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超精密微机械制造技术研究进展 被引量：36
1
作者 于化东 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2008年第3期1-8,共8页
随着航空航天、国防工业、微电子工业、现代医学以及生物工程技术的发展,对精密三维微小零件(特征尺寸在微米级到毫米级)的需求日益迫切。其结构形状的特异化、零件材料的多样化、尺寸与表面质量的高精度化成为三维微小零件及其微型装... 随着航空航天、国防工业、微电子工业、现代医学以及生物工程技术的发展,对精密三维微小零件(特征尺寸在微米级到毫米级)的需求日益迫切。其结构形状的特异化、零件材料的多样化、尺寸与表面质量的高精度化成为三维微小零件及其微型装置及设备的显著特征,在使用功能、材料特性、结构形状、可靠性等方面的要求也越来越高。本文着重对超精密微机械制造技术的内涵、国内外研究现状和发展动态进行整理和描述,并对超精密微机械制造技术的未来发展趋势进行总结,为我国未来的先进制造技术研究与计划制订提供参考。 展开更多
关键词 超精密加工 微制造 三维微小零件 微机械
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电火花线切割加工技术及其发展动向 被引量：28
2
作者 朱宁 叶军 +2 位作者 韩福柱 顾琳 卢智良 《电加工与模具》 2010年第B04期53-59,63,共8页
阐述了近年来国内外电火花线切割加工技术的发展动向、电火花线切割加工技术的发展趋势以及我国电火花线切割加工领域亟待发展的关键技术。
关键词 电火花线切割加工 脉冲电源 微细加工 高速检测 适应控制
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微细电解加工机理探讨 被引量：15
3
作者 彭思平 徐家文 +1 位作者 李颖 杨倩 《电加工与模具》 2005年第2期26-29,共4页
介绍了微细电解加工技术的原理和特点,通过对其加工工艺的分析,简述了在微细电解加工过程中,影响其加工速度、精度、效率的主要因素,并通过对这些因素的综合分析,总结了制约微细电解加工技术应用的因素和进行微细电解加工应具备的基本... 介绍了微细电解加工技术的原理和特点,通过对其加工工艺的分析,简述了在微细电解加工过程中,影响其加工速度、精度、效率的主要因素,并通过对这些因素的综合分析,总结了制约微细电解加工技术应用的因素和进行微细电解加工应具备的基本条件。最后,针对微细电解加工技术的现状,对其发展提出了新的展望。 展开更多
关键词 电解加工 微细 机理探讨 加工技术 加工工艺 加工过程 加工速度 综合分析 基本条件 技术应用
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微型模具制造技术研究与发展 被引量：19
4
作者 于同敏 宫德海 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期179-183,共5页
介绍了微型制件及微型模具成形特点 ,全面分析了各种微细加工方法的技术特点及其在微型模具制造中的应用状况 ,同时分析了各种微细加工技术的适用范围与发展前景 。
关键词 微型制件 微细加工 LIGA技术 微型模具制造
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紫外激光器及其在激光加工中的应用 被引量：22
5
作者 唐娟 廖健宏 +3 位作者 蒙红云 张庆茂 周永恒 刘颂豪 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2007年第8期52-56,共5页
紫外激光的波长短,能量聚集集中,分辨率高,特别是具有"冷加工"的特性,能直接破坏连接物质的化学键,而不产生对外围的加热,因此成为加工脆弱物质的理想工具,并能对多种材料进行打孔、切割、烧蚀,在微加工领域中具有广泛的应用... 紫外激光的波长短,能量聚集集中,分辨率高,特别是具有"冷加工"的特性,能直接破坏连接物质的化学键,而不产生对外围的加热,因此成为加工脆弱物质的理想工具,并能对多种材料进行打孔、切割、烧蚀,在微加工领域中具有广泛的应用。简要介绍了几种紫外激光器的原理特点及其发展现状,并讨论了它在激光加工中的应用。 展开更多
关键词 紫外激光器 激光加工 微加工
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微磨料水射流技术及其应用 被引量：21
6
作者 雷玉勇 蔡黎明 +1 位作者 邴龙健 唐令波 《西华大学学报（自然科学版）》 CAS 2009年第4期1-6,共6页
