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题名面向微集成的金刚石NV色心与微波天线的一体化
被引量：2
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作者
袁华
马宗敏
郑斗斗
王雪敏
柴笑晗
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机构
中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室
中北大学仪器与电子学院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2022年第2期151-155,168,共6页
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基金
山西省量子传感与精密测量重点实验室资助项目(201905D121001)
山西省回国留学人员科研资助项目(2021-115)。
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文摘
针对金刚石氮空位(NV)色心量子传感器中微波天线体积大、无法与金刚石紧密接触造成天线与金刚石位置不固定、引起传感器灵敏度低的问题,设计了一种将微波天线集成到金刚石NV色心的一体化方法。采用导电性更强的金薄膜作为天线材料,通过高频结构模拟器(HFSS)仿真软件确定天线尺寸。利用微纳加工工艺和磁控溅射技术在金刚石NV色心表面制作了微波天线,实现了金刚石一体化微波天线。对金刚石一体化微波天线的仿真与实验数据进行对比分析。与传统微波天线相比,设计的天线体积缩小约50%,激发荧光效率和磁场灵敏度分别提升了约20倍和约10 nT/Hz^(1/2)。该方法结合3D打印技术可有望大幅缩小金刚石NV色心量子传感器的体积,对量子器件的微集成化发展具有重要意义。
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关键词
量子传感器
微波天线
氮空位(NV)色心
微纳加工工艺
微集成
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Keywords
quantum sensor
microwave antenna
nitrogen vacancy(NV)color center
micro-nano processing technology
microintegration
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN826
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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题名系统微集成技术的发展
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作者
路荣先
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机构
中物院电子工程研究所
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出处
《探测与控制学报》
CSCD
2000年第3期3-7,共5页
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文摘
介绍了 2 0世纪 90年代以来出现的几种微型封装技术。某些封装工艺对现代微小型电子系统诸如一次性使用的电子部件、引信系统等起着重要的作用。新的封装技术为从事现代引信系统开发的工程技术人员 。
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关键词
硅晶片
微集成
多芯片模块
机械电子学
微机电系统
表面粘贴技术
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Keywords
silicon crystal chip
microintegration
multi chip modular
mechatronics
micro electromechanical system
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分类号
TN
[电子电信]
304.1+2
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题名安森美推出小电容高速数据线保护与滤波器件
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出处
《电子产品世界》
2003年第06A期71-71,共1页
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关键词
安森美半导体公司
滤波器
microintegration电路
数据线保护
电流瞬态
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分类号
TN713
[电子电信—电路与系统]
TN702
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