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微流控芯片上油液磨粒电容检测 被引量:16
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作者 李梦琪 赵凯 +1 位作者 宋永欣 潘新祥 《大连海事大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期42-46,共5页
报道一种可用来检测和计数油液中磨粒个数的微流控芯片实验室装置(microfluidic lab-on-chip).使用直径为25μm铜丝作为电极,在PDMS微流控芯片上加工获得三维电容传感器,油液样品在微流控芯片上由注射泵驱动通过传感器.金属磨粒与油液... 报道一种可用来检测和计数油液中磨粒个数的微流控芯片实验室装置(microfluidic lab-on-chip).使用直径为25μm铜丝作为电极,在PDMS微流控芯片上加工获得三维电容传感器,油液样品在微流控芯片上由注射泵驱动通过传感器.金属磨粒与油液介电常数不同,每一个通过电容传感器的磨粒均会产生电容脉冲信号,脉冲信号幅值反映了磨粒大小,而脉冲个数即为磨粒数量,实现了最小粒径为8μm的铝磨粒的检测和计数.该油液磨粒检测装置具有结构简单、成本低、检测精度高等优点,有望应用于远洋船舶的油液离线分析. 展开更多
关键词 微流控芯片 电容传感器 磨粒检测
原文传递
应用磁性纳米材料的电感式油液金属磨粒检测传感器 被引量:8
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作者 白晨朝 张洪朋 +3 位作者 曾霖 赵旭鹏 王文琪 杨定新 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期1960-1967,共8页
为了增加电感式油液污染物检测传感器的稳定性,提升对铁磁性和非铁磁性污染物的检测精度,设计了一种内置磁性纳米材料的电感式油液污染物检测传感器,螺线管线圈内部填充的磁性纳米粒子层可以提升检测区域磁场强度,增强磁化涡流效应。模... 为了增加电感式油液污染物检测传感器的稳定性,提升对铁磁性和非铁磁性污染物的检测精度,设计了一种内置磁性纳米材料的电感式油液污染物检测传感器,螺线管线圈内部填充的磁性纳米粒子层可以提升检测区域磁场强度,增强磁化涡流效应。模型材料制作300μm的微通道穿过螺线管线圈和磁性纳米材料组成的传感单元,当污染物通过传感单元时,利用电感检测原理可以区分铁磁性和非铁磁性污染物。同时采用有无磁性纳米粒子层的两种传感器进行多组对比实验。实验结果表明,磁性纳米粒材料的电感式油液检测传感器具有更高的检测信噪比以及更低的检测下限,对于20~70μm的铁磁性颗粒检测信噪比提升了20%~25%,对于80~130μm的非铁磁性颗粒的检测信噪比提升了16%~20%。该方法基于微流控检测技术,具有体积小、检测信噪比高等优点,同时为液压油污染物快速检测提供了技术支持,对液压系统的故障诊断与寿命预测具有重要意义。 展开更多
关键词 微流控 电感式传感器 磁性纳米材料 污染物检测
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金属颗粒形态对电感式传感器输出特性影响的研究 被引量:7
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作者 吴瑜 张洪朋 +2 位作者 王满 陈海泉 孙玉清 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2283-2289,共7页
基于电感测量技术与微流体技术的油液检测芯片,不仅可以区分出铁磁性和非铁磁性金属颗粒,还可以对油液中的颗粒进行计数统计和颗粒大小测量,从而判断金属颗粒污染物的来源及设备的磨损状态。通过理论分析、数值模拟及实验验证,分析不同... 基于电感测量技术与微流体技术的油液检测芯片,不仅可以区分出铁磁性和非铁磁性金属颗粒,还可以对油液中的颗粒进行计数统计和颗粒大小测量,从而判断金属颗粒污染物的来源及设备的磨损状态。通过理论分析、数值模拟及实验验证,分析不同形态铁磁颗粒退磁场,研究铁磁颗粒形态对电感式传感器的输出影响。建立理论模型描述不同形状颗粒的退磁因子、磁化场,以及磁化的金属颗粒产生磁场从而导致线圈电感发生变化。基于模型计算并验证同体积下球形、不同轴长比的圆柱、椭球颗粒的磁场和电感输出,分析结果显示颗粒越细长、退磁因子越小则越容易磁化,因此细长颗粒引起传感器的电感变化更大,另外圆柱形颗粒的电感变化大于旋转椭球型颗粒。 展开更多
关键词 微流体芯片 金属颗粒 退磁因子 电感式传感器
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硅基热流式微流量传感器研究 被引量:3
