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微机电系统(MEMS)技术及发展趋势 被引量:26
1
作者 王亚珍 朱文坚 《机械设计与研究》 CSCD 2004年第1期10-12,共3页
主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。
关键词 微机电系统 MEMS 微机械加工 微传感器 微执行器 发展趋势
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微型机械电子系统的研究动态
2
作者 龚晓燕 《煤矿机械》 北大核心 2001年第11期1-4,共4页
阐述微型机械电子系统的概念与内涵 ,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势 ,为今后深入研究该领域的课题提供了依据。
关键词 微型机械电子系统 微结构 微细加工 微米技术 纳米技术 尺寸效应
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纳米技术及其在微型机械中的应用 被引量:1
3
作者 钱碧波 潘晓弘 +2 位作者 程耀东 王正肖 刘敏 《机械制造》 北大核心 1997年第11期4-6,共3页
纳米技术及微型机械被认为是21世纪的核心技术。文中介绍了纳米技术及微型机械的基本概念及纳来加工技术、纳米材料技术、纳米摩擦学等纳米技术在微型机械中的应用。
关键词 纳米技术 微型机械 微型机械学 微加工技术
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