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光学相控阵扫描的理论研究 被引量:12
1
作者 吕秀品 冯克成 刘伟奇 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2002年第2期47-49,共3页
本文给出近场光学相控阵扫描的理论分析及计算 ,并得出结论 :当相控阵单元规则排列并发生近场干涉时 ,相控单元的尺寸可取得比波长长 。
关键词 光学相控阵 激光扫描 微透镜 近场干涉
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便携式显微镜/远视镜实时观察和记录系统的低成本组建 被引量:15
2
作者 朱兴宝 罗俊力 +2 位作者 刘松 王典春 范泉水 《医疗卫生装备》 CAS 2011年第6期27-28,33,共3页
目的:为轻便型视屏神经外科配备便携式显微镜/远视镜实时观察和记录系统。方法:系统由显像设备、成像设备和支架组成。显像设备为Dell便携式计算机;成像设备包括DFK-21AU04 USB CCD摄像头、Computar MLH-10×macro镜头和COPL-40-W... 目的:为轻便型视屏神经外科配备便携式显微镜/远视镜实时观察和记录系统。方法:系统由显像设备、成像设备和支架组成。显像设备为Dell便携式计算机;成像设备包括DFK-21AU04 USB CCD摄像头、Computar MLH-10×macro镜头和COPL-40-W同轴光灯头复合体;支架为改造的MA241102便携式气动弹簧摇臂式支架。通过视屏观察(15 cm)深瓶中的干豆、切开的新鲜石榴及成年SD大鼠活体颈总动脉分叉部;在视屏图像引导下阻断成年SD大鼠大脑中动脉。结果:Qy/Fx-0810-Mi/Ma便携式实时观察和记录系统小巧轻便、廉价实用,能够从不同角度观察手术野,工作距离超过54 cm,视屏图像清晰、逼真、有立体感且与实际操作同步。结论:可低成本组建适合轻便型视屏神经外科的便携式显微镜/远视镜实时观察和记录系统。 展开更多
关键词 便携式 显微镜 远视镜 视屏 数字图像采集技术
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行间转移面阵CCD的TDI工作方式研究 被引量:15
3
作者 周怀得 刘海英 +3 位作者 徐东 李广泽 王冶 刘金国 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1629-1634,共6页
具有微透镜的行间转移面阵CCD在空间辐照环境下,微透镜材料容易模糊,导致不能正常成像;而如果不使用微透镜,则会由于行间转移CCD的填充因子和量子效率低,曝光量不足,影响图像质量和信噪比,亦不能满足使用要求。本文提出采用时间延迟积分... 具有微透镜的行间转移面阵CCD在空间辐照环境下,微透镜材料容易模糊,导致不能正常成像;而如果不使用微透镜,则会由于行间转移CCD的填充因子和量子效率低,曝光量不足,影响图像质量和信噪比,亦不能满足使用要求。本文提出采用时间延迟积分(TDI)工作方式来解决这一问题。使用现场可编程逻辑器件(FPGA),在实现行间转移面阵CCD KAI0340-S正常工作的基础上,根据TDI CCD的工作原理,实现了CCD KAI0340-S的TDI工作方式。同时,采用RS485总线,实现了计算机和FPGA之间的通信和数据交换,完成了面阵CCD TDI积分级数、行TDI积分时间、以及集成视频信号处理器增益和偏置参数的任意设置。实验结果表明,在没有微透镜下正常成像时,图像质量很差,其信噪比仅为22.13 dB(TDI级数为1);通过设置合适的TDI积分级数后,图像质量有很大的提高,信噪比超过33.62 dB(TDI级数为4)。行间转移面阵CCD的TDI工作方式,可以改善和提高在空间辐照环境下没有微透镜时的图像质量,解决了借助微透镜可提高其量子效率,但微透镜在空间辐照环境下时间较长又容易模糊的矛盾。 展开更多
关键词 行间转移 面阵CCD 微透镜 时间延迟积分 量子效率 现场可编程逻辑器件
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2.2mm微切口对白内障角膜内皮细胞丢失率及散射光变化分析 被引量:9
4
作者 谢洪涛 刘钊臣 《国际眼科杂志》 CAS 2017年第1期43-46,共4页
目的:探讨2.2mm微切口白内障超声乳化的临床效果。方法:选取2015-01/2016-02在我院行白内障超声乳化术联合人工晶状体植入术的白内障患者93例112眼,随机分为微切口组(47例52眼)和传统切口组(46例60眼),微切口组行2.2mm同轴微切口,传统... 目的:探讨2.2mm微切口白内障超声乳化的临床效果。方法:选取2015-01/2016-02在我院行白内障超声乳化术联合人工晶状体植入术的白内障患者93例112眼,随机分为微切口组(47例52眼)和传统切口组(46例60眼),微切口组行2.2mm同轴微切口,传统切口组行3.2mm切口,观察两组平均超声乳化能量(AVE)、有效超声乳化时间(EPT)、角膜内皮细胞计数等。结果:微切口组和传统切口组术前及术后角膜内皮细胞比较差异无统计学意义(P>0.05);术后3mo微切口组和传统切口组角膜内皮细胞丢失率分别为(12.09±4.14)%和(13.24±5.44)%,差异比较无统计学意义(P>0.05);微切口组AVE为(10.01±3.21)%,明显低于传统切口组,差异比较有统计学意义(P<0.05);两组EPT比较差异无统计学意义(P>0.05);微切口组和传统切口组术前及术后裸眼视力(LogMAR)比较差异无统计学意义(P>0.05);微切口组术后1wk、1、3mo散光度为0.47±0.12、0.40±0.10、0.36±0.12D,明显小于传统切口组,差异比较有统计学意义(P<0.05);两组术中及术后未发现有严重并发症。结论:2.2mm微切口超声乳化手术可有效节省超声能量,减少手术源性散光,有利于提高术后视觉质量,对角膜内皮细胞的损伤与传统切口无明显差异。 展开更多
关键词 白内障超声乳化 白内障 微切口 晶状体 角膜内皮细胞 散光
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微透镜列阵浮雕深度控制的新方法 被引量:7
5
作者 董小春 杜春雷 +2 位作者 潘丽 王永茹 刘强 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期1-3,共3页
在对材料光刻阈值特性进行研究的基础上,提出了一种可有效克服材料非线性特性影响,提高微透镜浮雕深度的新方法——基底曝光法。在曝光之前,对抗蚀剂整体施加一定量的曝光,提升抗蚀剂刻蚀基面。该方法可制作出面形均方根误差小于3%的微... 在对材料光刻阈值特性进行研究的基础上,提出了一种可有效克服材料非线性特性影响,提高微透镜浮雕深度的新方法——基底曝光法。在曝光之前,对抗蚀剂整体施加一定量的曝光,提升抗蚀剂刻蚀基面。该方法可制作出面形均方根误差小于3%的微透镜阵列。 展开更多
关键词 微透镜 浮雕深度 光刻 曝光阈值 微光学元件
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Femtosecond laser 3D printed micro objective lens for ultrathin fiber endoscope 被引量:2
6
作者 Bozhe Li Changrui Liao +8 位作者 Zhihao Cai Jie Zhou Cong Zhao Liqing Jing Jiaqi Wang Cong Xiong Lei Xu Ying Wang Yiping Wang 《Fundamental Research》 CAS CSCD 2024年第1期123-130,共8页
