期刊文献+
共找到451篇文章
< 1 2 23 >
每页显示 20 50 100
微机电系统关键技术及其研究进展 被引量:25
1
作者 张冬至 胡国清 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期513-520,共8页
微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔。该文介绍了微机电系统发展的背景... 微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔。该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化。 展开更多
关键词 微机电系统 微机械加工 微传感器 纳米制造 聚合物微机电系统(MEMS)
下载PDF
数字化火工技术的概念和应用 被引量:13
2
作者 沈瑞琪 叶迎华 戴实之 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期36-38,共3页
介绍了数字化火工技术、微烟火技术的概念及内涵 ,并且介绍了以该概念为基础的微型火箭列阵、微机电技术微型传爆序列和无针注射器的发展。
关键词 微机电系统 微烟火技术 数字化火工技术
下载PDF
基于递推最小二乘与互补滤波的姿态估计 被引量:17
3
作者 陈光武 李少远 +2 位作者 李文元 王迪 张琳婧 《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期1096-1103,共8页
针对基于微机电系统( MEMS)的惯性导航系统中陀螺噪声较大导致姿态漂移的问题,本文基于递推最小二乘(RLS)与互补滤波器提出一种提高姿态估计精度的方法.该方法从陀螺去噪算法和姿态解算原理两个方面提高姿态估计精度:在陀螺去噪方面,为... 针对基于微机电系统( MEMS)的惯性导航系统中陀螺噪声较大导致姿态漂移的问题,本文基于递推最小二乘(RLS)与互补滤波器提出一种提高姿态估计精度的方法.该方法从陀螺去噪算法和姿态解算原理两个方面提高姿态估计精度:在陀螺去噪方面,为克服传统递推最小二乘的不足,提出一种随机加权的递推最小二乘法,利用随机加权实现对偏差的估计;在姿态解算方面,在传统互补滤波器的基础上通过自适应调整比例-积分(PI)参数来调整滤波器的交接频率,最终得到陀螺积分值的高通滤波和加速度计的低通滤波的叠加.转台静态和动态实验结果表明,使用本文所提方法后,有效降低了陀螺噪声,姿态估计精度明显提升. 展开更多
关键词 微机电系统 惯性导航 递推最小二乘法 互补滤波器
下载PDF
MEMS加速度传感器开发及在地球物理勘探中的应用 被引量:12
4
作者 王辉明 宋志翔 马国庆 《勘探地球物理进展》 2005年第3期223-226,共4页
以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标。采用国产MEMS加速度传感器,试验性地将其应用于地球物理勘探。设计和制作了进行室内测试的专用振动台及测试软件,建立了一套测试和分析其性能和各项技... 以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标。采用国产MEMS加速度传感器,试验性地将其应用于地球物理勘探。设计和制作了进行室内测试的专用振动台及测试软件,建立了一套测试和分析其性能和各项技术指标的方法,并在野外与传统检波器进行了实际生产对比试验,结果表明国产MEMS加速度传感器在石油勘探中具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 MEMS 加速度传感器 检波器
下载PDF
二维光栅光调制器阵列的光学分析与实验 被引量:11
5
作者 孙吉勇 黄尚廉 +2 位作者 张洁 张智海 王宁 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1136-1140,共5页
基于标量衍射理论分析了二维光栅光调制器的衍射特性,提出了投影系统的光学处理方法,利用Matlab软件进行了仿真分析。分析结果表明,二维光栅光调制器的衍射光强分布是单个像素衍射光强的干涉叠加,其分布趋势与单个光调制器的衍射光强分... 基于标量衍射理论分析了二维光栅光调制器的衍射特性,提出了投影系统的光学处理方法,利用Matlab软件进行了仿真分析。分析结果表明,二维光栅光调制器的衍射光强分布是单个像素衍射光强的干涉叠加,其分布趋势与单个光调制器的衍射光强分布类似;通过反傅里叶变换可将各个调制器的衍射光重新分开而成像。如果用±1级衍射光的成像,相位为2kπ的调制器在投影面得到一个明亮的像,而相位为(2k-1)π的调制器在投影像面上得到一个黑暗的像。通过一个基于静态微光电系统光栅光调制器的投影光学系统得到了一幅明暗调制的像,证明了光栅光调制器用于投影显示的可行性。 展开更多
