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Superhydrophobicity frommicrostructured surface 被引量:10
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作者 ZHENGLijun WUXuedong LOUZeng WUDan 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2004年第17期1779-1787,共9页
Superhydrophobicity is referred to the wet- tability of a solid surface which has a water apparent contact angle greater than 150 . It has attracted great interest in both fundamental researches and practical applicat... Superhydrophobicity is referred to the wet- tability of a solid surface which has a water apparent contact angle greater than 150 . It has attracted great interest in both fundamental researches and practical applications. This pa- per discusses two models: Wenzel model and Cassie model, to describe the superhydrophobic states of surface. The ef- fects of surface morphology and microstructure on superhy- drophobicity are discussed, and the internal relationship between Wenzel and Cassie states is presented. These two superhydrophobic states can coexist and they present differ- ent properties on contact angle hysteresis. It is reported that the irreversible transition can be realized from Cassie state to Wenzel state under some certain conditions. This paper also gives a review of recent progresses in the strategies of fabricating superhydrophobic surfaces by designing micro- structured or microtextured surfaces. Finally, the funda- mental research and applications of superhydrophobic sur- faces are prospected. 展开更多
关键词 超疏水性 微结构表面 自清洁 接触角 粗糙度 表面化学
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微结构光纤制备过程中不同位置空气孔的形变量分析 被引量:7
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作者 周桂耀 侯峙云 +2 位作者 李曙光 韩颖 侯蓝田 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期6486-6489,共4页
根据热传导原理,在拉制微结构光纤(MSF)时,在高温区中,MSF预制棒的包层内不同位置加热的温度也不一样,且由表面往中心方向温度逐渐下降,温度梯度随MSF预制棒下棒速度的加快或包层空气填充率的减少而增大.由于材料的表面张力和黏度系数... 根据热传导原理,在拉制微结构光纤(MSF)时,在高温区中,MSF预制棒的包层内不同位置加热的温度也不一样,且由表面往中心方向温度逐渐下降,温度梯度随MSF预制棒下棒速度的加快或包层空气填充率的减少而增大.由于材料的表面张力和黏度系数都是温度的函数,因此将MSF预制棒拉细成MSF时,实际所得到的MSF结构,并非是预制棒等比例的缩小,而是温度越高的空气孔形变量越大.为得到符合设计要求的MSF,就必须将MSF预制棒包层空气孔尺寸按温度变化规律设计,从而消除由于加热温度的非均匀性对拉制的MSF包层空气孔所产生的影响. 展开更多
关键词 微结构光纤 光纤预制棒 温度梯度 表面张力
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线性自抗扰控制在快刀伺服控制中的应用 被引量:4
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作者 李捷 陈新 陈新度 《机械设计与制造》 北大核心 2014年第12期224-226,230,共4页
为了提高具有表面微结构的零件的超精密加工中快刀伺服系统的跟踪精度和抗干扰性,研制了一种线性自抗扰控制器。通过对快刀伺服刀架建模分析,得到惯性环节和二阶振荡环节串联的等效模型,设计出三阶四维的线性扩张状态观测器,可对未知扰... 为了提高具有表面微结构的零件的超精密加工中快刀伺服系统的跟踪精度和抗干扰性,研制了一种线性自抗扰控制器。通过对快刀伺服刀架建模分析,得到惯性环节和二阶振荡环节串联的等效模型,设计出三阶四维的线性扩张状态观测器,可对未知扰动的观测结果作出实时估计和补偿,由此设计出线性自抗扰控制器。数字仿真实验表明,线性自抗扰控制具有良好的控制品质,其中,在快刀伺服系统中的应用可以提高跟踪性能和抗干扰性。 展开更多
关键词 表面微结构 超精密加工 快刀伺服 线性自抗扰控制
