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行间转移面阵CCD的TDI工作方式研究 被引量:15
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作者 周怀得 刘海英 +3 位作者 徐东 李广泽 王冶 刘金国 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1629-1634,共6页
具有微透镜的行间转移面阵CCD在空间辐照环境下,微透镜材料容易模糊,导致不能正常成像;而如果不使用微透镜,则会由于行间转移CCD的填充因子和量子效率低,曝光量不足,影响图像质量和信噪比,亦不能满足使用要求。本文提出采用时间延迟积分... 具有微透镜的行间转移面阵CCD在空间辐照环境下,微透镜材料容易模糊,导致不能正常成像;而如果不使用微透镜,则会由于行间转移CCD的填充因子和量子效率低,曝光量不足,影响图像质量和信噪比,亦不能满足使用要求。本文提出采用时间延迟积分(TDI)工作方式来解决这一问题。使用现场可编程逻辑器件(FPGA),在实现行间转移面阵CCD KAI0340-S正常工作的基础上,根据TDI CCD的工作原理,实现了CCD KAI0340-S的TDI工作方式。同时,采用RS485总线,实现了计算机和FPGA之间的通信和数据交换,完成了面阵CCD TDI积分级数、行TDI积分时间、以及集成视频信号处理器增益和偏置参数的任意设置。实验结果表明,在没有微透镜下正常成像时,图像质量很差,其信噪比仅为22.13 dB(TDI级数为1);通过设置合适的TDI积分级数后,图像质量有很大的提高,信噪比超过33.62 dB(TDI级数为4)。行间转移面阵CCD的TDI工作方式,可以改善和提高在空间辐照环境下没有微透镜时的图像质量,解决了借助微透镜可提高其量子效率,但微透镜在空间辐照环境下时间较长又容易模糊的矛盾。 展开更多
关键词 行间转移 面阵CCD 微透镜 时间延迟积分 量子效率 现场可编程逻辑器件
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微透镜列阵浮雕深度控制的新方法 被引量:7
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作者 董小春 杜春雷 +2 位作者 潘丽 王永茹 刘强 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期1-3,共3页
在对材料光刻阈值特性进行研究的基础上,提出了一种可有效克服材料非线性特性影响,提高微透镜浮雕深度的新方法——基底曝光法。在曝光之前,对抗蚀剂整体施加一定量的曝光,提升抗蚀剂刻蚀基面。该方法可制作出面形均方根误差小于3%的微... 在对材料光刻阈值特性进行研究的基础上,提出了一种可有效克服材料非线性特性影响,提高微透镜浮雕深度的新方法——基底曝光法。在曝光之前,对抗蚀剂整体施加一定量的曝光,提升抗蚀剂刻蚀基面。该方法可制作出面形均方根误差小于3%的微透镜阵列。 展开更多
关键词 微透镜 浮雕深度 光刻 曝光阈值 微光学元件
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Recent advancements in optical microstructure fabrication through glass molding process 被引量:6
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作者 Tianfeng ZHOU Xiaohua LIU +3 位作者 Zhiqiang LIANG Yang LIU Jiaqing XIE Xibin WANG 《Frontiers of Mechanical Engineering》 SCIE CSCD 2017年第1期46-65,共20页
Optical microstructures are increasingly applied in several fields, such as optical systems, precision measurement, and microfluid chips. Microstructures include microgrooves, microprisms, and microlenses. This paper ... Optical microstructures are increasingly applied in several fields, such as optical systems, precision measurement, and microfluid chips. Microstructures include microgrooves, microprisms, and microlenses. This paper presents an overview of optical microstructure fabrication through glass molding and highlights the applications of optical microstructures in mold fabrication and glass molding. The glass-mold interface friction and adhesion are also discussed. Moreover, the latest advance- ments in glass molding technologies are detailed, including new mold materials and their fabrication methods, viscoelastic constitutive modeling of glass, and micro- structure molding process, as well as ultrasonic vibration- assisted molding technology. 展开更多
关键词 optical microstructure microgroove micro-lens glass molding process single-point diamond cutting
