/D转换器进行数据采样、用数字信号处理器完成插值算法,具有高速、... 对提高光栅的细分准确度进行了研究,提出了一种查表和插值相结合的方法,并用该方法设计了一个光栅测量系统,系统采用硬件对光栅莫尔条纹进行二细分和判向、用高速并行A/D转换器进行数据采样、用数字信号处理器完成插值算法,具有高速、高准确度的特点。 展开更多
关键词 DSP 光栅 莫尔条纹 准确度 数字信号处理器
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傅立叶变换轮廓术测量范围的普适讨论 被引量:9
4
作者 陈文静 苏显渝 +2 位作者 曹益平 张启灿 向立群 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期604-607,共4页
针对目前傅立叶变换轮廓术(FTP)测量范围的公式仅适用于投影呈一维变化的光栅条纹的情况,对FTP的测量范围进行了更深入的讨论,给出了适用于投影呈二维变化的光栅条纹的普适的测量范围公式。得出了当被测物体的频谱呈现非圆形分布时,可... 针对目前傅立叶变换轮廓术(FTP)测量范围的公式仅适用于投影呈一维变化的光栅条纹的情况,对FTP的测量范围进行了更深入的讨论,给出了适用于投影呈二维变化的光栅条纹的普适的测量范围公式。得出了当被测物体的频谱呈现非圆形分布时,可以采用改变投影的光栅条纹的方向消除频谱混叠,达到在不增加条纹密度和图像获取装置的分辨率的情况下减小或消除基频和零频间的混叠。 展开更多
关键词 傅立叶变换轮廓术 FTP 条纹投影 频谱混叠 面形恢复 光场投影
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光栅信号软件细分技术及其误差分析 被引量:11
5
作者 蔺小军 史耀耀 +1 位作者 汪文虎 刘维伟 《工具技术》 北大核心 2006年第10期72-74,共3页
对光栅头输出的两路信号sinΦ和cosΦ进行A/D转换后,通过其转换结果的极性及比较两者绝对值的大小实现莫尔条纹八细分。通过两者比值形成的正切或余切值计算细分数,从而实现再细分。并对该技术引入的误差和光栅信号的辨向进行了研究。
关键词 光栅 莫尔条纹 软件细分 误差分析
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高质量莫尔条纹信号的提取 被引量:13
6
作者 邓文和 《光电工程》 CAS CSCD 1990年第3期8-19,28,共13页
本文分析了影响光栅信号质量的主要因素,指出了获得高质量光栅信号的途径,提出了一般设计方法及各参数的选择。文中给出的实验测试结果成功地用于JC-1型精密测角仪中。
关键词 测角仪 莫尔条纹 信号提取 光栅
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采用空间光调制器的光变图像光刻系统 被引量:7
7
作者 陈林森 解剑锋 +3 位作者 沈雁 汪振华 邵洁 陆志伟 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期561-564,共4页
用激光干涉型光学头产生干涉条纹,采用空间光调制器(SLM)进行子图输入实现光学可变图像(DVD)的快速光刻,分辨率可达5080dpi,平均运行效率达8000dots/s(1270pdpi)以上。研制了大幅面激光光刻系统,给出了实验结果。
关键词 3D图像 干涉 光学头 空间光调制器 SLM 光变图像光刻系统 激光光刻系统
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基于莫尔条纹的三维物体相关识别 被引量:11
8
作者 王海霞 苏显渝 吕静 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期349-353,共5页
提出了一种新的基于莫尔条纹的三维物体识方法。用阴影莫尔法的装置,采用频域滤波的方法,得到物体的莫尔条纹。用受到物体表面高度调制的莫尔条纹图作为输入图像,用光学匹配空间滤波的概念来实现相关识别方法,根据输出的相关峰值大小即... 提出了一种新的基于莫尔条纹的三维物体识方法。用阴影莫尔法的装置,采用频域滤波的方法,得到物体的莫尔条纹。用受到物体表面高度调制的莫尔条纹图作为输入图像,用光学匹配空间滤波的概念来实现相关识别方法,根据输出的相关峰值大小即可判别不同的物体。因为物体的莫尔条纹是物体的等高线,体现三维物体特征的高度函数以莫尔等高线的形式编码于莫尔条纹中,因此基于莫尔条纹的相关识别具有本征三维识别的特点。计算机模拟试验结果证明了这种方法用于三维物体识别的可能性。 展开更多
关键词 三维物体识别 莫尔条纹 光栅 归一化 匹配空间滤波器
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高精度增量式光电编码器信号处理系统 被引量:10
9
作者 汪雨冰 王睿 +1 位作者 于永江 杨罕 《吉林大学学报(信息科学版)》 CAS 2018年第4期398-402,共5页