关键词 微机电系统 光栅光调制器 衍射 投影显示
原文传递
微机电系统科学与技术发展趋势 被引量:10
6
作者 薛淞元 《数字技术与应用》 2018年第11期211-211,213,共2页
微机电系统是一种将微电子技术与机械工程有机结合在一起的工业技术,其能够在微米范围内实现操作。本文简要介绍了微机电系统内涵及其分类,结合当前最新研究动态,展望了微机电系统科学与技术的未来发展趋势,旨在为相关研究与实践提供参考。
关键词 微机电系统 机电结合 发展趋势
下载PDF
有限元法在谐振式硅微机械加速度计设计中的应用 被引量:3
7
作者 钟莹 李醒飞 张国雄 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期465-467,共3页
谐振式硅微机械加速度计是新型高精度的微机电系统传感器.作者选用双端固定音叉作为谐振器,设计了一种硅微谐振式加速度计.设计中,使用了有限元分析软件进行了大量辅助分析,对传感器的工作情况进行了仿真.通过模拟和计算,预先估算出谐... 谐振式硅微机械加速度计是新型高精度的微机电系统传感器.作者选用双端固定音叉作为谐振器,设计了一种硅微谐振式加速度计.设计中,使用了有限元分析软件进行了大量辅助分析,对传感器的工作情况进行了仿真.通过模拟和计算,预先估算出谐振器固有频率、应力分布情况以及传感器基本性能参数,这对传感器工艺流程设计及结构改进具有重要意义.有限元分析结果显示,传感器的灵敏度大约为2Hz/g. 展开更多
关键词 谐振式硅微机械加速度计 有限元法 设计方法 微机电系统 固有频率 应力分布
下载PDF
微起爆序列设计及传爆与隔爆性能 被引量:6
8
作者 解瑞珍 褚恩义 +5 位作者 戴旭涵 苏谦 薛艳 任小明 刘兰 刘卫 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1178-1184,共7页
为满足引信微小型化发展的需求,基于微机电系统(MEMS)工艺技术设计了由微起爆器、飞片、MEMS安全保险机构等构成的微起爆序列。依照国家军用标准GJB 5309.17—2004(K)火工品试验方法:轴向输出测定铝块凹痕法,对微起爆器装药、安全保险... 为满足引信微小型化发展的需求,基于微机电系统(MEMS)工艺技术设计了由微起爆器、飞片、MEMS安全保险机构等构成的微起爆序列。依照国家军用标准GJB 5309.17—2004(K)火工品试验方法:轴向输出测定铝块凹痕法,对微起爆器装药、安全保险机构传爆空腔等参数不同时内置MEMS安全保险机构起爆序列的传爆性能进行测试,获得微起爆序列理想的设计参数,即微起爆器装药密度为1.67 g/cm3、装药直径为2.0 mm、装药高度为1.5 mm,安全保险机构传爆空腔直径为1.0~2.0 mm、高度为0.65~1.50 mm.在序列优化设计基础上对微起爆序列隔爆性能及解除保险功能进行测试,发现当滑块厚度≮0.3 mm时序列正常隔爆,发射过载21000 g、转速6000 r/min条件下序列正常解除保险。结果表明,利用安全保险机构传爆空腔作为加速膛,采用微起爆器驱动飞片冲击起爆下一级装药的爆轰能量放大方式,实现了序列传爆、隔爆、解除保险功能,有效减少了起爆序列初级装药量和轴向尺寸。 展开更多
关键词 火工品 引信 微起爆序列 微起爆器 微机电系统 安全保险机构 飞片
下载PDF
基于超表面和MEMS的结构光投影芯片研究
9
作者 翟雷应 赵礼宇 +1 位作者 王义杰 南敬昌 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期254-266,共13页
结构光三维成像中广泛使用的数字光处理(DLP)投影仪存在结构复杂、设备体积大及投影非线性等问题,制约了结构光三维成像在高探测精度、小探测场景领域的应用。提出了一种集成超表面阵列和微机电系统(MEMS)二维扫描平台的结构光投影芯片... 结构光三维成像中广泛使用的数字光处理(DLP)投影仪存在结构复杂、设备体积大及投影非线性等问题,制约了结构光三维成像在高探测精度、小探测场景领域的应用。提出了一种集成超表面阵列和微机电系统(MEMS)二维扫描平台的结构光投影芯片设计。设计了基于几何相位原理的超表面阵列,用于生成格雷码和相移法混合编码结构光条纹。通过二维扫描平台突破单一静态超表面的限制,实现了基于时间编码的结构光条纹投影。结果表明:所设计的超表面结构对入射光具有良好的线性相位调制能力,光源转换效率为88.61%;生成的相移条纹符合正弦分布特性,很好地解决了DLP投影非线性问题;产生的条纹宽度均匀,最小宽度为2 mm,探测精度可达亚毫米级。有限元分析结果表明:所设计的二维平台的最小模态频率为511.91 Hz,抗干扰能力强,响应时间为2.4 ms,帧率为333 Hz,投影速率高。芯片尺寸为3 mm×3 mm。最后设计了芯片的集成制造工艺流程,为高探测精度、高投影速率微型化投影设备的制造提供了理论模型和系统解决方案。 展开更多
