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微机械电子学—机械电子学的新发展
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作者 廉仲 王庭树 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第3期311-315,共5页
综述了机械电子学的新发展,即近年来出现的微机械电子学;介绍了如何利用 IC(集成电路)的微细加工技术制造微型机构、微型执行器等,以及微机械电子学产品的应用前景.
关键词 机械电子学 微细加工 微机械电子学
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