介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用。在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上，提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术。对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送... 介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用。在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上，提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术。对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送及质量流量的控制、工作平台的运动精度等关键技术进行了分析讨论。研究表明，为了产生射束直径100μm以下的微磨料水射流，必须采用湿式磨料，同时完全避免空气进入。采用300nm至8μm氧化铝浆液磨料和Ф40—50μm喷嘴，应用运载方法可以产生束径达Ф40-50μm级的微细加工磨料水射流。在同样水压力下，其切割的能量密度是普通磨料水射流的4～5倍。微磨料水射流在半导体材料加工、微型电子机械系统制造以及光学器件生产上具有广阔应用前景。 展开更多
关键词 微磨料水射流 浆液磨料 微细加工 微水射流
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微细特种加工的最新研究进展 被引量：13
7
作者 陈伦军 李刚 赵万生 《电加工与模具》 2006年第3期24-28,共5页
综述了国内外微细特种加工研究的最新进展,介绍了微细特种加工领域出现的新技术、新方法。指出了微细特种加工在微细加工中的优势,展望了微细特种加工的发展方向及其在微小零件制造中的应用前景。
关键词 微细加工 微细特种加工 微小零件
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微机械(MEMS)与微细加工技术 被引量：7
8
作者 段润保 赵砚江 毛言理 《河北理工学院学报》 2004年第2期34-40,共7页
首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平。指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机... 首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平。指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势。 展开更多
关键词 微机械 微细加工 MEMS 超精密机械加工 电子柬刻蚀 微细电火花加工 微细超声加工
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微机电系统(MEMS)研究现状及展望 被引量：9
9
作者 张贵钦 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2002年第7期1-3,共3页
主要综述了微机电系统 (MEMS)领域所涉及的微材料、微机械学、微细加工技术、微元器件、封装等基础理论和关键技术的研究现状 ,分析了存在问题 ,指出了今后的研究重点 ,并对其未来发展作了展望 ,提出了相应的发展策略。
关键词 微机电系统 研究现状 微机械学 微细加工 封装
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同步超声振动调制微细放电-电解加工技术 被引量：17
10
作者 朱永伟 邵健 +1 位作者 苏楠 云乃彰 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期185-192,共8页
对超声频振动与微细电加工电源的'开、断'方式进行分析、探讨,研制脉冲电源斩波器,用激光传感器实时测量超声振动,可得斩波脉冲,能对电源进行有序'开、断'控制,实现超声振动与电源'开、断'实时同步;完善同步超... 对超声频振动与微细电加工电源的'开、断'方式进行分析、探讨,研制脉冲电源斩波器,用激光传感器实时测量超声振动,可得斩波脉冲,能对电源进行有序'开、断'控制,实现超声振动与电源'开、断'实时同步;完善同步超声复合微细电加工系统;采用幅值6 V以下脉冲电压、低电导率电解液,进行同步超声振动微细电加工机理及试验研究,通过对超声、超声脉冲电解及同步超声脉冲电解加工结果的对比分析,验证同步超声电解加工方式技术优势;采用复合乙醇工作液、微细半导体混粉,可实现超声调制放电-电解复合微细加工,在保证加工精度、表面质量同时,提高加工过程稳定性与加工效率。 展开更多
