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新世纪光刻技术及光刻设备的发展趋势 被引量：21
1
作者 苏雪莲 《微电子技术》 2001年第2期8-17,共10页
本文主要阐述了光刻技术的发展极限及 193nm、 157nm光学光刻技术和电子束投影光刻 (SCALPEL)、X -射线光刻 (XRL)离子投影光刻 (IPL)等技术的发展趋势。并详细介绍了国际著名品牌的光刻机以及即将推出的新一代光刻机。对国内光刻设备... 本文主要阐述了光刻技术的发展极限及 193nm、 157nm光学光刻技术和电子束投影光刻 (SCALPEL)、X -射线光刻 (XRL)离子投影光刻 (IPL)等技术的发展趋势。并详细介绍了国际著名品牌的光刻机以及即将推出的新一代光刻机。对国内光刻设备的发展现状作了简要概述。 展开更多
关键词 光刻技术 光刻设备 电子束投影光刻 光学光刻
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Au80Sn20合金焊料的制备及应用研究进展 被引量：15
2
作者 刘文胜 黄宇峰 马运柱 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1-6,共6页
含有80%金和20%锡(质量分数)的Au80Sn20合金焊料因其高熔点及免助焊剂等性能而被广泛应用于光电子封装和微电子封装领域。综述了Au80Sn20合金焊料的性能,分析了金锡叠层法、熔铸法、电镀沉积法和机械合金化法制备Au80Sn20合金焊料的工... 含有80%金和20%锡(质量分数)的Au80Sn20合金焊料因其高熔点及免助焊剂等性能而被广泛应用于光电子封装和微电子封装领域。综述了Au80Sn20合金焊料的性能,分析了金锡叠层法、熔铸法、电镀沉积法和机械合金化法制备Au80Sn20合金焊料的工艺原理和特点,介绍了Au80Sn20合金焊料在气密封盖、管壳焊接及芯片封装等领域的焊接技术和应用情况,最后指出了Au80Sn20合金焊料的研究方向和应用前景。 展开更多
关键词 Au80Sn20合金焊料 微电子封装 光电子封装 界面反应 制备技术
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DRAM芯片的最新研制进展与发展趋势 被引量：11
3
作者 成立 王振宇 高平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期1-5,14,共6页
介绍了动态随机存取存储器(DRAM)的最新制造技术、0.1μm特征尺寸理论极限的突破和相关新技术的进展,并展望了3种非易失性随机存取存储器(NVRAM),如FRAM、相变RAM、MRAM和BiCMOS技术的开发前景与发展趋势。
关键词 DRAM 动态随机存取存储器 数字集成电路 FRAM 相变RAM MRAM BICMOS 发展趋势
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微电子技术发展和展望 被引量：8
4
作者 晏伯武 张兆春 《舰船电子工程》 2007年第5期7-10,共4页
综述微电子技术的历史发展和重要地位,重点介绍其新材料和制备工艺的进展,新材料方面主要介绍几种重要的化合物半导体,并对其发展问题和前景进行展望。
关键词 微电子 砷化稼 集成电路 纳米技术
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微电子技术在生物医学中的应用与发展 被引量：6
5
作者 谢翔 张春 王志华 《电路与系统学报》 CSCD 2003年第2期80-85,共6页
微电子技术与生物医学之间有着非常紧密的联系。一方面微电子技术的发展,将大大地推动生物医学的发展,另一方面生物医学的研究成果同样也将对微电子技术的发展起着巨大的促进作用。本文将从生物医学电子学的几个重要发展领域:生物医学... 微电子技术与生物医学之间有着非常紧密的联系。一方面微电子技术的发展,将大大地推动生物医学的发展,另一方面生物医学的研究成果同样也将对微电子技术的发展起着巨大的促进作用。本文将从生物医学电子学的几个重要发展领域:生物医学传感器、神经电极、植入式电子系统、监护技术、生物芯片、分子和生物分子电子学以及仿生系统等的基本概念出发,结合国际上最新进展介绍微电子技术和生物医学的相互作用与发展,并总结国际上的最新技术和研究动向。 展开更多