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基于灰度-高度映射的快速白光干涉在位测量
4
作者 孟定坤 朱志伟 黄鹏 《中国科学:技术科学》 EI CSCD 北大核心 2024年第11期2131-2142,共12页
为了提高微结构加工中的在位测量效率,本文提出一种基于白光干涉原理的微结构光学表面形貌快速在位测量方法.该方法仅采集特定轴向间隔的两幅干涉图像,进而通过所构建的灰度-高度映射关系实现微结构表面形貌的快速重建,避免了传统轴向... 为了提高微结构加工中的在位测量效率,本文提出一种基于白光干涉原理的微结构光学表面形貌快速在位测量方法.该方法仅采集特定轴向间隔的两幅干涉图像,进而通过所构建的灰度-高度映射关系实现微结构表面形貌的快速重建,避免了传统轴向扫描数据存储量大和效率低等不足.针对该方法,详细分析了影响测量精度的主要因素,证明了测量系统抵抗外部纳米振动的能力,确定了关键测量参数的最优取值范围.为验证新方法的有效性,基于超精密车床和白光干涉装置搭建了在位测量系统,结合子孔径拼接测量技术实现了典型微结构表面的大视场测量.实验结果表明,在位测量系统仅需采集16张干涉图像进行表面重建,传统扫描白光干涉方法则需要1024张,且两者测量面型均方根偏差为9.1367 nm,验证了所提出方法的高效性和精确性. 展开更多
关键词 微结构 在位测量 白光干涉 表面重建
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微结构表面超精密切削加工的关键技术
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作者 杨元华 陈时锦 +1 位作者 段耀凯 程凯 《航空精密制造技术》 2007年第3期4-8,共5页
总结了微结构表面超精密切削加工技术相对于其他加工方法所不具备的关键技术,并指出了这一领域主要的研究方向及技术难点。
关键词 微结构表面 超精密切削 飞刀切削 快速伺服刀架
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Profile Characterization and Temperature Effect on the Wettability of Microstructured Surfaces
6
作者 Yuxuan Han Yingwei Liu +1 位作者 Minami Kaneko Fumio Uchikoba 《Journal of Surface Engineered Materials and Advanced Technology》 2018年第4期83-94,共12页
Wetting is one of the omnipresent phenomena governed via natural laws. Moreover, surface wettability at non-ambient temperature especially at high temperature (30°C to 90°C) is of great importance in many in... Wetting is one of the omnipresent phenomena governed via natural laws. Moreover, surface wettability at non-ambient temperature especially at high temperature (30°C to 90°C) is of great importance in many industrial processes. In this study, Si wafers with various structures were fabricated to investigate wettability at different temperatures. Three shapes with micro-pillar structured surfaces were designed and fabricated. Pillar-structured surfaces were fabricated by photolithography and ICP etching. The temperature-dependent wettability of single-phase regime droplets was characterized using contact angle measurements. The wetting behavior of a water droplet was observed. 展开更多
关键词 WETTING microstructured surface TEMPERATURE Effect CONTACT ANGLE
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A strong and reversible adhesive fibrillar surface based on an advanced composite with high strength and strong adhesion
7
作者 Jian Liu Yin Yao +2 位作者 Shaohua Chen Xiaohong Li Zhijun Zhang 《International Journal of Smart and Nano Materials》 SCIE EI 2023年第1期103-121,共19页