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作者 席文柱 闫卫平 +1 位作者 马灵芝 牛德芳 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第3期446-448,394,共4页
采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ,分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ,硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0~ 80 0 ... 采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ,分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ,硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0~ 80 0 μL/min之间。 展开更多
关键词 微流量传感器 微加热器 温度传感器 微机械电子系统
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Finger-actuated wireless-charging wearable multifunctional sweatsensing system for levodopa and vitamin C
5
作者 Qihong Ning Shaoqing Feng +5 位作者 Qingwen Sun Ruoyao Yu Tangan Li Hao Xu Daxiang Cui Kan Wang 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2024年第4期3096-3106,共11页
Efficient portable wearable sweat sensors allow the long-term monitoring of changes in the status of biomarkers in sweat,which can be useful in diagnosis,medication,and nutritional assessment.In this study,we designed... Efficient portable wearable sweat sensors allow the long-term monitoring of changes in the status of biomarkers in sweat,which can be useful in diagnosis,medication,and nutritional assessment.In this study,we designed and tested a wireless,battery-free,flexible,self-pumping sweat-sensing system that simultaneously tracks levodopa and vitamin C levels in human sweat and detects body temperature.The system includes a microfluidic chip with a self-driven pump and anti-reflux valve,a flexible wireless circuit board,and a purpose-designed smartphone app.The microfluidic chip is used for the efficient collection of sweat and the drainage of excess sweat.The dual electrochemical sensing electrodes in the chip are modified with functional materials and appropriate enzymatic reagents,achieving excellent selectivity and stability.The sensitivities of the levodopa sensor and the vitamin C sensor are 0.0073 and 0.0018μA·μM^(-1),respectively,and the detection correlation coefficients of both exceed 0.99.Both sensors have a wide linear detection range of 0–100 and 0–1000μM,respectively,and low detection limits of 