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用于微惯性器件的ICP刻蚀工艺技术 被引量：7
1
作者 卓敏 贾世星 +1 位作者 朱健 张龙 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1381-1383,共3页
在微惯性器件加工中,ICP深硅刻蚀技术主要用于梳齿结构的释放.工艺试验中的梳齿结构的最细线条尺寸为2μm,刻蚀深度为40μm,刻蚀的深宽比为20∶1,接近刻蚀设备A601E的加工极限.为了提高刻蚀精度,减小根切和底切效应,本文介绍了一种实现... 在微惯性器件加工中,ICP深硅刻蚀技术主要用于梳齿结构的释放.工艺试验中的梳齿结构的最细线条尺寸为2μm,刻蚀深度为40μm,刻蚀的深宽比为20∶1,接近刻蚀设备A601E的加工极限.为了提高刻蚀精度,减小根切和底切效应,本文介绍了一种实现微结构刻蚀的ICP分步工艺的新方法,采用不同的刻蚀工艺条件,初始阶段减小底切效应,减小线条损失,刻蚀的中间阶段保证刻蚀速度,刻蚀的最终阶段减小侧向刻蚀,提高结构释放的一致性.同时通过在刻蚀结构的背面生长200nm厚Al膜对等离子体的吸附作用减小了根切效应,提高了刻蚀的精度和结构释放的一致性. 展开更多
关键词 微惯性器件 ICP刻蚀 底切 根切 分步工艺
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高性能微惯性器件单片集成技术 被引量：1
2
作者 张照云 施志贵 +1 位作者 张慧 彭勃 《太赫兹科学与电子信息学报》 2014年第4期622-626,共5页
讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特点、工艺流程进行了介绍,最后,给出高性能微惯性器件单片集成技术的未来发展趋势。
关键词 微机电系统 单片集成 微惯性器件 表面微机械加工 体硅微机械加工
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基于二次谐波检测的电容式微惯性器件频率响应测试方法研究 被引量：1
3
作者 肖定邦 侯占强 +2 位作者 谢立强 吴学忠 李圣怡 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期70-74,共5页
针对电容式微惯性器件信号微弱、耦合噪声大的特点,提出了一种基于二次谐波检测的频率响应测试方法,详细介绍了该测试方法的基本原理,设计了基于此方法的频率响应测试系统,分析了测试系统中存在的误差,以本实验室研制的电容式微陀螺为... 针对电容式微惯性器件信号微弱、耦合噪声大的特点,提出了一种基于二次谐波检测的频率响应测试方法,详细介绍了该测试方法的基本原理,设计了基于此方法的频率响应测试系统,分析了测试系统中存在的误差,以本实验室研制的电容式微陀螺为测试对象,对该方法和传统的一次谐波检测方法进行了对比,结果表明,该方法能够有效地减小电路中耦合噪声对测试结果的影响,提高频率响应测试精度。 展开更多
关键词 二次谐波 频率响应 微惯性器件 微机电系统
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一种用于个人导航系统的低精度MEMS器件标定方法 被引量：1
4
作者 梁佩雷 许江宁 程章 《舰船电子工程》 2017年第8期43-47,共5页
针对个人足部导航MEMS器件误差较大,直接影响个人导航精度的问题,论文采用了一种十二位置标定法。首先建立陀螺仪和加速度计的输入输出误差模型,然后给出十二位置标定的位置编排,最后通过三轴转台实验,得出标定结果。结果表明,补偿后的M... 针对个人足部导航MEMS器件误差较大,直接影响个人导航精度的问题,论文采用了一种十二位置标定法。首先建立陀螺仪和加速度计的输入输出误差模型,然后给出十二位置标定的位置编排,最后通过三轴转台实验,得出标定结果。结果表明,补偿后的MEMS器件误差有所减小,为提高个人鞋式导航系统的精度打下了基础。 展开更多
关键词 个人导航 微型惯性器件 标定方法
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平面S型等线宽与渐变线宽微弹簧弹性系数分析 被引量：1
5
作者 程建建 聂伟荣 +2 位作者 周织建 黄庆武 焦仁雷 《机械制造与自动化》 2014年第6期69-71,79,共4页
针对微惯性器件中平面S型等线宽弹簧的弹性系数理论计算公式尚未完善,利用力学能量法,推导出了弹性系数理论公式。在平面S型等线宽弹簧基础上,提出了S型渐变线宽弹簧并推导出了弹性系数理论计算公式。利用ANSYS仿真软件验证公式的正确... 针对微惯性器件中平面S型等线宽弹簧的弹性系数理论计算公式尚未完善,利用力学能量法,推导出了弹性系数理论公式。在平面S型等线宽弹簧基础上,提出了S型渐变线宽弹簧并推导出了弹性系数理论计算公式。利用ANSYS仿真软件验证公式的正确性。分析得到在集中力作用下,弹性系数相对误差小于3%;在惯性力作用下,其平均相对误差小于5%。分析表明,S型渐变线宽弹簧具有变形量与应力分布均匀、抗高过载的特性。研究结果为微惯性器件的优化设计提供了一定的理论参考。 展开更多