A material-structure integrated design method is proposed in this paper,with which micropillar and microwedge arrayed surfaces are fabricated based on a novel nanoparticlereinforced silicone rubber composite(NRSRC)wit... A material-structure integrated design method is proposed in this paper,with which micropillar and microwedge arrayed surfaces are fabricated based on a novel nanoparticlereinforced silicone rubber composite(NRSRC)with high mechanical strength and strong surface adhesion.It is found that the micropillar-arrayed surface and the microwedgearrayed surface show a normal adhesive strength of 50.9 kPa and a shear adhesive strength of 137.3 kPa,respectively,which are much higher than those of previously reported adhesive surfaces made by pure soft polymers.Furthermore,the micro-wedgearrayed surface shows not only strong and stable adhe-sion on rough and smooth substrates but also an obvious anisotropy in the adhesion property.The latter consequently leads to an easy control of the attachment/detachment switch,which is evidenced by a mechanical gripper with a microwedged surface.Therefore,firmly picking up and easily releasing a heavy glass plate can be realized.All these results demonstrate the apparent advantages of the present compo-sitebased fibrillar surfaces in achieving reliable and reversible adhesion and should have promising applications for manufac-turing advanced adhesive devices,such as mechanical fixtures,portable climbing equipment and space robots. 展开更多
关键词 Material-structure integrated design method microstructured fibrillar surface silicone rubber composite material strong adhesion reversible adhesion
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SiO_2微球的微结构表面组成修饰及其蛋白质/细胞响应
8
作者 黄晓笑 程逵 翁文剑 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期510-517,共8页
采用SiO_2微球构建微结构表面,分别以TiO_2、Al_2O_3、Au对其表面组成进行修饰。研究了在确定表面微结构的条件下,不同组成修饰对蛋白质吸附与细胞响应行为的影响。结果表明:表面组成改变会影响蛋白质的吸附,细胞的初期黏附与蛋白质吸... 采用SiO_2微球构建微结构表面,分别以TiO_2、Al_2O_3、Au对其表面组成进行修饰。研究了在确定表面微结构的条件下,不同组成修饰对蛋白质吸附与细胞响应行为的影响。结果表明:表面组成改变会影响蛋白质的吸附,细胞的初期黏附与蛋白质吸附量有密切的关系;在细胞增殖阶段,除了蛋白质吸附量,蛋白质吸附取向可能也是影响细胞行为的重要因素之一。 展开更多
关键词 微结构表面 组成修饰 蛋白黏附 细胞响应
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微结构表面热辐射光谱特性的分析方法
9
作者 刘广平 韩玉阁 +1 位作者 李强 宣益民 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期111-114,共4页
微结构表面热辐射光谱特性研究分析的一个主要问题在于表面微结构复杂的空间自由度以及计算方法。针对以上问题本文建立了任意微结构表面的物理模型,基于电磁波理论给出了微结构表面热辐射满足的麦克斯韦方程组。将时域有限差分方法(FD... 微结构表面热辐射光谱特性研究分析的一个主要问题在于表面微结构复杂的空间自由度以及计算方法。针对以上问题本文建立了任意微结构表面的物理模型,基于电磁波理论给出了微结构表面热辐射满足的麦克斯韦方程组。将时域有限差分方法(FDTD)用于麦克斯韦方程组的离散求解,引入场分离处理方法,直接计算提取反射场量,进而采用坡印廷定理计算得到能流以及光谱特性。最后,分别计算了随机微结构表面和微腔表面的热辐射光谱特性,并与相关文献的实验以及计算结果进行了比较。 展开更多
关键词 热辐射 光谱特性 微结构表面 FDTD方法
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微结构自由曲面的超精密单点金刚石切削技术概述 被引量:32
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作者 李荣彬 孔令豹 +3 位作者 张志辉 杜雪 陈新 刘强 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第19期144-155,共12页