为提高增量式光电编码器的输出精度,减小信号处理电路复杂度,提高伺服控制系统的稳定性,研制了一种单圈输出32 400周期方波信号的高精度增量式光电编码器。该编码器外径为90 mm,码盘一周刻划3 240线,数据处理系统可完成对莫尔条纹信号... 为提高增量式光电编码器的输出精度,减小信号处理电路复杂度,提高伺服控制系统的稳定性,研制了一种单圈输出32 400周期方波信号的高精度增量式光电编码器。该编码器外径为90 mm,码盘一周刻划3 240线,数据处理系统可完成对莫尔条纹信号的40倍准确细分。实验结果表明,此编码器输出信号精度正交性偏差小于15%,均匀性偏差小于20%,大幅减小了应用增量式编码器时伺服系统的抖动。 展开更多
关键词 增量编码器 精度 倍频细分 莫尔条纹
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利用莫尔条纹的计算机图象测量长焦距透镜焦距 被引量:6
10
作者 纪俊 姚焜 张权 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期241-245,共5页
莫尔条纹(Moire fringes)是两组线簇重叠在一起,在其交点位置处形成的条纹。由于莫尔条纹反映了两组线簇的空间频率之差(即拍频),因此它具有放大作用,故可用来测量一些诸如角度、位相等微小变化量。本实验是利用两块空间频率相同的黑白... 莫尔条纹(Moire fringes)是两组线簇重叠在一起,在其交点位置处形成的条纹。由于莫尔条纹反映了两组线簇的空间频率之差(即拍频),因此它具有放大作用,故可用来测量一些诸如角度、位相等微小变化量。本实验是利用两块空间频率相同的黑白光栅产生的莫尔条纹来测量长焦距透镜的焦距。先从理论上推导出在平行光场中,置于两块栅线呈一夹角的光栅之间某位置处的透镜产生的莫尔条纹为一组平行的直线系,它的斜率与透镜焦距之间定量关系。然后在实验中用CCD接收莫尔条纹的像,由计算机图象的斜率计算出待测透镜的焦距。 展开更多
关键词 莫尔条纹 长焦距透镜 焦距 计算机图象 拍频
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基于自相干叠栅条纹的光刻机对准技术 被引量:10
11
作者 杜聚有 戴凤钊 +1 位作者 步扬 王向朝 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期177-184,共8页
随着光刻技术向10nm及以下工艺节点的延伸,光刻工艺对套刻精度提出了更高的要求,相应的对准精度的要求已经达到亚纳米量级。提出一种基于自相干叠栅条纹的光刻机对准方法,其原理是利用对准系统的光学结构将位相型光栅对准标记的同级次... 随着光刻技术向10nm及以下工艺节点的延伸,光刻工艺对套刻精度提出了更高的要求,相应的对准精度的要求已经达到亚纳米量级。提出一种基于自相干叠栅条纹的光刻机对准方法,其原理是利用对准系统的光学结构将位相型光栅对准标记的同级次衍射光束进行分束和转像,在对准系统像面上形成两组周期不同的干涉条纹,这两组干涉条纹进一步干涉叠加形成自相干叠栅条纹,组成自相干叠栅条纹的两组干涉条纹随对准标记的移动向相反方向移动,并将对准标记的位移量进行放大,从而提高对准标记位置测量的精度。通过对自相干叠栅条纹图像进行傅里叶变换和相位提取,分析其相位信息得到对准标记的位置。仿真结果表明,对准精度和对准重复精度分别可以达到0.07nm和0.11nm。 展开更多
关键词 测量 光刻 套刻 对准 叠栅条纹
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类镍-银X射线激光及其应用实验研究 被引量:8
12
作者 王琛 顾援 +3 位作者 王世绩 黄关龙 林尊琪 张国平 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期381-384,共4页
在神光 II激光装置上进行了类镍 -银 X射线激光及其作为探针测量等离子体电子密度的实验研究 ,获得了类镍 -银 X射线激光饱和输出 。
关键词 实验研究 类镍-银X射线激光 增益饱和 等离子体 电子密度 神光Ⅱ 激光装置 诊断技术
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光栅信号电阻链高倍细分法的误差校正的研究 被引量:6
13
作者 张兴华 王克逸 《电子测量技术》 2008年第7期35-39,共5页
常用的电阻链细分法在对光栅信号进行高倍细分时,电路结构会随着细分倍数的增加而变得很复杂。采用内部集成等值电阻链和比较器阵列的芯片LM3914代替细分电路中的电阻链和比较器阵列,可以有效地简化电路结构和提高细分倍数,但同时会引... 常用的电阻链细分法在对光栅信号进行高倍细分时,电路结构会随着细分倍数的增加而变得很复杂。采用内部集成等值电阻链和比较器阵列的芯片LM3914代替细分电路中的电阻链和比较器阵列,可以有效地简化电路结构和提高细分倍数,但同时会引入非线性误差。本文通过对等值电阻链细分法引入的细分误差进行数学量化分析,并通过利用光栅信号合成误差校正信号将细分电路中的误差减小到0.3%以下,提高系统的精度和可靠性,实现了40倍细分。 展开更多