0.28 and 17.9μM,respectively.The flexible wireless circuit board is equipped with the functions of wireless charging,electrical signal capture and processing,and wireless transmission.The data recorded from each sensor are displayed on a smartphone via a self-developed app.A series of experimental results confirmed the reliability of the sweat-sensing system in noninvasively monitoring important biomarkers in the human body and its potential utility in the comprehensive assessment of biological health. 展开更多
关键词 self-pumping microfluidic channel wireless charging wearable sensor health monitoring
原文传递
基于电化学传感技术的血液pH和PCO_(2)连续检测芯片装置
6
作者 于海霞 刘家乐 +2 位作者 范译心 谭志广 郭庆 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1701-1712,共12页
为了连续检测血液透析患者血液的酸碱度,降低血液透析患者的死亡率,基于电化学传感原理和微流控技术,研究了一种能够连续监测血液pH和PCO_(2)的芯片。芯片中pH电极和CO32-电极以共用参比电极的方式实现pH和PCO_(2)的联合检测,利用微型... 为了连续检测血液透析患者血液的酸碱度,降低血液透析患者的死亡率,基于电化学传感原理和微流控技术,研究了一种能够连续监测血液pH和PCO_(2)的芯片。芯片中pH电极和CO32-电极以共用参比电极的方式实现pH和PCO_(2)的联合检测,利用微型化测试腔保证血液的连续流通和检测,并防止空气对血液检测的干扰,提高血液pH和PCO_(2)的检测精度。采用pH 6.00~9.00的Tris-HCl溶液测试芯片的pH检测性能,其检测灵敏度达到61.2 mV/pH,连续检测同一样品的标准差小于0.01(n=10),再现性测量的平均相对误差为0.46%(n=6),在pH 6.00~9.00内实现了样品溶液pH值的准确检测。利用联合传感芯片分别进行血气质控液和血液测试实验,在血气质控液中检测pH和PCO_(2)的绝对误差分别低于0.04和306.64 Pa(2.30 mmHg),平均相对误差分别为0.23%和1.94%;在血液中检测pH和PCO_(2)的绝对误差分别低于0.05和466.63 Pa(3.50 mmHg),平均相对误差分别为0.36%和2.60%。与血气分析仪相比,该芯片体积小,与血液透析管路连接可以实现血液中pH和PCO_(2)的连续在线检测。 展开更多
关键词 微流控技术 血液透析 酸碱平衡 电化学传感器 连续血液检测
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MOFs基微流控电化学芯片对多种重金属离子的实时在线检测
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作者 陈晓萍 王旭潭 +4 位作者 刘宁 汪庆祥 倪建聪 杨伟强 林振宇 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期25-34,共10页
将具有丰富微孔的ZIF-8金属有机框架和电化学技术对金属离子的富集作用与微流控器件对溶液流动的可控性相结合,构建了一种新型传感器,实现了高通量、实时和快速检测环境中的多种金属离子污染物.研制的ZIF-8-Nafion/ITO基微流控电化学传... 将具有丰富微孔的ZIF-8金属有机框架和电化学技术对金属离子的富集作用与微流控器件对溶液流动的可控性相结合,构建了一种新型传感器,实现了高通量、实时和快速检测环境中的多种金属离子污染物.研制的ZIF-8-Nafion/ITO基微流控电化学传感器对Cd^(2+),Pb^(2+)及Hg^(2+)离子在0.1~100μmol/L的浓度范围内具有良好的线性关系,检出限分别为0.055,0.0025及0.0016μmol/L(S/N=3).该微流控芯片对于样品的需求量少,可降低对能源的消耗;同时由聚二甲基硅氧烷拓印的微流控器件还有望实现柔性电极的功能,对便携式电化学柔性器件在生物和环境样品的集成化和自动化检测具有重要意义. 展开更多
关键词 微流控 重金属检测 电化学传感器 金属有机框架
