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微机电系统(MEMS)技术及发展趋势
被引量:
26
1
作者
王亚珍
朱文坚
《机械设计与研究》
CSCD
2004年第1期10-12,共3页
主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。
关键词
微机电系统
MEMS
微机械加工
微传感器
微执行器
发展趋势
下载PDF
职称材料
微型机械电子系统的研究动态
2
作者
龚晓燕
《煤矿机械》
北大核心
2001年第11期1-4,共4页
阐述微型机械电子系统的概念与内涵 ,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势 ,为今后深入研究该领域的课题提供了依据。
关键词
微型机械电子系统
微结构
微细加工
微米技术
纳米技术
尺寸效应
下载PDF
职称材料
纳米技术及其在微型机械中的应用
被引量:
1
3
作者
钱碧波
潘晓弘
+2 位作者
程耀东
王正肖
刘敏
《机械制造》
北大核心
1997年第11期4-6,共3页
纳米技术及微型机械被认为是21世纪的核心技术。文中介绍了纳米技术及微型机械的基本概念及纳来加工技术、纳米材料技术、纳米摩擦学等纳米技术在微型机械中的应用。
关键词
纳米技术
微型机械
微型机械学
微加工技术
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职称材料
题名
微机电系统(MEMS)技术及发展趋势
被引量:
26
1
作者
王亚珍
朱文坚
机构
华南理工大学机电工程系
出处
《机械设计与研究》
CSCD
2004年第1期10-12,共3页
文摘
主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。
关键词
微机电系统
MEMS
微机械加工
微传感器
微执行器
发展趋势
Keywords
MEMS
micro
-
mechanical
machining
micro
-sensor
micro
-actuator
分类号
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
微型机械电子系统的研究动态
2
作者
龚晓燕
机构
西安科技学院
出处
《煤矿机械》
北大核心
2001年第11期1-4,共4页
文摘
阐述微型机械电子系统的概念与内涵 ,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势 ,为今后深入研究该领域的课题提供了依据。
关键词
微型机械电子系统
微结构
微细加工
微米技术
纳米技术
尺寸效应
Keywords
MEMS(
micro
Electro
mechanical
System)
micro
_nanometer
technology
micro
_structure
micro
mechanical
machining
分类号
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
纳米技术及其在微型机械中的应用
被引量:
1
3
作者
钱碧波
潘晓弘
程耀东
王正肖
刘敏
机构
浙江大学生产工程研究所
出处
《机械制造》
北大核心
1997年第11期4-6,共3页
文摘
纳米技术及微型机械被认为是21世纪的核心技术。文中介绍了纳米技术及微型机械的基本概念及纳来加工技术、纳米材料技术、纳米摩擦学等纳米技术在微型机械中的应用。
关键词
纳米技术
微型机械
微型机械学
微加工技术
Keywords
Nano
Technology
micro
machin
ery
micro
mechan
ics
micro
machining
Technology
分类号
TH-39 [机械工程]
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作者
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1
微机电系统(MEMS)技术及发展趋势
王亚珍
朱文坚
《机械设计与研究》
CSCD
2004
26
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职称材料
2
微型机械电子系统的研究动态
龚晓燕
《煤矿机械》
北大核心
2001
0
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职称材料
3
纳米技术及其在微型机械中的应用
钱碧波
潘晓弘
程耀东
王正肖
刘敏
《机械制造》
北大核心
1997
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