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微透镜阵列的制备与应用研究进展 被引量：23
1
作者 李建军 褚春艳 +4 位作者 卢玮彤 张萍萍 杨高岭 钟海政 赵跃进 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第21期1-24,共24页
微透镜阵列是一种多功能的微光学元件,可以对入射光进行扩散、光束整形、光线均分、光学聚焦等调制,进而实现大视角、低像差、小畸变、高时间分辨率和无限景深等,在光电器件和光学系统的微型化、智能化和集成化方面具有重要的应用潜力... 微透镜阵列是一种多功能的微光学元件,可以对入射光进行扩散、光束整形、光线均分、光学聚焦等调制,进而实现大视角、低像差、小畸变、高时间分辨率和无限景深等,在光电器件和光学系统的微型化、智能化和集成化方面具有重要的应用潜力。介绍了微透镜阵列的光学原理和发展历程,综述了喷墨打印、激光直写、丝网印刷、光刻技术、光聚合技术、热熔回流技术和化学气相沉积法等微透镜阵列制备技术,总结了微透镜阵列在成像传感、照明光源、显示和光伏等领域的应用进展,最后对微透镜阵列的发展方向进行了展望,讨论了曲面微透镜、叠加复眼系统以及微透镜与新型光电材料结合等新方向的发展趋势和未来挑战。 展开更多
关键词 光学制造 微透镜阵列 制备技术 器件集成 光学系统 显示
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基于CMOS图像传感器的彩色滤镜和微透镜工艺研究 被引量：1
2
作者 史海军 叶红波 《集成电路应用》 2020年第2期34-36,共3页
对CMOS图像传感器加工彩色滤镜和微透镜工艺进行深入研究,总结出整个滤镜和微透镜工艺的流程及加工方法。虽然其工艺具有相当的难度,然而平面化和微透镜技术是先进色彩处理技术必须解决和实现的关键问题,所以彩色滤镜的工艺继续开发和... 对CMOS图像传感器加工彩色滤镜和微透镜工艺进行深入研究,总结出整个滤镜和微透镜工艺的流程及加工方法。虽然其工艺具有相当的难度,然而平面化和微透镜技术是先进色彩处理技术必须解决和实现的关键问题,所以彩色滤镜的工艺继续开发和研究是非常有积极意义的。 展开更多
关键词 CMOS图像传感器 像素阵列 彩色滤镜 微透镜 工艺技术
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CMOS图像传感器改善灵敏度的工艺研究
3
作者 叶红波 史海军 《集成电路应用》 2020年第1期23-25,共3页
CMOS 图像传感器芯片(CIS)的功能是把光学图像的信号转换为电信号,采集电信号并传输图像信号的器件。CMOS 图像传感器广泛应用于手机数码产品、监控、汽车电子、工业应用、AR/VR、医疗以及科学探测等领域。通过对 CMOS 图像传感器色彩... CMOS 图像传感器芯片(CIS)的功能是把光学图像的信号转换为电信号,采集电信号并传输图像信号的器件。CMOS 图像传感器广泛应用于手机数码产品、监控、汽车电子、工业应用、AR/VR、医疗以及科学探测等领域。通过对 CMOS 图像传感器色彩滤镜和微透镜工艺进行研究,介质层工艺改善,色彩滤镜材料改善,滤镜工艺改善,微透镜工艺改善来提升 CMOS 图像传感器的光学吸收效率,达到灵敏度提升的效果。 展开更多
关键词 集成电路制造 CMOS图像传感器 色彩滤镜工艺 微透镜工艺 灵敏度
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一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术 被引量：18
4
作者 王伟 周常河 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2869-2872,共4页
提出了一种利用软模压印制备微透镜阵列的技术。采用传统的光刻胶热熔方法制备微透镜阵列母板,利用复制模具的方法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上得到一个和母板表面图形相反的模具,最后通过压印的方法把PDMS模具上的图形转移到涂有紫外固化... 提出了一种利用软模压印制备微透镜阵列的技术。采用传统的光刻胶热熔方法制备微透镜阵列母板,利用复制模具的方法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上得到一个和母板表面图形相反的模具,最后通过压印的方法把PDMS模具上的图形转移到涂有紫外固化胶的玻璃基片上,待紫外胶完全固化后可得到和母板一致的微透镜阵列。经过测试微透镜阵列的焦点图像和表面形貌可发现最后制备的微透镜阵列表面形貌均匀、聚焦性能良好、光强均匀。 展开更多
关键词 光学制造 微透镜阵列 光刻胶热熔法 软刻蚀 压印技术
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衍射光学及其在红外成像系统中的应用 被引量：7
5
作者 孟剑奇 《航空兵器》 2006年第6期38-41,共4页
简述了浮雕型衍射光学元件的概念、原理及其独特的功能和特点,在此基础上着重讨论了衍射光学元件可用于红外成像光学系统的像差校正以及利用微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成能够改善红外焦平面阵列的性能是两个重要的应用方向,最后... 简述了浮雕型衍射光学元件的概念、原理及其独特的功能和特点,在此基础上着重讨论了衍射光学元件可用于红外成像光学系统的像差校正以及利用微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成能够改善红外焦平面阵列的性能是两个重要的应用方向,最后简要从系统需要和国内实际加工工艺水平方面分析了金刚石车削法加工具有连续浮雕结构衍射光学元件的优势及存在的不足,指出了金刚石车削法加工衍射光学零件是切实可行的重要技术途径。 展开更多
关键词 衍射光学 红外成像 无热化系统 微透镜阵列 金刚石车削