关键词 微电子技术 生物医学 生物医学电子学 生物医学传感器 神经电极 植入式电子系统 监护技术 生物芯片 分子和生物分子电子学 仿生系统
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微系统技术发展现状及趋势 被引量：8
6
作者 朱晓枭 周瑜 +1 位作者 刘云飞 冯杰 《电声技术》 2021年第7期21-29,共9页
微系统将信息的获取、处理、分析及执行融为一体,整合了传统电子信息系统的各个子系统,具有尺寸小、功能丰富且完整、可靠性高、功耗低以及成本低等特点,在军事、工业及农业等领域有巨大的应用价值和前景。基于此,系统性地阐述微系统的... 微系统将信息的获取、处理、分析及执行融为一体,整合了传统电子信息系统的各个子系统,具有尺寸小、功能丰富且完整、可靠性高、功耗低以及成本低等特点,在军事、工业及农业等领域有巨大的应用价值和前景。基于此,系统性地阐述微系统的概念,总结微系统技术的发展现状及其趋势,并梳理微系统技术的应用领域和方向。 展开更多
关键词 微电子信息系统 MEMS 集成技术
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区域产业优势下高职类微电子技术专业人才需求分析及人才培养模式探究 被引量：7
7
作者 王聪 杨舰 +1 位作者 李坤 彭强 《兰州文理学院学报（自然科学版）》 2016年第4期101-106,共6页
珠三角区域是我国四大微电子产业基地,其中液晶平板显示产业和半导体照明LED产业优势尤为突出.分析了汕尾区域乃至珠三角区域半导体产业特点,基于本地区液晶平板显示和半导体照明LED产业优势明显,提出高职类微电子技术专业人才培养思路... 珠三角区域是我国四大微电子产业基地,其中液晶平板显示产业和半导体照明LED产业优势尤为突出.分析了汕尾区域乃至珠三角区域半导体产业特点,基于本地区液晶平板显示和半导体照明LED产业优势明显,提出高职类微电子技术专业人才培养思路,紧密围绕本区域微电子产业的人才需求状况,以服务为宗旨,根据岗位职业能力构建专业课程体系,加强校内外实训基地建设及师资队伍建设,探讨高职类微电子技术专业"校企合作、工学结合、订单式培养"的人才培养模式. 展开更多
关键词 高职院校 微电子技术 教学改革 人才培养模式 校企合作
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微电子技术实验教学平台的构建 被引量：7
8
作者 袁颖 董利民 张万荣 《电气电子教学学报》 2009年第S1期115-117,共3页
通过对以集成电路为核心的微电子技术人才培养的分析和研究,提出了微电子技术实验教学平台的建设规划和内容。针对微电子学专业的特点,微电子技术实验教学平台应包括三个方面:专业基础实验室、半导体工艺实习基地和集成电路设计实践教... 通过对以集成电路为核心的微电子技术人才培养的分析和研究,提出了微电子技术实验教学平台的建设规划和内容。针对微电子学专业的特点,微电子技术实验教学平台应包括三个方面:专业基础实验室、半导体工艺实习基地和集成电路设计实践教学平台。通过微电子技术实验教学平台的建设,将可以形成完善的北京工业大学微电子技术实验教学体系。 展开更多
关键词 集成电路 微电子技术 实验教学平台
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微电子技术专业教学计划改革初探 被引量：7
9
作者 李斌 《电气电子教学学报》 2007年第S1期55-56,66,共3页
顺应学科发展需要,讨论了微电子技术本科专业的课程设置和教学改革的必要性。分析了当前微电子技术专业教学计划存在的问题,提出了面向21世纪的微电子技术专业课程体系改革。
关键词 教学计划 课程体系 微电子技术
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微电子封装产业的发展现状以及趋势分析
10
作者 张凤 《集成电路应用》 2024年第5期46-47,共2页
阐述微电子封装产业中传统封装和先进技术的发展现状和技术对比,探讨封装产业发展在供应链和产业结构中的问题,提出微电子封装产业发展的对策建议,包括促进核心技术发展、加强人才培养。
关键词 微电子封装 技术对比 产业结构 供应链
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压电驱动喷射点胶阀系统性能的仿真与实验 被引量：1
11