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采用柱形极板的电容式油液检测传感器 被引量:5
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作者 史皓天 张洪朋 +1 位作者 曾霖 孙广涛 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第8期8-12,共5页
液压油中混有的水滴和气泡会加速油液的氧化变质,导致液压系统出现故障。为此设计了一种基于柱形极板电容器的电容式微流控油液检测传感器,并在所搭建的检测系统上进行了相关实验。实验结果表明,随着激励电压幅值在0.5~2 V区间递增,所... 液压油中混有的水滴和气泡会加速油液的氧化变质,导致液压系统出现故障。为此设计了一种基于柱形极板电容器的电容式微流控油液检测传感器,并在所搭建的检测系统上进行了相关实验。实验结果表明,随着激励电压幅值在0.5~2 V区间递增,所测得的信号幅值以及信号本底噪声都逐渐降低,经计算发现激励电压幅值为2 V时的检测信号具有更高的信噪比,因此选用2 V的激励电压幅值可以提高传感器检测精度。该传感器在实验室中有效实现了液压油中50μm水滴和110μm气泡的区分检测。该研究对液压油中的水和气泡的快速检测提供了技术支持。 展开更多
关键词 微流控传感器 柱形极板电容器 激励电压幅值 检测精度 水滴 气泡
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纸基传感器的研究进展 被引量:3
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作者 张小灵 郭茂泽 +1 位作者 高兵兵 何冰芳 《中国造纸学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期111-123,共13页
近年来,柔性传感器以日新月异的速度进入大众视野,尤其是纸基传感器,因其具有柔性、成本低、可回收及环境可降解等优点被广泛应用于生物医学微流控、微生物检测、环境控制、食品安全及可穿戴等领域。虽然,纸基传感器相关研究仍在不断更... 近年来,柔性传感器以日新月异的速度进入大众视野,尤其是纸基传感器,因其具有柔性、成本低、可回收及环境可降解等优点被广泛应用于生物医学微流控、微生物检测、环境控制、食品安全及可穿戴等领域。虽然,纸基传感器相关研究仍在不断更新,但对其研究进展却缺乏全面而系统的报道;因此,本文主要对纸基传感器的制备方法、检测手段及多元应用进行详细的论述和总结,并对纸基传感器的最新发展和挑战进行综述,最后对该领域的未来展望提出笔者的看法和见解。 展开更多
关键词 纸基 柔性传感器 微流控 医学分析 可穿戴传感器
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基于共面斜叉指状电极的微流控芯片内液滴检测技术
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作者 纪树泰 郑杰 +1 位作者 刘逸松 崔建国 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第1期94-101,共8页
为了监测微流控芯片内的反应过程及反应程度,对液滴在反应中的状态及内容物含量变化进行实时检测变得至关重要。利用T型微流路通道生成微液滴,通过对氧化铟锡(ITO)玻璃进行腐蚀获得共面斜叉指状电极,在电极表面旋涂钝化层避免电极污染... 为了监测微流控芯片内的反应过程及反应程度,对液滴在反应中的状态及内容物含量变化进行实时检测变得至关重要。利用T型微流路通道生成微液滴,通过对氧化铟锡(ITO)玻璃进行腐蚀获得共面斜叉指状电极,在电极表面旋涂钝化层避免电极污染。微流路通道中的液滴进入共面电极感应区域可有效引起其电容量变化,进而可以检测芯片内液滴的数量、平均长度、流速和内容物含量等。实验结果表明,设计的共面斜叉指状电极检测灵敏度优于传统的单对并列电极的24%以上。借助光学检测方法得到液滴长度检测的误差在6%以内。利用本检测装置对不同质量分数的甲醇、乙醇和异丙醇液滴进行了检测。实验结果的变化规律与电容检测理论相一致,验证了本液滴检测装置的有效性和可靠性。 展开更多
关键词 微流控芯片 液滴检测 电容式传感器 共面电极 电容检测
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柔性微流体电子:材料、工艺与器件 被引量:2
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作者 尹周平 吴志刚 黄永安 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期108-117,127,共10页