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双重响应柔性微结构阵列的飞秒激光增材制造(特邀)
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作者 文天豪 张永来 +1 位作者 万嘉怡 韩冬冬 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第1期287-293,共7页
具有刺激响应形变功能的微结构能够通过外界刺激信号获取能量,进而发生机械形变,在自动化技术、微小机器人技术、微流控芯片等领域具有巨大的前沿应用潜力。然而,现有的智能微结构的研制很大程度上依赖于智能材料及其成型技术,不仅受限... 具有刺激响应形变功能的微结构能够通过外界刺激信号获取能量,进而发生机械形变,在自动化技术、微小机器人技术、微流控芯片等领域具有巨大的前沿应用潜力。然而,现有的智能微结构的研制很大程度上依赖于智能材料及其成型技术,不仅受限于为数不多的材料体系,而且局限在单一的刺激响应形变。基于此,提出利用飞秒激光双光子增材制造技术在形状记忆薄膜上加工蛋白质微结构阵列的新方法,实现了微结构阵列尺寸和周期的双重响应形变。微结构阵列在热处理下被机械拉伸定性,实现了结构周期的调控,该过程可在热刺激下恢复;同时,牛血清白蛋白微结构可以在不同pH值的条件下表现为可逆的溶胀和收缩形变。智能材料与形状记忆基底相结合可以赋予微结构阵列更加复杂可控的双重响应形变。本文制备了微结构阵列和微透镜阵列,展示了双重响应下的结构变化和功能调谐,为智能化微结构阵列在微流控系统中的应用作出了有益的探索。 展开更多
关键词 飞秒激光直写 微透镜 蛋白质 微纳加工
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计量量子化、数字化变革下的国内外计量技术发展趋势 被引量:2
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作者 杜晓爽 胡毅飞 +8 位作者 冯英强 谌贝 曾吾 费丰 李玮 屠治国 杨晓伟 翟玉卫 郝新友 《宇航计测技术》 CSCD 2023年第5期11-22,共12页
美欧发达国家高度重视计量技术发展,将量子、数智等前瞻性、基础性计量技术纳入国家发展战略,抢占科技制高点。近年来,中国在原子频标、冷原子重力计等计量领域取得了突破,已进入国际计量先进国家行列。随着国际计量的量子化、数字化变... 美欧发达国家高度重视计量技术发展,将量子、数智等前瞻性、基础性计量技术纳入国家发展战略,抢占科技制高点。近年来,中国在原子频标、冷原子重力计等计量领域取得了突破,已进入国际计量先进国家行列。随着国际计量的量子化、数字化变革,计量不断加速向量子化演进、量传方式逐渐向数智化转型、计量保障技术更加向实战化发展趋势凸显。通过搜集、整理国内外大量计量量子化、数智化和实战化等相关技术文献资料,归纳并分析了计量技术发展趋势,可为计量测试技术发展提供借鉴。 展开更多
关键词 计量 量子化 原子频标 金属磁量热计 重力梯度仪 微透镜 金刚石氮-空位色心 冷原子真空标准 量子电流 量子电功率 太赫兹辐射源 自由空间光通信 约翰逊噪声测温 辐射热点成像 人工智能 红外辐射
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高精细度微透镜光纤法布里-珀罗干涉仪 被引量:6
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作者 唐才杰 江毅 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期1062-1065,共4页
通过在镀膜单模光纤端面制作微透镜,构造了微透镜光纤法布里-珀罗干涉仪。利用ABCD矩阵方法分析了微透镜法布里-珀罗腔的模场。由于微透镜的会聚作用,法布里-珀罗腔模场可以和单模光纤模场良好的匹配,从而达到高精细度和低插入损耗。实... 通过在镀膜单模光纤端面制作微透镜,构造了微透镜光纤法布里-珀罗干涉仪。利用ABCD矩阵方法分析了微透镜法布里-珀罗腔的模场。由于微透镜的会聚作用,法布里-珀罗腔模场可以和单模光纤模场良好的匹配,从而达到高精细度和低插入损耗。实验制作的微透镜光纤法布里-珀罗干涉仪。自由光谱区范围32.28 nm,精细度为78,峰值透射比为73%;在法布里-珀罗腔的光学腔长增加到100 μm的情况下,峰值透射比仍然大于50%。该微透镜光纤法布里-珀罗干涉仪制作容易、对设备要求低,可以封装成光纤法布里-珀罗滤波器和传感器,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 光纤光学 光纤传感器 光纤法布里-珀罗干涉仪 微透镜
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High-speed, large-area and high-precision fabrication of aspheric micro-lens array based on 12-bit direct laser writing lithography 被引量:4
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作者 Shiyi Luan Fei Peng +3 位作者 Guoxing Zheng Chengqun Gui Yi Song Sheng Liu 《Light(Advanced Manufacturing)》 2022年第4期50-60,共11页