关键词 超声振动 同频同步 斩波器 电解-放电 微细加工
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飞秒超短脉冲激光加热金属平面靶 被引量：10
11
作者 刘智 李儒新 +2 位作者 余玮 张正泉 徐至展 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第10期1297-1304,共8页
从能流分析出发 ,对飞秒超短脉冲激光与金属平面靶相互作用的机制进行了理论研究 ,对其中主要物理过程的能流损耗作了详尽的分析 ,并根据一维、双温热扩散模型推导了自由电子温度随时间变化的函数关系。并从理论上推导了超短脉冲近似假... 从能流分析出发 ,对飞秒超短脉冲激光与金属平面靶相互作用的机制进行了理论研究 ,对其中主要物理过程的能流损耗作了详尽的分析 ,并根据一维、双温热扩散模型推导了自由电子温度随时间变化的函数关系。并从理论上推导了超短脉冲近似假设成立的脉宽范围和在此条件下自由电子所能达到的最高温度表达式。 展开更多
关键词 飞秒超短脉冲激光 激光微加工 金属平面靶
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微机械制造技术发展及其应用现状 被引量：9
12
作者 袁义坤 赵增辉 +1 位作者 王育平 郭钦贤 《煤矿机械》 北大核心 2006年第9期9-11,共3页
介绍微机械制造技术的特点及目前微机械加工的主要技术,阐述了微机械制造出现的新技术及其发展趋势,并对微机械加工中的关键技术进行了总结,指出其不同于传统机械加工技术的一些新特点。
关键词 微机械 LIGA技术 微机械制造技术
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硅基微机械加工技术 被引量：5
13
作者 袁明权 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第8期6-10,共5页
阐明了微机电系统（ＭＥＭＳ）的学科内涵，概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点，运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了讨论。
关键词 硅基 微机电系统 微机械加工技术 陀螺仪
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基于ANSYS的气中微细电火花沉积工艺参数的研究 被引量：7
14
作者 尚歌 金柏冬 +1 位作者 崔景芝 王振龙 《电加工与模具》 2007年第3期20-23,共4页
通过选取合适的热源模型、热边界条件和放电通道半径等,建立了气中微细电火花沉积加工的热传导模型。利用ANSYS有限元分析系统,对单脉冲条件下的工具电极和工件的温度场进行数值模拟,并预测了其工艺参数。通过试验验证了该方法对预测气... 通过选取合适的热源模型、热边界条件和放电通道半径等,建立了气中微细电火花沉积加工的热传导模型。利用ANSYS有限元分析系统,对单脉冲条件下的工具电极和工件的温度场进行数值模拟,并预测了其工艺参数。通过试验验证了该方法对预测气中微细电火花沉积工艺参数的适用性。 展开更多
关键词 微细加工 电火花沉积 温度场 工艺参数
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增强现实近眼显示设备中光波导元件的研究进展 被引量：12
15
作者 姜玉婷 张毅 +3 位作者 胡跃强 郭晓明 宋强 段辉高 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期28-44,共17页
增强现实技术是一种将虚拟环境信息叠加在真实世界中并加以有效利用的一种新型显示技术,在教育、医疗、旅游、汽车、建筑等领域有广阔的应用前景。增强现实近眼显示设备是增强现实技术的重要组成部分,而光波导是实现增强现实近眼显示设... 增强现实技术是一种将虚拟环境信息叠加在真实世界中并加以有效利用的一种新型显示技术,在教育、医疗、旅游、汽车、建筑等领域有广阔的应用前景。增强现实近眼显示设备是增强现实技术的重要组成部分,而光波导是实现增强现实近眼显示设备高性能与微型化等特性的核心光学元件。光波导主要分为几何光波导和衍射光波导,几何光波导原理简单,其制备技术较为完善并且可以实现量产,但视场角与出瞳范围较小、制备工艺复杂;衍射光波导则具有极高的设计自由度及优良的性能,但成像时存在的彩虹效应与色散等问题仍待解决。本文综述了不同类型光波导的设计和制备技术,分析了几何光波导和衍射光波导在原理、结构参数、性能评价和制备流程等方面的表现,最后总结了目前增强现实近眼显示技术所面临的挑战,并对未来的发展前景进行展望。 展开更多