作者 邓珺珺 邓圭玲 +2 位作者 彭雯 周灿 李广 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第1期46-49,54,共5页
压电喷射阀因其高频、胶滴均匀以及可实现纳升量级的微量胶滴喷射,而被广泛应用于微电子封装。建立了压电喷射阀的机械系统动力学自动分析(ADAMS)仿真模型,基于模型定义流体动力学模型中喷针的运动,实验验证了仿真模型的合理性。通过实... 压电喷射阀因其高频、胶滴均匀以及可实现纳升量级的微量胶滴喷射,而被广泛应用于微电子封装。建立了压电喷射阀的机械系统动力学自动分析(ADAMS)仿真模型,基于模型定义流体动力学模型中喷针的运动,实验验证了仿真模型的合理性。通过实验和仿真,研究了喷射阀的动态性能和胶滴喷射的动态过程,分析了胶液填充速度对胶滴体积的影响规律。实验探究了不同行程下喷射阀的喷射性能,胶滴体积的一致性误差不超过±6%,绝对误差随行程增大而增大,当行程为0.06 mm时,相对误差不超过±3%。 展开更多
关键词 微电子封装 点胶技术 压电驱动 机械系统动力学自动分析 流体仿真
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“微电子工艺技术”教学改革创新与实践 被引量：5
12
作者 谢生 兰馗博 +2 位作者 徐江涛 刘强 韩旭 《电气电子教学学报》 2021年第6期27-30,51,共5页
以“立德树人”和“新工科”理念为指导,树立以学生为中心,优化课程知识体系结构,将虚拟仿真、项目式教学和校企协作育人等教学模式有机融入课程体系建设,构建链条式的课程知识地图和由价值观塑造、知识传授和能力培养组成的闭合回路,... 以“立德树人”和“新工科”理念为指导,树立以学生为中心,优化课程知识体系结构,将虚拟仿真、项目式教学和校企协作育人等教学模式有机融入课程体系建设,构建链条式的课程知识地图和由价值观塑造、知识传授和能力培养组成的闭合回路,打破了传统观念束缚和时空限制,推进现代信息技术和产业与微电子工艺教学的深度融合,提升学生知识应用和工程实践能力,培养专业责任感和家国情怀。 展开更多
关键词 课程改革 新工科 课程思政 微电子工艺技术
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相变存储器多态存储方法 被引量：4
13
作者 刘欣 周鹏 +6 位作者 林殷茵 汤庭鳌 赖云峰 乔保卫 冯洁 蔡炳初 BOMY CHEN 《复旦学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期95-100,共6页
提出两种实现相变存储器多值存储的方法.这两种方法基于新的机理,即通过存储单元结构或相变材料的改进来得到在传统"高阻态"和"低阻态"两态之间稳定的中间电阻状态.与传统实现相变多态存储的方法相比,利用这两种方... 提出两种实现相变存储器多值存储的方法.这两种方法基于新的机理,即通过存储单元结构或相变材料的改进来得到在传统"高阻态"和"低阻态"两态之间稳定的中间电阻状态.与传统实现相变多态存储的方法相比,利用这两种方法实现的多值相变存储,可以有效地提高多态存储的可靠性和抗噪声性能,有利于在提高存储密度的同时简化外围电路的设计,在实际应用中有良好的前景. 展开更多
关键词 微电子技术 相变存储器 多值存储 多值存储单元
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21世纪微电子技术的发展趋势与展望 被引量：2
14
作者 李双美 朱晓萍 高宏 《沈阳工程学院学报（自然科学版）》 2002年第3期27-29,共3页
对21世纪微电子技术的发展趋势做了分析与展望,认为以硅为基础的微电子产业在本世纪仍将保持高速发展的趋势,21世纪将是我国微电子产业的黄金时代。
关键词 微电子技术 集成电路 发展趋势
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基因芯片中点阵的微电子加工技术 被引量：3
15
作者 余志文 于军 +1 位作者 徐静平 周文利 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期100-102,共3页
基因芯片是运用微电子加工技术以及基因分子的自组装技术在微小芯片上组装成千上万个不同的 DNA微阵列 ,实现以基因为主的生命信息的大规模检测。文章利用氧化、光刻、蒸发、溅射等一系列集成电路工艺技术 ,研究了适于电化学检测的基因... 基因芯片是运用微电子加工技术以及基因分子的自组装技术在微小芯片上组装成千上万个不同的 DNA微阵列 ,实现以基因为主的生命信息的大规模检测。文章利用氧化、光刻、蒸发、溅射等一系列集成电路工艺技术 ,研究了适于电化学检测的基因芯片微阵列的制备 。 展开更多