Aspheric micro-lens array(AMLA),featured with low dispersion and diffraction-limited imaging quality,plays an important role in advanced optical imaging.Ideally,the fabrication of commercially applicable AMLAs should ... Aspheric micro-lens array(AMLA),featured with low dispersion and diffraction-limited imaging quality,plays an important role in advanced optical imaging.Ideally,the fabrication of commercially applicable AMLAs should feature low cost,high precision,large area and high speed.However,these criteria have been achieved only partially with conventional fabrication process.Herein,we demonstrate the fabrication and characterization of AMLAs based on 12-bit direct laser writing lithography,which exhibits a high fabrication speed,large area,perfect lens shape control via a three-dimensional optical proximity correction and average surface roughness lower than 6 nm.In particular,the AMLAs can be flexibly designed with customized filling factor and arbitrary off-axis operation for each single micro-lens,and the proposed pattern transfer approach with polydimethylsiloxane(PDMS)suggests a low-cost way for mass manufacturing.An auto-stereoscopic-display flexible thin film with excellent display effect has been prepared by using above technology,which exhibits a new way to provide flexible auto-stereoscopic-display at low cost.In brief,the demonstrated fabrication of AMLAs based on direct laser writing lithography reduce the complexity of AMLA fabrication while significantly increasing their performance,suggesting a new route for high-quality three-dimentional optical manufacturing towards simplified fabrication process,high precision and large scale. 展开更多
关键词 Aspheric micro-lens array Large-area fabrication Sub 6 nm roughness 12-bit direct laser writing lithography
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液晶微透镜技术研究新进展 被引量:5
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作者 郑继红 王雅楠 《光学仪器》 2014年第2期182-188,共7页
液晶微透镜是一种利用电光效应来改变透镜折射率空间分布和微电子技术工艺制作的新型微透镜,是结合了微透镜技术和液晶良好电控特性的新型光学微纳器件。液晶微透镜具有尺寸微小,焦距可调等优点,在微光学系统和微光机电系统中具有广阔... 液晶微透镜是一种利用电光效应来改变透镜折射率空间分布和微电子技术工艺制作的新型微透镜,是结合了微透镜技术和液晶良好电控特性的新型光学微纳器件。液晶微透镜具有尺寸微小,焦距可调等优点,在微光学系统和微光机电系统中具有广阔的应用前景。简要概述了液晶微透镜的基本原理和几种典型液晶微透镜类型,包括液晶(LC)和聚合物分散液晶(PDLC)透镜的发展,阐述了液晶微透镜的研究现状以及研究发展趋势。 展开更多
关键词 光学器件 微透镜 液晶 聚合物分散液晶
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Atomically thin optical lenses and gratings 被引量:5
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作者 Jiong Yang Zhu Wang +8 位作者 Fan Wang Renjing Xu Jin Tao Shuang Zhang Qinghua Qin Barry Luther-Davies Chennupati Jagadish Zongfu Yu Yuerui Lu 《Light(Science & Applications)》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第1期562-569,共8页
Two-dimensional(2D)materials have emerged as promising candidates for miniaturized optoelectronic devices due to their strong inelastic interactions with light.On the other hand,a miniaturized optical system also requ... Two-dimensional(2D)materials have emerged as promising candidates for miniaturized optoelectronic devices due to their strong inelastic interactions with light.On the other hand,a miniaturized optical system also requires strong elastic