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用于微器件制作的灰度掩模技术
1
作者
张新宇
汤庆乐
+1 位作者
张智
裴先登
《微细加工技术》
2001年第2期71-75,共5页
讨论了灰度掩模技术在凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形阵列等器件制作方面的应用 ,给出了与几种典型的凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形结构对应的灰度掩模板的设计实例及其应用 ,为灰度掩模技术制作微透镜器件及微...
讨论了灰度掩模技术在凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形阵列等器件制作方面的应用 ,给出了与几种典型的凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形结构对应的灰度掩模板的设计实例及其应用 ,为灰度掩模技术制作微透镜器件及微尖形阵列奠定了基础。
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关键词
灰度掩模
微透镜阵列
微尖形结构
微器件
下载PDF
职称材料
提高抗激光烧蚀能力的表面尖形微结构器件
被引量：
1
2
作者
张新宇
汤庆乐
+1 位作者
张智
裴先登
《微细加工技术》
2001年第2期67-70,共4页
讨论了光刻热熔成形工艺灰度掩模技术结合离子束蚀刻制作面阵尖形微结构器件的问题 ,分析了几种凸尖及凹尖结构抗入射激光烧蚀的能力强于平面端面同质器件的原因 ,所作的若干分析结果可用于这类器件的实际制作和应用。
关键词
尖形微结构
离子束蚀刻
抗激光烧蚀
能力
微结构器件
下载PDF
职称材料
题名
用于微器件制作的灰度掩模技术
1
作者
张新宇
汤庆乐
张智
裴先登
机构
华中大学计算机学院外存储系统国家专业实验室
中国船舶重工集团华中光电技术研究所光电二部
光电子工程系
出处
《微细加工技术》
2001年第2期71-75,共5页
基金
2000年中国博士后科学基金资助项目
湖北省自然科学基金资助项目! (2 0 0 0JI50 )
文摘
讨论了灰度掩模技术在凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形阵列等器件制作方面的应用 ,给出了与几种典型的凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形结构对应的灰度掩模板的设计实例及其应用 ,为灰度掩模技术制作微透镜器件及微尖形阵列奠定了基础。
关键词
灰度掩模
微透镜阵列
微尖形结构
微器件
Keywords
gray-scale
mask
microlens
array
microtip
structure
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
提高抗激光烧蚀能力的表面尖形微结构器件
被引量：
1
2
作者
张新宇
汤庆乐
张智
裴先登
机构
华中大学计算机学院外存储系统国家专业实验室
中国船舶重工集团华中光电技术研究所光电二部
光电子工程系
出处
《微细加工技术》
2001年第2期67-70,共4页
基金
2000年中国博士后科学基金资助项目
湖北省自然科学基金资助项目!(2 0 0 0JI50 )
文摘
讨论了光刻热熔成形工艺灰度掩模技术结合离子束蚀刻制作面阵尖形微结构器件的问题 ,分析了几种凸尖及凹尖结构抗入射激光烧蚀的能力强于平面端面同质器件的原因 ,所作的若干分析结果可用于这类器件的实际制作和应用。
关键词
尖形微结构
离子束蚀刻
抗激光烧蚀
能力
微结构器件
Keywords
microtip
structure
ion
beam
etching
anti-laser-ablation
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TN403
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于微器件制作的灰度掩模技术
张新宇
汤庆乐
张智
裴先登
《微细加工技术》
2001
0
下载PDF
职称材料
2
提高抗激光烧蚀能力的表面尖形微结构器件
张新宇
汤庆乐
张智
裴先登
《微细加工技术》
2001
1
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职称材料
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