关键词 微惯性器件 S型弹簧 渐变线宽 等线宽 弹性系数
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一种双轴姿态稳定平台的设计与实现
6
作者 吕天慧 蔡志娟 +2 位作者 朱红 朱如意 陈灿辉 《计算机测量与控制》 2016年第2期213-215,共3页
机载姿态稳定平台可隔离载体角运动、精确跟踪当地水平面,因此在航空遥感领域中有着广泛的应用前景;通过以微惯性传感器作为主要测量元件,以步进电机作为执行机构,构建了一种双轴姿态稳定平台,进行姿态的闭环控制,克服了传统陀螺稳定平... 机载姿态稳定平台可隔离载体角运动、精确跟踪当地水平面,因此在航空遥感领域中有着广泛的应用前景;通过以微惯性传感器作为主要测量元件,以步进电机作为执行机构,构建了一种双轴姿态稳定平台,进行姿态的闭环控制,克服了传统陀螺稳定平台造价昂贵、设计复杂的特点;试验测试结果表明,该平台可以实现对当地水平面的精确跟踪。 展开更多
关键词 微惯性器件 双轴姿态稳定平台 遥感
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微型惯性测量装置 被引量：11
7
作者 李杰 刘俊 张文栋 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期1450-1451,1462,共3页
在介绍微型惯性测量装置工作原理的基础上,详细阐述了系统件的软硬实现过程,并通过转台试验验证了利用其进行导航计算的正确性和有效性。
关键词 微型惯性 测量装置 转台 导航计算
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平面S型微弹簧多轴向弹性系数分析 被引量：3
8
作者 程建建 聂伟荣 +1 位作者 周织建 黄庆武 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第4期4-6,共3页
针对在集中力作用下S型弹簧弹性系数理论公式不完善以及惯性力环境下弹簧弹性系数理论公式缺乏,推导了弹簧横向、纵向以及垂直方向弹性系数理论公式。利用仿真软件验证理论计算公式的正确性,分析得到在集中力作用下弹簧的弹性系数理论... 针对在集中力作用下S型弹簧弹性系数理论公式不完善以及惯性力环境下弹簧弹性系数理论公式缺乏,推导了弹簧横向、纵向以及垂直方向弹性系数理论公式。利用仿真软件验证理论计算公式的正确性,分析得到在集中力作用下弹簧的弹性系数理论值与仿真值相对误差小于0.3%,惯性力作用下的弹簧弹性系数理论值与仿真值相对误差小于2%。分析表明,弹簧横向弹性系数随着环境力的增大而减小;在纵向惯性力作用下,与锚点相连弹簧U单元弹性系数最小以及最大正应力最大;在垂直方向惯性力作用下,弹簧垂直方向弹性系数随质量块体积增大而减小。 展开更多
关键词 微惯性器件 平面微弹簧 多轴向弹性系数 惯性力 集中力
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导电游丝超声波去装配应力过程的影响因素 被引量：1
9
作者 孙屹博 李芳 +1 位作者 苑宇 王晓东 《中国工程机械学报》 北大核心 2015年第5期436-440,共5页
基于超声时效成形研究了导电游丝在微惯性器件装配过程中的应力去除问题,应用有限元方法研究了导电游丝在超声波加载下的内部应力变化和整体结构的塑性应变状态,分析了超声波的振幅和频率两个因素对成形效率的影响规律,计算结果表明:导... 基于超声时效成形研究了导电游丝在微惯性器件装配过程中的应力去除问题,应用有限元方法研究了导电游丝在超声波加载下的内部应力变化和整体结构的塑性应变状态,分析了超声波的振幅和频率两个因素对成形效率的影响规律,计算结果表明:导电游丝的成形率随超声振幅的提高而增大,但超过一定阈值会引起局部形变过大的问题;超声频率同样对成形率有很大影响,提高频率可弥补低振幅下的能量不足.为导电游丝的超声去应力工艺提供了理论依据和数值参考. 展开更多
关键词 超声时效成形 微惯性器件 导电游丝 装配应力
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基于DSP的微型直升机主动旋翼控制系统硬件设计
10
作者 刘宏 罗华 杨淑凤 《佳木斯大学学报（自然科学版）》 CAS 2012年第2期222-225,共4页
针对共轴双桨直升机主动旋翼控制的工作原理及其硬件设计方案进行了介绍.该系统主要由三轴加速度计ADXL345和三轴陀螺L3G4200D及TMS320F28335 DSP组成捷联惯导系统.并在捷联惯导姿态控制中增加了旋翼受力反馈环路,提高了惯导对外界扰动... 针对共轴双桨直升机主动旋翼控制的工作原理及其硬件设计方案进行了介绍.该系统主要由三轴加速度计ADXL345和三轴陀螺L3G4200D及TMS320F28335 DSP组成捷联惯导系统.并在捷联惯导姿态控制中增加了旋翼受力反馈环路,提高了惯导对外界扰动的响应速度.通过实验验证,该系统对于提高悬停稳定性和高度控制响应速度具有较好的效果. 展开更多
关键词 数字信号处理器 微机械惯性器件 捷联惯导 旋翼控制
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