light–matter interactions to control the flow of light.Here we report that a single-layer molybdenum disulfide(MoS2)has a giant optical path length(OPL),around one order of magnitude larger than that from a single-layer of graphene.Using such giant OPL to engineer the phase front of optical beams we have demonstrated,to the best of our knowledge,the world’s thinnest optical lens consisting of a few layers of MoS2 less than 6.3 nm thick.By taking advantage of the giant elastic scattering efficiency in ultra-thin high-index 2D materials,we also demonstrated high-efficiency gratings based on a single-or few-layers of MoS2.The capability of manipulating the flow of light in 2D materials opens an exciting avenue towards unprecedented miniaturization of optical components and the integration of advanced optical functionalities.More importantly,the unique and large tunability of the refractive index by electric field in layered MoS2 will enable various applications in electrically tunable atomically thin optical components,such as micro-lenses with electrically tunable focal lengths,electrical tunable phase shifters with ultra-high accuracy,which cannot be realized by conventional bulk solids. 展开更多
关键词 atomically thin GRATING micro-lens MOS2 TWO-DIMENSIONAL
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基于移动掩模曝光的聚酰亚胺连续微结构刻蚀工艺研究 被引量:4
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作者 谢玉萍 吴鹏 +3 位作者 杨正 尹韶云 杜春雷 董连和 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期44-48,共5页
为实现在聚酰亚胺薄膜上制备连续面形的微透镜结构,开发了一种薄膜光刻刻蚀的工艺方法.首先利用移动掩模曝光得到连续面形的光刻胶微浮雕结构,再通过反应离子刻蚀技术将微结构高保真度、低粗糙度地转移到PI薄膜上.为解决刻蚀过程中最关... 为实现在聚酰亚胺薄膜上制备连续面形的微透镜结构,开发了一种薄膜光刻刻蚀的工艺方法.首先利用移动掩模曝光得到连续面形的光刻胶微浮雕结构,再通过反应离子刻蚀技术将微结构高保真度、低粗糙度地转移到PI薄膜上.为解决刻蚀过程中最关键的等比刻蚀问题,分别研究了刻蚀气体组分的优选、气体组分配比和气体流量的优化等对等比刻蚀的影响.实验结果表明:在一定的刻蚀条件(如射频功率、腔室压强和自偏压)下,O2+SF6的混合工作气体中,O2为一定值,随着SF6占的比例增加至13.04%,总流量为46sccm的优化值时,实现了刻蚀速率和刻蚀比分别为136nm/min和1∶1.02,刻蚀误差仅为2.3%的较好各向异性刻蚀.通过实验室搭建的焦距测试系统,证明了该方法在PI薄膜上制备的微透镜阵列与石英上具有相同的光学特性. 展开更多
关键词 微透镜 移动掩膜曝光 反应离子刻蚀 等比刻蚀 聚酰亚胺 各向异性 光学特性
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基于PDMS薄膜的微透镜制作方法 被引量:4
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作者 洪水金 常洪龙 +1 位作者 寻文鹏 冯建国 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第4期257-261,共5页
提出了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜的软模压印制作微透镜的方法。首先,采用具有钝化层的普通硅片作为基底加工出PDMS薄膜;然后,将薄膜粘于刻有对应孔径的硅模板上,薄膜在负压作用下产生凹陷,滴入快速固化的光固化树脂,固化后得到... 提出了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜的软模压印制作微透镜的方法。首先,采用具有钝化层的普通硅片作为基底加工出PDMS薄膜;然后,将薄膜粘于刻有对应孔径的硅模板上,薄膜在负压作用下产生凹陷,滴入快速固化的光固化树脂,固化后得到反向的模具作为制备微透镜结构的母板;最后,通过两次复制模具的方法,在PDMS上得到和母板一致的微透镜。实验测试了微透镜的厚度、焦距和成像效果,结果表明所得微透镜具有良好的表面形貌和聚光效果。这种制作方法可以极大地缩短微透镜的加工时间,并降低成本,为制作微透镜提供了一种简捷的方法。 展开更多
关键词 PDMS薄膜 聚合物 微透镜 软模压印 负压
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高光束质量大功率垂直腔面发射激光 被引量:4