回顾了超精密加工技术的发展,主要包括超精密加工设备的开发历程,以及超精密单点金刚石切削技术基础,并对微工程技术作一简要介绍;重点论述微结构自由曲面的微纳切削技术,包括单点金刚石车削(Single point diamond turning,SPDT),快刀... 回顾了超精密加工技术的发展,主要包括超精密加工设备的开发历程,以及超精密单点金刚石切削技术基础,并对微工程技术作一简要介绍;重点论述微结构自由曲面的微纳切削技术,包括单点金刚石车削(Single point diamond turning,SPDT),快刀伺服加工(Fast tool servo,FTS),金刚石微凿切(Diamond micro chiseling,DMC),光栅铣削等技术。指出微结构自由曲面测量领域面临的挑战和存在的问题,包括接触式测量和非接触式测量。通过几个典型微结构自由曲面的加工及测量的应用进行举例说明;最后介绍我国在超精密加工机床领域内的研制情况,展望了超精密切削技术未来发展趋势。 展开更多
关键词 微结构自由曲面 超精密加工 精密测量 切削机理 机床设备
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超硬微结构表面模具的精密磨削加工技术 被引量:11
11
作者 郭兵 赵清亮 +1 位作者 JACKSON Mark J 赵玲玲 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第23期174-179,共6页
针对超硬模具材料,研究磨削方式(顺磨和逆磨)、进给率和主轴转速等磨削参数对磨削后微结构表面的表面粗糙度和尖锐部分完整性的影响规律。基于磨削结果,对微结构表面质量不均一现象以及微结构表面磨削过程中的砂轮磨损分布进行研究。试... 针对超硬模具材料,研究磨削方式(顺磨和逆磨)、进给率和主轴转速等磨削参数对磨削后微结构表面的表面粗糙度和尖锐部分完整性的影响规律。基于磨削结果,对微结构表面质量不均一现象以及微结构表面磨削过程中的砂轮磨损分布进行研究。试验结果表明磨削后的微结构侧表面粗糙度小于底面粗糙度。采用逆磨可以获得更低的粗糙度和更加完整、锋利的尖锐部分。磨削后的表面粗糙度随着进给率的降低而减小,当进给率为0.2 mm.min–1时,微结构底面平均表面粗糙度Ra89 nm,侧面为Ra 60 nm。磨削后,尖锐部分圆弧半径随进给率的降低呈现减小趋势,当进给率为0.5 mm.min–1时,其平均圆弧半径最小,为0.67μm。主轴转速对表面粗糙度和尖锐部分圆弧半径的影响不大。由阶梯光栅表面结构性引起的,相对于其各个表面的磨削轨迹不相同,是导致磨削后阶梯光栅表面质量不均一现象主要原因。在微结构表面的磨削加工过程中,相对于砂轮的径向和轴向磨损,砂轮的形貌磨损更为严重。 展开更多
关键词 磨削 超硬材料 微结构表面 尖锐部分 质量不均一性 砂轮磨损
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基于表面等离子体共振的新型超宽带微结构光纤传感器研究 被引量:5
12
作者 丁子平 廖健飞 曾泽楷 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期167-172,共6页
基于表面等离子体共振的微结构光纤传感器具有高灵敏、免标记和实时监控等优点.如今,由于此类传感器广泛应用于食品安全控制、环境检测、生物分子分析物检测等诸多领域而受到大量研究.然而,目前所报道的绝大多数此类传感器只能应用于可... 基于表面等离子体共振的微结构光纤传感器具有高灵敏、免标记和实时监控等优点.如今,由于此类传感器广泛应用于食品安全控制、环境检测、生物分子分析物检测等诸多领域而受到大量研究.然而,目前所报道的绝大多数此类传感器只能应用于可见光或近中红外传感.因此,对可应用于中红外传感的表面等离子体共振微结构光纤传感器的研究是一项极具挑战性的工作.基于此,本文设计了一种可以工作在近红外和中红外区域的新型高灵敏表面等离子体共振微结构光纤传感器.传感器采用双芯单样品通道结构,该结构不仅可以消除相邻样品通道间的相互干扰和提高传感器的信噪比,还可以在超宽带波长范围内实现高灵敏检测.采用全矢量有限元法对其传感特性进行了系统的研究,研究结果表明:当待测样品折射率分布在1.423—1.513范围内时,传感器不仅可以在1.548—2.796μm的超宽带波长范围内进行工作,而且其平均灵敏度高达13964 nm/RIU.此外,传感器的最高波长灵敏度和折射率分辨率分别为17900 nm/RIU,5.59×10^(–7) RIU. 展开更多
关键词 光纤光学 微结构光纤 表面等离子体共振 传感器
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自抗扰控制在快刀伺服系统控制中的应用 被引量:2
13
作者 李捷 陈新 陈新度 《机床与液压》 北大核心 2015年第8期124-127,共4页
为了提高微结构自由曲面光学元件超精密加工中快刀伺服系统的跟踪精度和抗干扰性,引入自抗扰控制器。通过对快刀伺服刀架进行建模分析,得到惯性环节和二阶振荡环节串联的等效模型。根据低阶自抗扰控制器控制高阶系统的理论,设计出二阶... 为了提高微结构自由曲面光学元件超精密加工中快刀伺服系统的跟踪精度和抗干扰性,引入自抗扰控制器。通过对快刀伺服刀架进行建模分析,得到惯性环节和二阶振荡环节串联的等效模型。根据低阶自抗扰控制器控制高阶系统的理论,设计出二阶三维扩张状态观测器,可对来自各种干扰源未知扰动的观测结果做出实时估计和补偿。设计出自抗扰控制器,并给出了参数整定的规则。数字仿真实验表明:自抗扰控制器具有良好的控制品质,应用在快刀伺服系统中可以提高控制系统的跟踪性能和抗干扰性。 展开更多
关键词 微结构自由曲面 超精密加工 自抗扰控制 快刀伺服系统
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基于“耦合-耦合-吸收”机理的超宽带单模单偏振微结构光纤 被引量:1
14
作者 赵畅 李积鹏 +4 位作者 杨宏达 杨慢 杨骐豪 侯蓝田 王伟 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期15-24,共10页