微流体技术是指在微观尺寸下控制、操作和检测复杂流体的新兴技术,通过与柔性电子技术结合,产生了全新的柔性微流体电子技术,有望在可变形电极、可穿戴电子、可延展柔性天线等领域发挥重要作用。目前,液态金属由于其常温液态、大表面张... 微流体技术是指在微观尺寸下控制、操作和检测复杂流体的新兴技术,通过与柔性电子技术结合,产生了全新的柔性微流体电子技术,有望在可变形电极、可穿戴电子、可延展柔性天线等领域发挥重要作用。目前,液态金属由于其常温液态、大表面张力等特点,应用于柔性微流体电子技术领域时,在材料、工艺和设备等方面面临诸多挑战。重点讨论液态金属的组分和属性、微流体制造工艺与特点,以及柔性微流体电子技术的新兴应用。最后展望了柔性微流体电子技术需研究并解决的关键科学技术问题。 展开更多
关键词 柔性电子 液态金属 微流体 无线传感器 液体天线
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微流路中利用DNA选择性固定蛋白质(英文) 被引量:2
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作者 郭素 薛面起 +2 位作者 钱民协 曹廷炳 赵新生 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1827-1830,共4页
报道了一种可控的通过DNA复合物在微流路中杂交固定蛋白质的方法.微流路系统中的玻璃基底上固定寡聚核苷酸,其中的层流提供了不同的DNA-蛋白质复合物.DNA的特异性识别可以将蛋白通过表面寻址固定在基底上.并且在体系中引入了全内反射荧... 报道了一种可控的通过DNA复合物在微流路中杂交固定蛋白质的方法.微流路系统中的玻璃基底上固定寡聚核苷酸,其中的层流提供了不同的DNA-蛋白质复合物.DNA的特异性识别可以将蛋白通过表面寻址固定在基底上.并且在体系中引入了全内反射荧光技术来追踪整个过程.此方法的特异性和灵敏度均较高,且蛋白质的固定和去除可重复.实验结果显示,同时检测特异性和非特异性的识别,可以有效提高生物检测的准确性.这项技术可以提高具有微流路结构的生物传感器装置的检测质量. 展开更多
关键词 微流路 蛋白质传感器 DNA引导的固定 全内反射荧光
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基于免泵微流控芯片和电化学检测的便携式生物医学传感器 被引量:2
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作者 王倩倩 钱海洋 +4 位作者 宋雪飞 程雷 李华明 李炳南 高荣科 《科学技术与工程》 北大核心 2018年第29期91-97,共7页
为满足即时检验(point-of-care testing,POCT)在基层和个性化诊疗使用需求,开发了一种免泵式微流控芯片和电化学检测生物医学传感器系统,配合免疫传感器完成了对过氧化氢和前列腺癌标志物的快速检测。系统利用改性处理后聚二甲基硅氧烷... 为满足即时检验(point-of-care testing,POCT)在基层和个性化诊疗使用需求,开发了一种免泵式微流控芯片和电化学检测生物医学传感器系统,配合免疫传感器完成了对过氧化氢和前列腺癌标志物的快速检测。系统利用改性处理后聚二甲基硅氧烷芯片通道内毛细作用力,自泵式完成待测试剂混合和流动,采用微型便携式检测设备控制输入信号并通过微电流检测电路设计读取传感器上电流信号,实现快速自动化检测。实验验证了三电极检测电路输出电位稳定,误差不超过1%;通过对双氧水浓度检测实验证明了该检测体系对浓度变化电流动态响应特性良好,输出稳定;检测系统配合生物传感器对前列腺特异性抗原浓度进行定量检测,检测限为1 ng/m L。据我们所知,这是首次利用电化学免泵微流控传感器进行前列腺抗原的检测,本体系结构简单,操作简便,系统有望与多种电化学传感器结合用于多种检测物质的快速智能化POCT检测。 展开更多
关键词 即时检测 免泵 微流控芯片 电化学传感器 前列腺特异性抗原
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带有温度补偿的微流传感器研究
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作者 李勇志 金东洋 +2 位作者 黄文雪 胡久龄 景殿涛 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第6期873-876,共4页
提出一种基于双长周期光纤光栅(LPFG)的边孔光纤微流传感器。该边孔光纤(SHF)内有2个空气孔,是天然的微流体通道,该微流传感器可进行温度补偿。利用CO_(2)激光器在边孔光纤上写入双LPFG,其共振波长分别为1 268.7 nm和1 385.8 nm。实验... 提出一种基于双长周期光纤光栅(LPFG)的边孔光纤微流传感器。该边孔光纤(SHF)内有2个空气孔,是天然的微流体通道,该微流传感器可进行温度补偿。利用CO_(2)激光器在边孔光纤上写入双LPFG,其共振波长分别为1 268.7 nm和1 385.8 nm。实验结果表明,当传感器置于折射率1.335~1.395的甘油水溶液中,2个LPFG共振峰的折射率灵敏度分别为-88.724 nm/RIU和-79.474 nm/RIU,温度灵敏度分别为52.0 pm/℃和55.7 pm/℃,利用折射率和温度灵敏度可推导出传感器的传感矩阵。该文所提出的带有温度补偿的微流传感器具有良好的线性响应度,可实现折射率和温度的同时测量,在环境监测和食品安全领域有潜在价值。 展开更多