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基于电喷墨技术的多焦距曲面微透镜阵列制备
6
作者 褚金奎 刘瑞 +1 位作者 刘建英 付佳新 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第9期283-287,共5页
随着微纳米工艺的发展,微光学元件的制备和应用成为重要研究方向。生物复眼具有视场大、体积小、动态特性好等优点。微透镜阵列是一种常用的仿生复眼的光学元件,具有广泛的应用场景。为此,提出了一种基于电喷墨打印技术制备多焦距的曲... 随着微纳米工艺的发展,微光学元件的制备和应用成为重要研究方向。生物复眼具有视场大、体积小、动态特性好等优点。微透镜阵列是一种常用的仿生复眼的光学元件,具有广泛的应用场景。为此,提出了一种基于电喷墨打印技术制备多焦距的曲面微透镜阵列的工艺,所制备的多焦距微透镜阵列可以解决曲面基底和平面的图像传感器焦距不匹配引起的离焦模糊问题。首先基于电喷印技术制备平面的多焦距微透镜阵列,然后在表面形成抗粘层并倒模,得到微透镜阵列凹模,最后经负压弯曲注胶固化过程,制备了多焦距的曲面微透镜阵列。阵列的整体半径为6 mm,焦距范围为4.9~6.23 mm,总方向角大于60°。 展开更多
关键词 集成光学器件 多焦距曲面微透镜阵列 电喷墨技术
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基于投影光刻技术的微透镜阵列加工方法 被引量：1
7
作者 龚健文 王建 +2 位作者 刘俊伯 孙海峰 胡松 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第12期81-90,共10页
本文提出了一种基于投影光刻技术的微透镜阵列制备方法,成功制备多种口径、面形及表面粗糙度均良好的微透镜阵列。该方法采用0.2倍投影物镜,降低掩模板制造成本,实现不同口径微透镜阵列制备。采用掩模移动滤波技术,在降低掩模制备复杂... 本文提出了一种基于投影光刻技术的微透镜阵列制备方法,成功制备多种口径、面形及表面粗糙度均良好的微透镜阵列。该方法采用0.2倍投影物镜,降低掩模板制造成本,实现不同口径微透镜阵列制备。采用掩模移动滤波技术,在降低掩模制备复杂性的同时,提高了微透镜阵列面形精度。本文对四种不同口径的微透镜阵列进行制备实验,分别为50μm、100μm、300μm、500μm,其表面形貌加工精度达到微米级,表面粗糙度达到纳米级。实验结果表明,该方法在微透镜阵列制造中具有很大的潜力,与传统方法相比,能够实现更低的线宽和更高的表面面形精度。 展开更多
关键词 微透镜阵列 投影光刻技术 掩模移动滤波技术
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采用微透镜阵列的防伪技术研究
8
作者 余佳颖 黄启禄 廖廷俤 《福光技术》 2023年第1期1-9,共9页
本文介绍了微透镜阵列防伪技术的莫尔成像、成像景深与清晰度原理,简要叙述了微透镜阵列防伪薄膜目前较为流行的几种制备方法的发展现状,包括丝网印刷法、喷墨打印法、纳米压印法以及一些新型组合制备方法。并介绍了微透镜阵列防伪技术... 本文介绍了微透镜阵列防伪技术的莫尔成像、成像景深与清晰度原理,简要叙述了微透镜阵列防伪薄膜目前较为流行的几种制备方法的发展现状,包括丝网印刷法、喷墨打印法、纳米压印法以及一些新型组合制备方法。并介绍了微透镜阵列防伪技术在实际防伪领域中的一些应用,以及对微透镜阵列防伪技术今后的发展做出了展望。 展开更多
关键词 微透镜阵列 防伪技术 薄膜制备技术 防伪应用
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采用单步光刻和湿法腐蚀工艺制作高性能衍射微透镜
9
作者 张新宇 陈胜斌 +1 位作者 季安 谢长生 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1625-1629,共5页
采用单步光刻和湿法腐蚀工艺,低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量级,衍射相位台阶的高度在亚微米量级并可以根据需求灵活调整,通光孔径在毫米至厘米量级的范围内可调.组... 采用单步光刻和湿法腐蚀工艺,低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量级,衍射相位台阶的高度在亚微米量级并可以根据需求灵活调整,通光孔径在毫米至厘米量级的范围内可调.组成衍射微透镜的大量基本相位结构,可以根据入射和出射光束的形貌特征及参数指标,通过衍射积分算法灵活设置和排布.远场光学测试显示了所制衍射微透镜的高衍射效能. 展开更多
关键词 高性能衍射微透镜 衍射积分算法 单步光刻 湿法腐蚀工艺 DVD物镜
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DARPA为激光武器反无人机分层防御开发模块化高效激光技术
10
作者 伍尚慧 曹秋生 董光焰 《电光系统》 2022年第4期1-4,共4页
随着近年来无人机在战场上频繁现身和出色表现,无人机所造成的威胁正日趋加大,美国为了快速形成反无人机装备能力的领先优势,正在大力发展反无人机装备技术研发。2022年DARPA发布“模块化高效激光技术”(MELT)项目五年计划征集公告,旨... 随着近年来无人机在战场上频繁现身和出色表现,无人机所造成的威胁正日趋加大,美国为了快速形成反无人机装备能力的领先优势,正在大力发展反无人机装备技术研发。2022年DARPA发布“模块化高效激光技术”(MELT)项目五年计划征集公告,旨在开发具有出色光束质量的紧凑型、可扩展的主动相干光束合成半导体HEL源技术,该项目将把激光碟片集成至可扩展HEL光源的平面阵列中,可获得与当前HEL光源相媲美甚至更佳的光束质量,将成为低成本激光武器系统分层防御反无人机的新手段。 展开更多
关键词 模块化高效激光技术 模块化激光碟片 主动相干波束合成平面阵列 微透镜阵列 主动相控阵半导体激光技术
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