通过在高双折射微结构光纤包层构建缺陷并在其外侧空气孔镀金的方法,实现一种基于“耦合-耦合-吸收”滤波机理的新型单模单偏振微结构光纤(SMSP-MSF)。纤芯中需要滤除的偏振态模式能量通过“纤芯与缺陷芯耦合”和“缺陷芯与金缺陷耦合... 通过在高双折射微结构光纤包层构建缺陷并在其外侧空气孔镀金的方法,实现一种基于“耦合-耦合-吸收”滤波机理的新型单模单偏振微结构光纤(SMSP-MSF)。纤芯中需要滤除的偏振态模式能量通过“纤芯与缺陷芯耦合”和“缺陷芯与金缺陷耦合”两次耦合作用传递至镀金孔中,再利用金缺陷的等离子体共振效应对能量进行吸收,以实现宽带的单模单偏振传输。基于上述机理,利用全矢量有限元法,得到了两种宽带SMSP-MSF。所设计的正六边形晶格SMSPMSF的纤芯x偏振模式与缺陷芯模式、金层二阶表面等离子极化激元模式在多个波长分别谐振,实现380 nm的单模单偏振传输带宽。所设计的正方形晶格SMSP-MSF利用纤芯及缺陷芯相互垂直的排布方式,保证了纤芯与缺陷芯x偏振模式耦合,而y偏振模式不耦合,在1.55μm处实现了偏振消光比高达113 dB的高质量单模单偏振传输。 展开更多
关键词 光纤光学 微结构光纤 单模单偏振 模式耦合 表面等离子体共振 偏振消光比
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Design of a Surface-Plasmon-Resonance Sensor Based on a Microstructured Optical Fiber with Annular-Shaped Holes
15
作者 祝远锋 陈明阳 +2 位作者 王华 张永康 杨继昌 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第9期867-872,共6页
A novel design is proposed for highly sensitive surface-plasmon-resonance sensors. The sensor is based on a microstructured optical fiber with two layers of annular-shaped holes. A gold layer is deposited on the inner... A novel design is proposed for highly sensitive surface-plasmon-resonance sensors. The sensor is based on a microstructured optical fiber with two layers of annular-shaped holes. A gold layer is deposited on the inner surface of the second hole-layer, in which the holes have several micrometers thickness in size, facilitating analyte infiltration and metal layer deposition. In the first layer of holes, the sector-ring^shaped arms, used as supporting strips, are utilized to tune the resonance depth of the sensor. Numerical results indicate that the sensor operation wavelength can be tuned across the C+L-band. The spectral sensitivity of 1.0.104 nm. RIU-1 order of magnitude and a detection limit of 1.0.10-4 RIU order are demonstrated over a wide range of analyte refractive index from 1.320 to 1.335. 展开更多
关键词 microstructured optical fiber surface-plasmon-resonance spectral sensitivity
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基于空芯微结构光纤拉曼探针的实验研究 被引量:2
16
作者 盛子城 王腾 +6 位作者 周桂耀 夏长明 刘建涛 李波瑶 樊海霞 陈云 侯峙云 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第18期166-171,共6页
表面增强拉曼散射(SERS)技术可有效增强样品分子的拉曼信号,对生物分子检测具有较高的灵敏性,因此在生化方面有着许多潜在的应用.而将空芯微结构光纤与SERS技术相结合不仅能够远端实时、分布式地检测,同时还可以增加光场与待测物的有效... 表面增强拉曼散射(SERS)技术可有效增强样品分子的拉曼信号,对生物分子检测具有较高的灵敏性,因此在生化方面有着许多潜在的应用.而将空芯微结构光纤与SERS技术相结合不仅能够远端实时、分布式地检测,同时还可以增加光场与待测物的有效作用面积,减少传统光纤探针无法避免的石英背景信号等问题.本文基于空芯微结构光纤进行SERS探针的制备及性能测试研究,利用真空物理溅射法在空芯光纤内镀纳米Ag膜,从而制备成SERS探针,通过实验检测不同浓度的罗丹明6G (R6G)酒精溶液的拉曼信号.结果表明,在探针的近端正面成功探测到了浓度低至10^(-9)mol/L的R6G拉曼信号,在探针的远端反面探测到的浓度可小于10^(-6)mol/L.该实验结果为研究高灵敏度的SERS探针提供了一种新的手段. 展开更多
关键词 空芯微结构光纤 表面增强拉曼 光纤探针
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金属丝微结构光纤的研究进展 被引量:2
17
作者 严皓哲 戴能利 +4 位作者 彭景刚 蒋作文 李海清 杨旅云 李进延 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2011年第11期9-17,共9页