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作者 宁永强 张星 +5 位作者 秦莉 刘云 王伟 张立森 王贞福 王立军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3219-3225,共7页
大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)在激光泵浦、激光测距、激光雷达等领域有广泛的应用前景,但目前的常规激光器材料结构尚未针对大功率激光输出进行优化设计。特别是为获得大功率激光输出所采用的大出光窗口导致的激光光束质量劣化成为... 大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)在激光泵浦、激光测距、激光雷达等领域有广泛的应用前景,但目前的常规激光器材料结构尚未针对大功率激光输出进行优化设计。特别是为获得大功率激光输出所采用的大出光窗口导致的激光光束质量劣化成为限制其应用发展的核心问题之一。针对上述问题对激光器材料结构与器件结构进行了两方面的新结构设计和研制:(1)以实现大功率激光输出为目标,材料结构设计上对出光窗口一侧的N-DBR反射率进行了调整,以具有99.3%反射率的n-DBR替代常规结构中所采用的99.7%以上反射率。与常规材料结构相比,采用优化后的材料结构制备的直径500μm出光孔径的单管器件在注入电流110 A时激光输出功率达到102 W,而单元出光窗口直径100μm的5×5阵列在100 A电流下的激光输出功率为103 W,单元直径为140μm的8×8阵列在130 A注入电流下的激光输出功率达到115 W;(2)针对大出光窗口导致的光束质量劣化,通过湿法化学刻蚀研制了直接集成在出光窗口表面的微透镜结构,单元出光窗口直径为90μm的6×6阵列器件在4 A注入电流下的激光光束发散角压缩到6.6°,与未集成微透镜时的14.8°相比有了大幅改善。实验结果表明:降低n-DBR反射率及集成微透镜结构有效地改善提高了大功率垂直腔面发射激光的输出功率和激光光束质量。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 大功率 高光束质量 微透镜 窄脉冲
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基于光学偏折的微小透镜双曲面同步测量
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作者 阮旸 孔明 +4 位作者 窦进超 禹静 华杭波 王狮凌 刘维 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期135-143,共9页
针对自由曲面微小透镜检测中无法同时高精度检测前后表面的问题,提出一种基于光学偏折的微小透镜前后曲面同步测量方法。该方法基于高精度的透射波前检测系统建立理想光线追迹模型,并在利用光学偏折高精度测得的含有被测微小透镜面形信... 针对自由曲面微小透镜检测中无法同时高精度检测前后表面的问题,提出一种基于光学偏折的微小透镜前后曲面同步测量方法。该方法基于高精度的透射波前检测系统建立理想光线追迹模型,并在利用光学偏折高精度测得的含有被测微小透镜面形信息的透射波前像差基础上,以被测微小透镜的前后两个曲面为优化变量,进行数值迭代优化求解,最终基于优化结果重构出被测微小透镜各表面面形误差。对所提出的面形测量方法进行仿真与实验验证,并通过Zygo干涉仪进行比对实验,结果显示对于口径为6 mm的微小透镜,所提方法的检测结果与比对实验的检测结果高度一致,面形偏差的均方根误差值仅为几十纳米。 展开更多
关键词 测量 透射元件 自由曲面面形检测 光学偏折技术 微小透镜
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基于微透镜阵列生成特定矩形光斑的TIR组合透镜设计与仿真 被引量:3
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作者 刘雁杰 惠彬 +1 位作者 李景镇 丁金妃 《光学仪器》 2015年第6期517-521,共5页
LED功率的不断增大使其逐渐替代传统光源,并广泛用于各种照明光源。在某些室内照明以及道路照明设计中,通常需要借助LED透镜产生矩形光斑从而充分利用光能避免浪费。利用Light Tools软件设计了一种全内反射(total internal reflection,T... LED功率的不断增大使其逐渐替代传统光源,并广泛用于各种照明光源。在某些室内照明以及道路照明设计中,通常需要借助LED透镜产生矩形光斑从而充分利用光能避免浪费。利用Light Tools软件设计了一种全内反射(total internal reflection,TIR)透镜与特定微型透镜阵列的组合透镜,设置TIR准直透镜透射曲面和全反射曲面为二次曲面,并对其进行准直优化。然后建立单个微型透镜,设置单个矩形微透镜长宽比分别为1∶1、3∶2和4∶3,并将其阵列化。通过改变微型透镜的尺寸以及球面曲率半径进行进一步优化,最后生成与微型透镜长宽比对应的均匀矩形光斑,从而满足不同矩形照明区域的照明需求。 展开更多
关键词 照明工程 LED TIR透镜 微型透镜
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Broadband photonic structures for quantum light sources
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作者 Zhe He Jiawei Yang +4 位作者 Lidan Zhou Yan Chen Tianming Zhao Ying Yu Jin Liu 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2019年第7期55-62,共8页
