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基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统 被引量：4
1
作者 李志渤 黄强先 +2 位作者 史科迪 韩彬 余惠娟 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期1-6,共6页
微纳米三坐标测量机(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点,针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈,提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量... 微纳米三坐标测量机(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点,针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈,提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量级触发分辨力的新型谐振测头。利用聚偏氟乙烯(Poly vinylidene fluoride,PVDF)薄膜的压电特性和其谐振参数对微小作用力的高敏感性,PVDF薄膜与一体式光纤微测杆测球相结合构建成了基于PVDF薄膜的三维纳米谐振触发测头。该测头在z向以轻敲模式接触,在x、y向以摩擦模式接触。经过试验验证,由该测头与三维纳米定位平台、数据处理及反馈控制系统相结合构建成的三维谐振纳米触发定位系统在x、y、z三个方向的触发分辨力都达到了亚纳米量级,分别为0.12 nm、0.10 nm、0.12 nm;三维重复性误差分别为26 nm、36 nm、10 nm。试验结果证实了新型三维谐振测头及其系统的有效性。 展开更多
关键词 微纳米三坐标测量机 三维纳米测头 聚偏氟乙烯薄膜 三维谐振触发测头 三维谐振触发定位系统
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三坐标测量机接触模型构建及数值算法研究 被引量：2
2
作者 薛秦 朱僖禧 《现代机械》 2021年第3期32-37,共6页
在复杂曲面测量中,接触式坐标测量机有着广泛的应用。针对目前坐标测量机(CMMs)在复杂曲面测量中缺乏一个完整的数学体系,提出了一种新的测头与零件表面接触点的数学模型和数值算法。该算法的基本思想是球面上的点阵列在法向上与标称表... 在复杂曲面测量中,接触式坐标测量机有着广泛的应用。针对目前坐标测量机(CMMs)在复杂曲面测量中缺乏一个完整的数学体系,提出了一种新的测头与零件表面接触点的数学模型和数值算法。该算法的基本思想是球面上的点阵列在法向上与标称表面的距离最小。即使在球面上使用了大量的点,也具有良好的收敛性。实验测量凸轮轮廓以及圆环形标称表面的滚珠轴承内圈,成功地模拟出凸轮轮廓线形状。通过对滚动轴承内圈环面测量算法的验证,表明该算法可以将形状误差降低11.88%。实验成功地测试了球形探针半径补偿形状误差的方法。因此,所建立的数学模型将有助于在CMMs上测量复杂而精密的曲面,具有较强的实用性,将对复杂曲面的测量具有重要的意义。 展开更多
关键词 复杂曲面 测头 微纳米坐标测量机 数学模型 误差
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Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro/Nano Coordinate Measuring Machine 被引量：2
3
作者 李瑞君 范光照 +3 位作者 钱剑钊 黄强先 龚伟 苗晋伟 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第2期125-131,共7页
关键词 微纳米三坐标测量机 扫描探头 稳定性分析 传感哭喊中
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基于三维光电传感器的接触式探头优化设计
4
作者 靳夏文 李瑞君 王鹏宇 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2019年第5期617-620,共4页
文章设计了一种适用于微纳米三坐标测量机(coordinate measuring machine,CMM)的光学接触式探头,介绍了该探头的结构和原理,并建立了探头的灵敏度模型;依据三维方向等刚度和等灵敏度的原则,得出了探头结构的最优参数;对探头刚度进行仿... 文章设计了一种适用于微纳米三坐标测量机(coordinate measuring machine,CMM)的光学接触式探头,介绍了该探头的结构和原理,并建立了探头的灵敏度模型;依据三维方向等刚度和等灵敏度的原则,得出了探头结构的最优参数;对探头刚度进行仿真验证,并对探头在三维方向上的灵敏度和重复性进行了测试。实验结果表明,探头在三维方向灵敏度约为0.26V/μm,灵敏度近似相等且线性度良好,重复性优于14nm。 展开更多
关键词 微纳米三坐标测量机(CMM) 接触式探头 参数优化 灵敏度 刚度 重复性
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