关键词 光栅 误差校正 细分 电阻链 摩尔条纹
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两种莫尔条纹信号对光栅系统测量精度的影响 被引量:2
14
作者 魏晓蓉 刘丰文 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期43-45,共3页
对两种莫尔条纹(光闸条纹和横向条纹)信号的谐波含量以及它们对光栅系统测量精度的影响进行了分析,并用实测数据加以比较,指出在光栅系统中,取横向莫尔条纹信号的谐波量小,正弦性好,细分误差小,在其它参数相同的情况下,可提高系统的测... 对两种莫尔条纹(光闸条纹和横向条纹)信号的谐波含量以及它们对光栅系统测量精度的影响进行了分析,并用实测数据加以比较,指出在光栅系统中,取横向莫尔条纹信号的谐波量小,正弦性好,细分误差小,在其它参数相同的情况下,可提高系统的测量精度2倍左右。 展开更多
关键词 莫尔条纹信号 光栅系统 测量精度 谐波 测量误差
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Homomorphic partial differential equation filtering method for electronic speckle pattern interferometry fringes based on fringe density 被引量:6
15
作者 张芳 刘文耀 +2 位作者 夏琳 王晋疆 朱越 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期210-213,共4页
Noise reduction is one of the most exciting problems in electronic speckle pattern interferometry. We present a homomorphic partial differential equation filtering method for interferometry fringe patterns. The diffus... Noise reduction is one of the most exciting problems in electronic speckle pattern interferometry. We present a homomorphic partial differential equation filtering method for interferometry fringe patterns. The diffusion speed of the equation is determined based on the fringe density. We test the new method on the computer-simulated fringe pattern and experimentally obtain the fringe pattern, and evaluate its filtering performance. The qualitative and quantitative analysis shows that this technique can filter off the additive and multiplicative noise of the fringe patterns effectively, and avoid blurring high-density fringe. It is more capable of improving the quality of fringe patterns than the classical filtering methods. 展开更多
关键词 Computational fluid dynamics Image quality INTERFEROMETERS Interferometry moire fringes Partial differential equations SPECKLE
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光栅位移测量技术在精密线束加工中的应用 被引量:1
16
作者 戴立安 《电子器件》 CAS 2007年第5期1604-1607,共4页
为了提高精密线束的产品品质,设计开发了一套用于精密线束生产中的对电子线自动测量系统.该系统运用了光栅测量技术的相关原理,使用了成本较低而性能较好的缩微光栅传感器对原来的线束测量系统进行了改进,该系统现在可以对电子线进行自... 为了提高精密线束的产品品质,设计开发了一套用于精密线束生产中的对电子线自动测量系统.该系统运用了光栅测量技术的相关原理,使用了成本较低而性能较好的缩微光栅传感器对原来的线束测量系统进行了改进,该系统现在可以对电子线进行自动测量与裁切.其直线运动位置精度检测的结果是Cp=2.41和Cpk=2.24,由此可见,该系统精度高,稳定性好,而且光栅本身不接触、无磨损,对提升质量非常有用,满足了工厂的需求. 展开更多