Quantum light sources serve as one of the key elements in quantum photonic technologies. Such sources made from semiconductor material, e.g., quantum dots (QDs), are particularly appealing because of their great poten... Quantum light sources serve as one of the key elements in quantum photonic technologies. Such sources made from semiconductor material, e.g., quantum dots (QDs), are particularly appealing because of their great potential of scalability enabled by the modern planar nanofabrication technologies. So far, non-classic light sources based on semiconductor QDs are currently outperforming their counterparts using nonlinear optical process, for instance, parametric down conversion and four-wave mixing. To fully exploring the potential of semiconductor QDs, it is highly desirable to integrate QDs with a variety of photonic nanostructures for better device performance due to the improved light-matter interaction. Among different designs, the photonic nanostructures exhibiting broad operation spectral range is particularly interesting to overcome the QD spectral inhomogeneity and exciton fine structure splitting for the generations of single-photon and entangled photon pair respectively. In this review, we focus on recent progress on high-performance semiconductor quantum light sources that is achieved by integrating single QDs with a variety of broadband photonic nanostructures i.e. waveguide, lens and low-Q cavity. 展开更多
关键词 PHOTONIC NANOWIRE PHOTONIC crystal waveguide solid IMMERSION lens micro-lens circular BRAGG GRATING
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MAXWELL鱼眼微球透镜准直性能的研究 被引量:1
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作者 杨群 易佑民 +1 位作者 俞强 石市委 《安徽大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第5期32-37,共6页
球对称梯度折射率(Gradientrefractiveindex,GRIN)微球透镜具有体积小、光路短、外形易加工、使用易调整,且无螺旋光线、像差小等优越光学性能[1],在微型光学系统和集成光学中具有诱人的应用前景。本文研究了MAXWELL鱼眼微球透镜对由光... 球对称梯度折射率(Gradientrefractiveindex,GRIN)微球透镜具有体积小、光路短、外形易加工、使用易调整,且无螺旋光线、像差小等优越光学性能[1],在微型光学系统和集成光学中具有诱人的应用前景。本文研究了MAXWELL鱼眼微球透镜对由光纤端部出射的发散光束的会聚作用。计算结果表明,若将该种透镜用于光纤耦合准直器,其准直效果将优于由均匀介质球构成的相应系统。 展开更多
关键词 微透镜 梯度折射率 GRIN MAXWELL 光纤准直器 会聚作用
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干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究 被引量:3
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作者 徐鹏霄 乔辉 +4 位作者 王仍 刘诗嘉 曾巧玉 张可锋 李向阳 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1022-1025,共4页
针对现有微透镜加工方法难以在红外探测器衬底材料CdZnTe上实现大孔径、深浮雕微透镜制备,提出了一种利用ICP-RIE干法刻蚀结合化学湿法腐蚀制备折射微透镜的方法,通过采用多次光刻套刻后分别对CdZnTe材料进行高刻蚀速率、低损伤的ICP-RI... 针对现有微透镜加工方法难以在红外探测器衬底材料CdZnTe上实现大孔径、深浮雕微透镜制备,提出了一种利用ICP-RIE干法刻蚀结合化学湿法腐蚀制备折射微透镜的方法,通过采用多次光刻套刻后分别对CdZnTe材料进行高刻蚀速率、低损伤的ICP-RIE刻蚀,制备出具有深浮雕结构的微透镜雏形,最后采用溴-乙醇溶液腐蚀成形,成功在CdZnTe衬底上制备了深度达60μm的连续深浮雕结构的微透镜线列,并对该微透镜的面形轮廓和光学性能进行了测试分析,在红外探测器的微光学元件领域有着巨大的应用前景。 展开更多
关键词 CDZNTE 红外探测器 深浮雕 微透镜 ICP-RIE
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Spherical Micro-lens Array of PMMA Produced by Micro-molding 被引量:2
18