关键词 长周期光纤光栅(LPFG) 边孔光纤 微流传感器 温度补偿 传感矩阵
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植物微流芯片——一种实时定量监测生长发育的高通量整合分析平台 被引量:1
15
作者 王明红 马来 +1 位作者 郑小江 胡一兵 《植物学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期637-643,共7页
生长发育是一个复杂的动态过程,了解其发生细节是生命科学研究的重要内容。最新发展起来的微流芯片技术为实现这个目标提供了新的途径。动物及微生物中的应用表明,该技术兼有实时定量监测和高通量整合处理的优势。在植物研究领域,用针... 生长发育是一个复杂的动态过程,了解其发生细节是生命科学研究的重要内容。最新发展起来的微流芯片技术为实现这个目标提供了新的途径。动物及微生物中的应用表明,该技术兼有实时定量监测和高通量整合处理的优势。在植物研究领域,用针对根生长特点和要求设计的根微流芯片结合荧光共振能量转移探针已经成功地检测出拟南芥(Arabidopsis thaliana)根细胞内葡萄糖和游离的Ca2+、Zn2+的浓度。随着各种底物特异的荧光共振能量转移探针的开发和应用,根微流芯片还可以用来检测植物细胞内激素或其它代谢中间产物的浓度及其动态变化过程。不仅如此,以微流芯片为基础发展起来的Plant Chip和Tip Chip则为研究植物与微生物的相互作用以及植物花粉管极性生长和细胞分裂分化提供了理想的平台。作为了解遗传因素或环境刺激导致细胞生命活动变化细节的有力工具,微流芯片技术有望为植物研究领域带来更多新的进展和突破。 展开更多
关键词 微流芯片 FRET sensor 实时定量 高通量
原文传递
Lamb波压差式微流量传感器 被引量:1
16
作者 贾宏光 光玲玲 +2 位作者 MANCEAU Jean-Francois BASTIEN Francois 刘波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1033-1038,共6页
为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统主要由两个Lamb波压力传感器和微通道组成,它利用Lamb波薄膜内应力的敏感特性,以频率计量的方式间接测量... 为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统主要由两个Lamb波压力传感器和微通道组成,它利用Lamb波薄膜内应力的敏感特性,以频率计量的方式间接测量微通道两端的压力差;并采用双Lamb波压力传感器构成差动式测量结构进行温度补偿。对长20 mm,宽1 mm,高50μm的微通道进行了流量测试实验,结果表明:在流量测试范围内,微通道两端的频率差与流量基本呈线性变化,其线性相关系数为0.999 9;在微流量传感器未进行优化的前提下,最小检测量为0.627μL/s。 展开更多
关键词 微流体系统 微流量传感器 LAMB波
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基于EBG结构的微流体传感器设计与性能测试
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作者 王晶 张园园 +1 位作者 王大伟 赵文生 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2022年第7期72-75,共4页
设计了一种新型微波流体传感器结构,用于测量液体的介电常数。该传感器采用电磁带隙材料和共面波导传输线耦合组成微流体传感器的基本结构,利用电磁带隙结构在其沟槽附近存在一个局域的高强度电场分布区作为微流体的流经通道,进而利用... 设计了一种新型微波流体传感器结构,用于测量液体的介电常数。该传感器采用电磁带隙材料和共面波导传输线耦合组成微流体传感器的基本结构,利用电磁带隙结构在其沟槽附近存在一个局域的高强度电场分布区作为微流体的流经通道,进而利用矢量网络分析仪测量该传感器特征频率的S参数。以该参数作为主要分析目标,通过比较有待测样品流经传感器和无待测样品流经传感器两种不同情况下传感器特征频率的频率移量,确定了待测样品的相对介电常数,并通过数学拟合的方法预测了其他未测试浓度的微流体的介电常数。该传感器结构实现了电磁带隙材料和共面波导技术的应用,在微流体介电常数测量及传感器结构设计领域有着广泛的潜在应用价值。 展开更多