金属丝微结构光纤是指具有沿石英光纤轴向均匀分布着直径为纳米量级的金属丝的光纤。这种特殊结构的光纤具有传输光波以及表面等离子体波的特性,潜在用途十分广泛。介绍了金属丝微结构光纤的性质、制备方法及其研究进展。
关键词 光纤光学 金属丝微结构光纤 表面等离子体 激发波长 红外传输
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The application of the microstructured metallic grating to light emission extraction
18
作者 GOU YuChun XUAN YiMin 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2013年第6期696-700,共5页
Microstructured metallic gratings can be used to enhance the light emission efficiency of LEDs,and the spectral radiation properties of the LEDs vary with the different metallic materials used,leading to variation of ... Microstructured metallic gratings can be used to enhance the light emission efficiency of LEDs,and the spectral radiation properties of the LEDs vary with the different metallic materials used,leading to variation of the light emission enhancement at the same wavelength for different metallic grating materials.In this paper,the finite difference time domain(FDTD) method has been used to investigate the light emission extraction enhancement of LEDs in which gratings with different metallic materials have been applied.Through analysis of the permittivity of the metals and the quality factors of the surface plasmons(SPs),we concluded that the larger the plasma frequency obtained for the metallic interband transition,then the more suitable the metals are for light emission extraction of photons with relatively short wavelengths.This is because of the abundance of free electrons in the metals with large plasma frequencies.We also found that the wavelength-dependent trends of the extraction enhancement resulting from the scattering mechanism for different metallic materials are similar to each other.For SP-induced enhancement,either the enhancement peak position or the peak value changes significantly with the different metals. 展开更多
关键词 金属光栅 发光效率 微结构 提取 应用 等离子体频率 金属材料 时域有限差分
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THz波微结构器件特性的研究
19
作者 栗岩锋 王昌雷 +6 位作者 刘丰 田震 谷建强 胡明列 柴路 王清月 邢岐荣 《中国电子科学研究院学报》 2009年第3期263-267,共5页
在电磁波谱中所处的特殊位置使得THz波在在物理、化学、生物医学、电子科学、材料科学、环境监测等领域有着广泛的应用前景。综述了THz波微结构器件特性方面的研究工作。亚波长金属周期微结构器件的THz波谱选择增强透射现象,亚波长环形... 在电磁波谱中所处的特殊位置使得THz波在在物理、化学、生物医学、电子科学、材料科学、环境监测等领域有着广泛的应用前景。综述了THz波微结构器件特性方面的研究工作。亚波长金属周期微结构器件的THz波谱选择增强透射现象,亚波长环形槽金属线上的THz等效表面等离子体激元,以及THz光子晶体光纤。 展开更多
关键词 THZ波 THz波微结构器件 THz波谱选择增强透射现象 THz等效表面等离子体激元 THz光子晶体光纤
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微结构表面形貌的测量 被引量:19
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作者 周明宝 林大键 +1 位作者 郭履容 郭永康 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第3期7-13,共7页
总结了现有各种微结构表面形貌测量方法,概述了这些方法的原理、特性及发展现状,并对各种方法的优越性、存在问题以及应用范围进行了比较。
关键词 微结构 表面表貌 测量 衍射光学元件 微细加工
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