关键词 增强现实 几何光波导 衍射光波导 制备技术 微纳加工 纳米压印
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超声振动辅助微细铣削加工尺寸精度实验 被引量：11
16
作者 沈学会 张建华 +1 位作者 邢栋梁 董春杰 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期229-233,共5页
实验研究了利用进给方向超声振动辅助微细铣削对零件加工尺寸精度的影响。以2A12为实验工件材料,利用一个超声振子带动工件沿进给方向振动进行铣槽实验,加工后对槽宽进行了精确测量。通过单因素实验分析了施加超声振动前后加工槽宽的变... 实验研究了利用进给方向超声振动辅助微细铣削对零件加工尺寸精度的影响。以2A12为实验工件材料,利用一个超声振子带动工件沿进给方向振动进行铣槽实验,加工后对槽宽进行了精确测量。通过单因素实验分析了施加超声振动前后加工槽宽的变化,结果表明超声振动有助于减小加工尺寸偏差,而大的振幅更有利于提高加工尺寸精度;基于日本田口方法,通过全因子实验考察了主轴转速、每齿进给量、振幅对加工尺寸偏差的影响并进行了加工参数优化。 展开更多
关键词 超声振动 微加工 铣削 尺寸精度 田口方法
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超短脉冲激光辐照金属薄膜温升效应的模拟研究 被引量：10
17
作者 郝秋龙 齐文宗 +1 位作者 刘全喜 赵方东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期908-912,共5页
考虑到材料的质量热容、热导率、驰豫时间等热力学参数随温度非线性变化因素的影响,利用具有人工粘性的、自适应时间步长的前向差分算法,数值求解了电子-晶格双温双曲两步热传导模型,讨论了厚度为50 nm的金膜在0.1 ps脉冲激光辐照下的... 考虑到材料的质量热容、热导率、驰豫时间等热力学参数随温度非线性变化因素的影响,利用具有人工粘性的、自适应时间步长的前向差分算法,数值求解了电子-晶格双温双曲两步热传导模型,讨论了厚度为50 nm的金膜在0.1 ps脉冲激光辐照下的温升规律。数值结果表明:薄膜前表面自由电子的温度在大约0.27 ps时达到最大值,不同厚度上自由电子达到温度平衡所需的时间大约为1.6 ps,而薄膜温度在整个厚度上达到平衡所需时间为60 ps左右。由电子温度及其温度梯度引起的热电子崩力很可能是造成材料破坏的一个主要因素。 展开更多
关键词 超短脉冲激光 金属薄膜 非傅里叶导热 人工粘性 微加工 自适应步长
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微电子机械系统技术及其应用 被引量：3
18
作者 张海涛 张斌 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期28-30,共3页
微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、... 微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向。 展开更多
关键词 微电子机械系统 微机械加工技术 MEMS应用
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激光在电子器件工业中的应用 被引量：3
19
作者 楼祺洪 《电子器件》 CAS 1999年第1期1-4,共4页
激光加工按加工尺度可分为宏观加工，微细加工和光刻，本文重点讨论激光在电子器件工业中微细加工及光刻中的应用。
关键词 激光加工 微细加工 光刻 集成电路 IC芯片
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花岗石构件的应用与设计 被引量：1
20
作者 贾宝贤 胡富强 +2 位作者 张勇 王振龙 赵万生 《机械》 2002年第5期58-61,共4页
精密机械和特种加工机械的部分构件需要特殊的物理化学特性 ,花岗石是制造这些构件的理想材料。本文详细介绍了花岗石的物理和化学特性以及用它作为机械构件的主要特点 ,列举了花岗石在机械设备及仪器中的应用情况 ,阐述了花岗石构件设... 精密机械和特种加工机械的部分构件需要特殊的物理化学特性 ,花岗石是制造这些构件的理想材料。本文详细介绍了花岗石的物理和化学特性以及用它作为机械构件的主要特点 ,列举了花岗石在机械设备及仪器中的应用情况 ,阐述了花岗石构件设计时的注意事项 。 展开更多
关键词 花岗石构件 精密机械 特种加工 微细加工 设计
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