关键词 微流体传感器 电磁带隙结构 共面波导
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基于微流体技术的FBAR微质量传感器 被引量:1
18
作者 吕启蒙 吴光敏 +2 位作者 楚合群 JOHN D Mai 陈剑鸣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第5期686-689,693,共5页
基于微机电系统(MEMS)技术的薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通讯领域取得了巨大的成功后,由于其具备厚度薄,体积小,与IC兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器(如石英晶体微天平)等优势,逐渐在微生物分子检测方面崭露头角。... 基于微机电系统(MEMS)技术的薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通讯领域取得了巨大的成功后,由于其具备厚度薄,体积小,与IC兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器(如石英晶体微天平)等优势,逐渐在微生物分子检测方面崭露头角。由于微生物分子大都生存于液体环境,而纵波模式下FBAR微质量传感器在液体环境中声波损耗大,其品质因数Q值只有3.53。因此,该文在分析了纵波模式下FBAR微质量传感器在气相和液相环境中的特性后,针对液相环境中传感器Q值较低问题,设计了一种具有微通道的FBAR微质量传感器,使其Q值达到30.85,增加了近9倍,从而提升了纵波模式下FBAR微质量传感器对液体中微生物分子检测的性能。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器(FBAR) 微机电系统(MEMS) 微流体 微质量传感器 品质因数
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基于微环辅助的M-Z温度传感器 被引量:1
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作者 孙枫 万静 +2 位作者 呙明贤 王兆松 苗江云 《光通信研究》 北大核心 2020年第1期38-42,共5页
针对普通马赫-曾德尔(M-Z)滤波器为了获得良好的滤波性能需要mm量级的臂长差的问题,文章提出了一种基于微环辅助M-Z滤波原理的温度传感器,其具有μm量级的尺寸。在M-Z滤波器的一个臂上耦合一个液体微环腔,利用微流控技术将一些温敏液体... 针对普通马赫-曾德尔(M-Z)滤波器为了获得良好的滤波性能需要mm量级的臂长差的问题,文章提出了一种基于微环辅助M-Z滤波原理的温度传感器,其具有μm量级的尺寸。在M-Z滤波器的一个臂上耦合一个液体微环腔,利用微流控技术将一些温敏液体注入腔内,通过分析传感器的输出光谱,可以检测到温度的变化。实验结果表明,该传感器具有良好的滤波性能及温度分辨能力,消光比>10 dB,3 dB带宽<1 nm,温度检测分辨率可达到0.1℃。此外,通过改变微环中液体的种类,可以调节传感器的温度检测范围。 展开更多
关键词 微流控技术 温度传感器 马赫-曾德尔滤波器 微环谐振腔
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Lamb波压差式微流量传感器的研究 被引量:1
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作者 光玲玲 贾宏光 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第1期63-66,共4页
为提高微小流量检测的灵敏度,增大其动态范围,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量测试方法。采用双Lamb波压力传感器分别测量微通道两端的压力,通过压力差、微通道的几何尺寸及流动特性计算出流量。结果表明,以Lamb波为探测媒介,采用... 为提高微小流量检测的灵敏度,增大其动态范围,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量测试方法。采用双Lamb波压力传感器分别测量微通道两端的压力,通过压力差、微通道的几何尺寸及流动特性计算出流量。结果表明,以Lamb波为探测媒介,采用薄膜内应力敏感方式和频率计量方法,提高了传感器灵敏度、动态范围和测量精度;采用双Lamb波压力传感器不仅克服了背压对传感器精度的影响,同时消除了温度变化对测量结果带来的误差。 展开更多
关键词 微流体系统 微流量传感器 LAMB波
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