关键词 表面光学 结构光 三维成像 超表面 微机电系统
原文传递
三轴MEMS加速度计的最大似然校正算法 被引量:6
10
作者 陆欣 刘忠 +1 位作者 张宏欣 贺静波 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期185-191,共7页
加速度计是惯性导航系统的重要测量元件,而由于制造工艺及各类传感器误差,低成本加速度计很难达到要求的精度,因此需要对其进行校正。提出一种基于最大似然估计的加速度计自校正算法。综合考虑加速度计零偏、比例误差、非正交误差、安... 加速度计是惯性导航系统的重要测量元件,而由于制造工艺及各类传感器误差,低成本加速度计很难达到要求的精度,因此需要对其进行校正。提出一种基于最大似然估计的加速度计自校正算法。综合考虑加速度计零偏、比例误差、非正交误差、安装误差与测量噪声,建立了传感器误差模型。在此基础上,将加速度校正问题转化为校正参数的最大似然估计问题。通过数值仿真和实测试验验证,表明算法具有较高的参数估计精度,能够有效地对上述因素引起的误差进行校正。 展开更多
关键词 最大似然估计 传感器校正 微电子机械系统 三轴加速度计
下载PDF
A Dual-driven Intelligent Combination Control of Heat Pipe Space Cooling System 被引量:4
11
作者 LI Yunze LI Mingmin LEE Kok Meng 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第4期566-574,共9页
Effective thermal control systems are essential for reliable operation of spacecraft.A dual-driven intelligent combination control strategy is proposed to improve the temperate control and heat flux tracking effects.B... Effective thermal control systems are essential for reliable operation of spacecraft.A dual-driven intelligent combination control strategy is proposed to improve the temperate control and heat flux tracking effects.Both temperature regulation and heat flux tracking errors are employed to generate the final control action;their contributions are adaptively adjusted by a fuzzy fusing policy of control actions.To evaluate the control effects,describe a four-nodal mathematical model for analyzing the dynamic characteristics of the controlled heat pipe space cooling system(HP-SCS) consisting of an aluminum-ammonia heat pipe and a variable-emittance micro-electromechanical-system(MEMS) radiator.This dynamical model calculates the mass flow-rate and condensing pressure of the heat pipe working fluid directly from the systemic nodal temperatures,therefore,it is more suitable for control engineering applications.The closed-loop transient performances of four different control schemes have been numerically investigated.The results conclude that the proposed intelligent combination control scheme not only improves the thermal control effects but also benefits the safe operation of HP-SCS. 展开更多