关键词 基因芯片 DNA微阵列 微电子工艺 点阵 微流路
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微电子技术的进展与挑战 被引量：2
16
作者 林鸿溢 李映雪 《世界科技研究与发展》 CSCD 1999年第4期31-38,共8页
微电子技术自巴丁、布拉顿和肖克莱发明晶体管至今，经历了半个世纪的发展，已经取得巨大进步，成为人类社会众多领域的关键技术，从而有力地推动。
关键词 微电子技术 集成电路 纳米电子学 微机电系统 单芯片系统 研究方向
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平面弹簧预紧喷射阀系统刚柔耦合仿真与实验
17
作者 李广 邓圭玲 +2 位作者 张宇驰 周灿 邓珺珺 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第2期9-12,共4页
为了适应行业需求,提出了一种平面弹簧预紧的压电驱动喷射点胶阀,用于高速和微量点胶。平面弹簧预紧的设计使喷射点胶阀的结构更加紧凑,占用空间更小,维修与更换更加便捷。利用ADAMS建立了压电喷射阀的刚柔耦合动力学仿真模型;然后通过... 为了适应行业需求,提出了一种平面弹簧预紧的压电驱动喷射点胶阀,用于高速和微量点胶。平面弹簧预紧的设计使喷射点胶阀的结构更加紧凑,占用空间更小,维修与更换更加便捷。利用ADAMS建立了压电喷射阀的刚柔耦合动力学仿真模型;然后通过搭建的实验系统获得了实验结果,在0.09 mm的行程下,喷针的速度就可以达到0.32 m/s,实验结果与仿真结果基本一致,证明了所提出模型的可靠性,为含柔性零件压电喷射点胶阀的设计与研究提供了一种方法。实验探究了不同控制参数对压电喷射阀动态性能的影响,并且对压电喷射阀胶滴体积的一致性进行了实验,胶滴的体积误差在±1.5%以内。 展开更多
关键词 微电子封装 点胶技术 压电驱动 ADMAS软件 刚柔耦合
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电子封装结构演变与微连接技术的关系 被引量：4
18
作者 蔡重阳 《电子与封装》 2014年第1期11-14,18,共5页
微连接是电子产品制造中的关键技术之一,它既是实现芯片设计性能的重要途径,又是制约封装结构发展的瓶颈。微连接技术决定了封装结构的可实行性和可靠性,而随着芯片集成度不断增加,封装结构的创新也成为推动微连接技术发展的重要动力。... 微连接是电子产品制造中的关键技术之一,它既是实现芯片设计性能的重要途径,又是制约封装结构发展的瓶颈。微连接技术决定了封装结构的可实行性和可靠性,而随着芯片集成度不断增加,封装结构的创新也成为推动微连接技术发展的重要动力。该文通过对微连接技术及电子封装结构发展历程的研究,探究二者之间的相互关联,并介绍了微连接的几种特点以及几种常见的芯片焊接技术和微电子焊接技术,最后对电子封装结构及微连接技术的未来发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 微电子 封装结构 微连接
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电子科学技术本科专业课程设置改革的依据与实践 被引量：3
19
作者 周金运 胡义华 吴福根 《广东工业大学学报（社会科学版）》 2003年第2期42-44,共3页
论证了光子技术在当代电子科学与技术中的地位和作用 ,阐述了我们在制订电子科学与技术本科专业教学计划时 ,注意强化基础 ,拓宽专业口径 。
关键词 电子科学技术 光子学和光子技术 微电子技术
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微电子技术与21世纪经济 被引量：1
20
作者 朱秉晨 《微处理机》 1999年第4期1-6,共6页
在阐述知识经济将成为 2 1世纪主导经济的基础上 ,以大量数据和实例重点论述了微电子技术将成为 2 1世纪经济的支撑技术。最后提出了发展我国微电子技术、迎接 2
关键词 微电子技术 21世纪 经济 信息技术 知识经济
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