关键词 光电 光栅测量 莫尔条纹 栅距
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玻璃缺陷检测新方法的研究 被引量:7
17
作者 喻宾扬 王召巴 金永 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第8期60-62,共3页
玻璃缺陷检测已成为提高玻璃质量的重要技术之一,它在检测出不合格玻璃产品的同时,还能将缺陷信息传递给玻璃生产的各个流程,再对各个环节加以改进。为能够生产出高质量的玻璃和准确地获取玻璃缺陷信息,采用了一种基于莫尔条纹的玻璃缺... 玻璃缺陷检测已成为提高玻璃质量的重要技术之一,它在检测出不合格玻璃产品的同时,还能将缺陷信息传递给玻璃生产的各个流程,再对各个环节加以改进。为能够生产出高质量的玻璃和准确地获取玻璃缺陷信息,采用了一种基于莫尔条纹的玻璃缺陷检测新方法。这种检测方法不但能够检测出微小缺陷,并进行分类,还能有效地检测出玻璃的光学畸变。 展开更多
关键词 玻璃缺陷 线阵CCD 莫尔条纹 光学畸变
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长周期莫尔光栅的理论研究 被引量:5
18
作者 高侃 周赢武 +1 位作者 瞿荣辉 方祖捷 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期427-430,共4页
长周期光纤光栅作为一种损耗型的带阻滤波器,在光纤通信和光纤传感器领域有着广泛的应用.结合长周期光纤光栅的传输特性,利用传输矩阵法对多种长周期莫尔光栅的透射谱进行了理论模拟.分析结果表明,莫尔光栅技术在制作高性能的相移长周... 长周期光纤光栅作为一种损耗型的带阻滤波器,在光纤通信和光纤传感器领域有着广泛的应用.结合长周期光纤光栅的传输特性,利用传输矩阵法对多种长周期莫尔光栅的透射谱进行了理论模拟.分析结果表明,莫尔光栅技术在制作高性能的相移长周期光栅和变迹长周期光栅上有着很好的应用前景. 展开更多
关键词 集成光学 长周期光纤光栅 莫尔光栅效应 相移光栅 变迹光栅
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小波变换轮廓术在双频光栅条纹中的应用 被引量:6
19
作者 翁嘉文 钟金钢 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期603-608,共6页
为了解决非连续物体三维面形测量中所存在的非连续相位解包问题,采用计算机生成的两频率之比为一无理数的电子光栅作为空间载频光栅条纹投影到待测物体表面。另外结合伽博小波变换分析的相位解调原理,在一幅变形双频光栅图像中分析得到... 为了解决非连续物体三维面形测量中所存在的非连续相位解包问题,采用计算机生成的两频率之比为一无理数的电子光栅作为空间载频光栅条纹投影到待测物体表面。另外结合伽博小波变换分析的相位解调原理,在一幅变形双频光栅图像中分析得到两个频率各自所对应的包络相位分布,并且应用钟金钢等所提出的双频条纹查表法进行解包得到确定的调制相位分布。提出的双频光栅小波变换查表相位解包法很好地解决了傅里叶变换轮廓术,以及连续相位解包法在非连续物体三维面形测量中所存在的问题。给出了详细完整的理论推导过程、计算机模拟以及实验验证,证实了该方法的可行性。 展开更多
关键词 应用光学 相位分析 轮廓术 双频光栅 小波变换
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一种弱化莫尔条纹的狭缝光栅屏裸眼3D显示器 被引量:7
20
作者 胡建青 赵悟翔 +1 位作者 马晓莉 王琼华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期186-190,共5页
常规竖直狭缝光栅和倾斜狭缝光栅的发光二极管(LED)屏裸眼3D显示器分别存在明显的莫尔条纹和立体图像串扰等问题,为此,提出一种弱化莫尔条纹的狭缝光栅LED屏裸眼3D显示器,它由LED屏和错位非均宽透光条的狭缝光栅构成。该狭缝光栅根据LE... 常规竖直狭缝光栅和倾斜狭缝光栅的发光二极管(LED)屏裸眼3D显示器分别存在明显的莫尔条纹和立体图像串扰等问题,为此,提出一种弱化莫尔条纹的狭缝光栅LED屏裸眼3D显示器,它由LED屏和错位非均宽透光条的狭缝光栅构成。该狭缝光栅根据LED屏黑矩阵较宽的特点,通过适当增大透光条宽度和移动透光条在其周期中的位置,来增加狭缝光栅周期结构与LED屏像素周期结构之间的差异,降低莫尔条纹中暗带的对比度,并使莫尔条纹变得稀疏,从而达到既能弱化莫尔条纹,又不会明显增加立体图像串扰的目的。制作了所提狭缝光栅LED屏裸眼3D显示器样机,获得了莫尔条纹显著弱化、无明显立体图像串扰的显示效果,验证了理论的正确性。 展开更多
关键词 光学器件 裸眼3D显示器 狭缝光栅 莫尔条纹 发光二极管屏 黑矩阵
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