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基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作
1
作者
何林
吴一辉
+1 位作者
张平
宣明
《微细加工技术》
EI
2006年第1期48-51,共4页
为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术。利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14μm,周期40μm。介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率。结果表明,...
为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术。利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14μm,周期40μm。介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率。结果表明,这种硅微过滤器能有效去除悬液中直径在14μm以上的微粒,且生物兼容性好,结构简单,易于实现片内集成。
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关键词
微型全分析系统(μTAS)
血细胞分离
微过滤器
MEMS
微分离技术
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职称材料
均分散胶体的研究──9微分隔区法制备碳酸钙均分散颗粒
被引量：
4
2
作者
曹玮
蔺玉胜
王光信
《青岛化工学院学报（自然科学版）》
1996年第2期147-150,共4页
在微分隔区内可形成均分散颗粒的观点指导下，设计了在胶束溶液中制备尺寸为微米级的ＣａＣＯ３均分散颗粒的新方法。探讨了表面活性剂浓度及金属离子浓度对沉淀形貌的影响，并给出方形及球形均分散颗粒的分布函数。
关键词
碳酸钙
均分散颗粒
微分隔区法
胶体
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职称材料
题名
基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作
1
作者
何林
吴一辉
张平
宣明
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《微细加工技术》
EI
2006年第1期48-51,共4页
基金
国家863MEMS重大专项资助项目(2004AA404250)
中科院二期创新基金资助项目(C02X01Z)
文摘
为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术。利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14μm,周期40μm。介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率。结果表明,这种硅微过滤器能有效去除悬液中直径在14μm以上的微粒,且生物兼容性好,结构简单,易于实现片内集成。
关键词
微型全分析系统(μTAS)
血细胞分离
微过滤器
MEMS
微分离技术
Keywords
micro
total
analysis
system(μTAS)
blood
cell
separation
microfilter
MEMS
microseparation
method
分类号
TP65+2.1 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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职称材料
题名
均分散胶体的研究──9微分隔区法制备碳酸钙均分散颗粒
被引量：
4
2
作者
曹玮
蔺玉胜
王光信
出处
《青岛化工学院学报（自然科学版）》
1996年第2期147-150,共4页
文摘
在微分隔区内可形成均分散颗粒的观点指导下，设计了在胶束溶液中制备尺寸为微米级的ＣａＣＯ３均分散颗粒的新方法。探讨了表面活性剂浓度及金属离子浓度对沉淀形貌的影响，并给出方形及球形均分散颗粒的分布函数。
关键词
碳酸钙
均分散颗粒
微分隔区法
胶体
Keywords
calcium
carbonate
monodispersed
particle
microsepar
ated
region
method
分类号
O648 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作
何林
吴一辉
张平
宣明
《微细加工技术》
EI
2006
0
下载PDF
职称材料
2
均分散胶体的研究──9微分隔区法制备碳酸钙均分散颗粒
曹玮
蔺玉胜
王光信
《青岛化工学院学报（自然科学版）》
1996
4
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