关键词 heat pipe space cooling system dynamic modeling intelligent combination control micro-electromechanical-system
原文传递
微小型水下仿生机器人研究现状及发展趋势 被引量:4
12
作者 王扬威 王振龙 李健 《微特电机》 北大核心 2010年第12期66-69,共4页
随着微型机电系统(MEMS)相关技术的发展,微小型水下仿生机器人已成为各国广泛研究的热点问题。综述了微小型水下仿生机器人的研究现状,讨论分析了微小型水下仿生机器人研究的关键问题和发展趋势。
关键词 微小型 水下仿生机器人 微型机电系统
下载PDF
基于MEMS传感阵列的海底电缆监测系统 被引量:1
13
作者 卢志飞 谢龙 +2 位作者 何旭涛 雷之楮 王立军 《浙江电力》 2023年第7期47-56,共10页
基岩磨损是造成海底电缆故障的主要原因之一。针对这一问题,研制了新型海底电缆监测系统。首先,提出长距离多节点同步采集方法,建立海底电缆的形状重构及定位模型;随后,开发了传感器、采集板、控制板、4G无线传输和电池模块;接着搭建了... 基岩磨损是造成海底电缆故障的主要原因之一。针对这一问题,研制了新型海底电缆监测系统。首先,提出长距离多节点同步采集方法,建立海底电缆的形状重构及定位模型;随后,开发了传感器、采集板、控制板、4G无线传输和电池模块;接着搭建了基于MEMS(微电子机械系统)传感阵列的海底电缆监测系统;最后,通过强磁环境试验、压力测试试验、传感阵列的精度试验及在朱家尖海底电缆登陆段的长期监测,验证了该监测系统可实现海缆的位移监测和监测数据远程实时传输。 展开更多
关键词 海底电缆 微电子机械系统 传感阵列 监测机理 监测系统
下载PDF
静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性 被引量:3
14
作者 丁晓红 陈晓阳 沈雪瑾 《机械设计与制造工程》 2000年第4期10-11,14,共3页
运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构———蟹脚型结构的振动特性 ,推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式 ,分析了各几何参量对结构谐振频率的影响 ,并和静电梳微谐振子的另一种常见结构———直脚型结构的振动特性进行了比较。
关键词 蟹脚型结构 静电梳微谐振子 谐振频率 微机械
下载PDF
一种新型微机电系统法布里-珀罗滤波器的设计与分析 被引量:4
15
作者 张建飞 庄须叶 +2 位作者 汪为民 陶逢刚 姚军 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期160-166,共7页
基于微机电系统(MEMS)技术,提出了一种光栅与法布里-珀罗(F-P)腔相结合的新型MEMS F-P滤波器结构,这种滤波器既能保证较宽的自由光谱范围又能够获得较窄的半峰全宽。从实现机理、参数设计和选择对F-P滤波器的结构进行了深入分析,并着重... 基于微机电系统(MEMS)技术,提出了一种光栅与法布里-珀罗(F-P)腔相结合的新型MEMS F-P滤波器结构,这种滤波器既能保证较宽的自由光谱范围又能够获得较窄的半峰全宽。从实现机理、参数设计和选择对F-P滤波器的结构进行了深入分析,并着重对微桥桥面的机电性能进行了仿真计算。通过选择不同的微桥桥面厚度(0.5,0.6,0.7,0.8,0.9,1μm),比较微桥在静电力作用下的平整度,发现当微桥表面厚度为1μm时,得到了一个较优结果,在5V电压下,上反射镜的倾斜位移ΔL为9.11nm,最大腔长变化量为242nm,这样能保持前后腔面反射光的平行要求,从而保证滤波器的滤波效率和对选择光的利用率。该滤波器能够解决传统微型滤波器自由光谱范围与半峰全宽相互限制的矛盾,提高微型滤波器的性能。 展开更多
关键词 光学器件 微机电系统 滤波器 光栅 可调谐法布里-珀罗腔 微桥
原文传递
基于微机械电子技术的黏度测量传感器 被引量:4
16
作者 黄琳雅 赵立波 +5 位作者 罗国希 李支康 吴德志 林启敬 杨萍 蒋庄德 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期13-22,共10页
黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传... 黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传统意义的宏观测量方法,基于微纳米尺度的黏度测量技术已展现出其突出的发展与应用前景。微机械电子系统(Microelectromechanical systems,MEMS)技术的蓬勃发展促使黏度测量集成化、智能化与实时性,多样化黏度测量方法不断涌现,其中谐振式黏度测量受到颇为广泛而深入的关注,并显示了瞩目的检测性能。首先回顾传统的黏度测量方法,然后再介绍了基于微机械电子技术的谐振式黏度测量方法,并分别总结了各自的特点。最后,对MEMS谐振式黏度测量方法的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 流体黏度 测量方法 微机械电子系统 谐振