作者 Jian-hua Zhu Jin-xia Shi +1 位作者 Yuan Wang Ping-sheng He 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第5期443-446,共4页
Micro-lens (ML) and Micro-lens array (MLA) are important optical components widely used in many fields; Soft-lithography, a vital little process technology, has its unique performance to produce ML and MLA; The cy... Micro-lens (ML) and Micro-lens array (MLA) are important optical components widely used in many fields; Soft-lithography, a vital little process technology, has its unique performance to produce ML and MLA; The cylinder and spherical MLA of polymethyl methacrylate (PMMA) were successfully obtained by micromolding inSoft-lithography. Some suitable experimental parameters in the process were discussed, and the imaging property of the MLA was also studied simply. 展开更多
关键词 micro-molding Polymethyl methacrylate (PMMA) micro-lens array
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辊筒模具微透镜阵列的慢刀伺服成形加工 被引量:2
19
作者 乔政 吴言功 +2 位作者 刘玉涛 王波 张鹏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期146-155,共10页
为实现辊筒模具大面积微透镜阵列的高效率与高精度加工,对微透镜阵列成形法的加工轨迹优化和进给轴伺服参数的优化方法进行了理论分析与实验研究。首先,通过分析微透镜阵列的特征轮廓,确定微透镜表面振纹的主要诱因为过渡台阶的突变;其... 为实现辊筒模具大面积微透镜阵列的高效率与高精度加工,对微透镜阵列成形法的加工轨迹优化和进给轴伺服参数的优化方法进行了理论分析与实验研究。首先,通过分析微透镜阵列的特征轮廓,确定微透镜表面振纹的主要诱因为过渡台阶的突变;其次,为使加工轨迹的二阶导数具有连续性,提出采用三次样条插值与傅里叶级数拟合对加工轨迹进行分段优化设计;最后,在优化加工轨迹的基础上,通过调整伺服系统的前馈参数,改善了进给轴的响应能力,减小了因驱动质量和阻尼而产生的跟踪误差。口径为800μm、深度为26.7μm的微透镜阵列的加工实验表明:采用优化的刀具轨迹和伺服参数,微透镜加工效率可以达到8Hz,进给轴跟踪误差小于300nm,并消除了微透镜阵列的表面振纹。微透镜单元口径尺寸精度为设计值的1.075%,随机检测50组,口径尺寸变化范围控制在2μm内,表明微透镜具有良好的尺寸一致性。实验结果表明,加工轨迹的分段设计方法和伺服参数优化可有效抑制进给轴的振动,改善了微透镜阵列表面质量。 展开更多
关键词 微透镜 轨迹优化 慢刀伺服 辊筒模具 超精密加工
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Crosstalk-free integral imaging display based on double plano-convex micro-lens array 被引量:2
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作者 王亚洲 王琼华 +2 位作者 李大海 邓欢 罗成高 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第6期21-24,共4页
A crosstalk-free integral imaging display consisting of a display panel and double piano-convex micro-lens array is proposed. The double piano-convex micro-lens array includes two micro-lens arrays, A and B. Micro-len... A crosstalk-free integral imaging display consisting of a display panel and double piano-convex micro-lens array is proposed. The double piano-convex micro-lens array includes two micro-lens arrays, A and B. Micro-lens array A is used to eliminate crosstalk by completely reflecting crosstalk lights. Micro-lens array B, located near microqens array A, is used to display three-dimensional images. Computer simulations based on ray-tracing are conducted. Crosstalk-free reconstruction images may be clearly observed from the simulation results. 展开更多
关键词 free Crosstalk-free integral imaging display based on double plano-convex micro-lens array
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