原文传递
一种基于MEMS倾角测量仪的设计与验证 被引量:4
17
作者 李冰 韩彦东 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2021年第2期75-79,共5页
在MEMS传感器的基础上设计并制作了具有大量程、高精度的倾角仪。测量单元采用3个正交的MEMS加速度传感器,在保证测量精度的同时加大了倾角的测量范围。硬件设计分别采用线性电源、高频控制芯片及高分辨率模数转换芯片实现倾角仪的小型... 在MEMS传感器的基础上设计并制作了具有大量程、高精度的倾角仪。测量单元采用3个正交的MEMS加速度传感器,在保证测量精度的同时加大了倾角的测量范围。硬件设计分别采用线性电源、高频控制芯片及高分辨率模数转换芯片实现倾角仪的小型化。对倾角仪测量时的测量误差通过建模提出了多位置标定补偿技术、分段式温度补偿技术及现场快速标定技术,实时保证倾角仪具备较高的测量精度。通过三轴温控转台对提出的3种标定方法进行了实验验证,不但证明了3种标定技术的有效性及实用性,且对倾角仪的标定精度均可达0.01°。 展开更多
关键词 倾角仪 微电子机械系统 高精度 误差补偿
下载PDF
用于显示的透射型法布里-珀罗光调制器 被引量:4
18
作者 孙吉勇 黄尚廉 +2 位作者 张洁 张智海 史玲娜 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2240-2244,共5页
提出了一种用于显示的,基于透射型法布里-珀罗干涉的微机电系统(MEMS)光学调制器。基于多光束干涉原理分析了调制器的光学特性,推导出了调制器结构的特征参量。分析表明,当调制器的腔长为cλ/4时,透射光可以实现暗态显示;当调制器的腔... 提出了一种用于显示的,基于透射型法布里-珀罗干涉的微机电系统(MEMS)光学调制器。基于多光束干涉原理分析了调制器的光学特性,推导出了调制器结构的特征参量。分析表明,当调制器的腔长为cλ/4时,透射光可以实现暗态显示;当调制器的腔长取为零或cλ/2时,透射光可以实现亮态显示。通过控制法布里-珀罗腔长,就可实现调制器的明暗调制。理论上证明了该调制器用于显示的可行性。设计了一种基于微机电系统的透射型法布里-珀罗光学调制器结构,该调制器的理论衬比度达到150。仿真结果表明,该调制器具有2.4 V的低电压静电驱动性能。 展开更多
关键词 微机电系统 法布里-珀罗光调制器 干涉 显示
原文传递
光学相干层析成像用于微机电系统测量研究 被引量:4
19
作者 秦玉伟 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期664-667,共4页
为了对硅V型槽的结构进行测量,采用热光源谱域光学相干层析成像法,进行了理论分析和实验验证,取得了硅V型槽的1维深度和2维层析图像,获得了硅V型槽的深度、上部宽度和底部宽度数据分别为145.38μm,212μm和32μm。结果表明,该测量结果... 为了对硅V型槽的结构进行测量,采用热光源谱域光学相干层析成像法,进行了理论分析和实验验证,取得了硅V型槽的1维深度和2维层析图像,获得了硅V型槽的深度、上部宽度和底部宽度数据分别为145.38μm,212μm和32μm。结果表明,该测量结果与扫描电子显微镜测量值基本一致。这对微机电系统结构测量是有帮助的。 展开更多
关键词 测量与计量 结构 光学相干层析成像 微机电系统
下载PDF
五位RF MEMS开关延迟线移相器 被引量:3
20
作者 金铃 《微波学报》 CSCD 北大核心 2011年第2期84-87,共4页
设计并研制了一种6~11GHz、超宽带5位RF MEMS开关延迟线移相器,器件实现了5位延迟:λ、2λ、4λ、8λ、16λ。该器件采用微带混合介质多层板技术,分4层制作,尺寸为45mm×20 mm。整个器件包括20个RFMEMS悬臂梁开关,用60~75V的静电... 设计并研制了一种6~11GHz、超宽带5位RF MEMS开关延迟线移相器,器件实现了5位延迟:λ、2λ、4λ、8λ、16λ。该器件采用微带混合介质多层板技术,分4层制作,尺寸为45mm×20 mm。整个器件包括20个RFMEMS悬臂梁开关,用60~75V的静电压驱动。6~11GHz频带内,对32个相移态的测试结果表明:一般回波损耗S11<-10dB,各状态平均插入损耗为-8~-10dB;中心频率处,器件可实现的最大延迟位时延为1680ps,总时延为3255ps。 展开更多
关键词 开关延迟线移相器 微机电系统(MEMS) 悬臂梁开关 微波混合介质多层板
下载PDF
上一页 1 2 23 下一页 到第
使用帮助 返回顶部