The most important optical component in an optical fiber endoscope is its objective lens.To achieve a high imaging performance level,the development of an ultra-compact objective lens is thus the key to an ultra-thin ... The most important optical component in an optical fiber endoscope is its objective lens.To achieve a high imaging performance level,the development of an ultra-compact objective lens is thus the key to an ultra-thin optical fiber endoscope.In this work,we use femtosecond laser 3D printing to develop a series of micro objective lenses with different optical designs.The imaging resolution and field-of-view performances of these printed micro objective lenses are investigated via both simulations and experiments.For the first time,multiple micro objective lenses with different fields of view are printed on the end face of a single imaging optical fiber,thus realizing the perfect integration of an optical fiber and objective lenses.This work demonstrates the considerable potential of femtosecond laser 3D printing in the fabrication of micro-optical systems and provides a reliable solution for the development of an ultrathin fiber endoscope. 展开更多
关键词 Femtosecond laser Two-photon polymerization 3D printing micro objective lens Fiber endoscope
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Recent advancements in optical microstructure fabrication through glass molding process 被引量:6
7
作者 Tianfeng ZHOU Xiaohua LIU +3 位作者 Zhiqiang LIANG Yang LIU Jiaqing XIE Xibin WANG 《Frontiers of Mechanical Engineering》 SCIE CSCD 2017年第1期46-65,共20页
Optical microstructures are increasingly applied in several fields, such as optical systems, precision measurement, and microfluid chips. Microstructures include microgrooves, microprisms, and microlenses. This paper ... Optical microstructures are increasingly applied in several fields, such as optical systems, precision measurement, and microfluid chips. Microstructures include microgrooves, microprisms, and microlenses. This paper presents an overview of optical microstructure fabrication through glass molding and highlights the applications of optical microstructures in mold fabrication and glass molding. The glass-mold interface friction and adhesion are also discussed. Moreover, the latest advance- ments in glass molding technologies are detailed, including new mold materials and their fabrication methods, viscoelastic constitutive modeling of glass, and micro- structure molding process, as well as ultrasonic vibration- assisted molding technology. 展开更多
关键词 optical microstructure microgroove micro-lens glass molding process single-point diamond cutting
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Ultrafast z-scanning for high-efficiency laser micro-machining 被引量:7
8
作者 Ting-Hsuan Chen Romain Fardel Craig B Arnold 《Light(Science & Applications)》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第1期1094-1102,共9页
High-throughput laser micro-machining demands precise control of the laser beam position to achieve optimal efficiency,but existing methods can be both time-consuming and cost-prohibitive.In this paper,we demonstrate ... High-throughput laser micro-machining demands precise control of the laser beam position to achieve optimal efficiency,but existing methods can be both time-consuming and cost-prohibitive.In this paper,we demonstrate a new high-throughput micromachining technique based on rapidly scanning the laser focal point along the optical axis using an acoustically driven variable focal length lens.Our results show that this scanning method enables higher machining rates over a range of defocus distances and that the effect becomes more significant as the laser energy is increased.In a specific example of silicon,we achieve a nearly threefold increase in the machining rate,while maintaining sharp side walls and a small spot size.This method has great potential for improving the micro-machining efficiency of conventional systems and also opens the door to applying laser machining to workpieces with uneven topography that have been traditionally difficult to process. 展开更多
关键词 high-efficiency micro-machining laser material processing TAG lens ultrafast z-scanning
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双重响应柔性微结构阵列的飞秒激光增材制造(特邀)
9
作者 文天豪 张永来 +1 位作者 万嘉怡 韩冬冬 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第1期287-293,共7页
具有刺激响应形变功能的微结构能够通过外界刺激信号获取能量,进而发生机械形变,在自动化技术、微小机器人技术、微流控芯片等领域具有巨大的前沿应用潜力。然而,现有的智能微结构的研制很大程度上依赖于智能材料及其成型技术,不仅受限... 具有刺激响应形变功能的微结构能够通过外界刺激信号获取能量,进而发生机械形变,在自动化技术、微小机器人技术、微流控芯片等领域具有巨大的前沿应用潜力。然而,现有的智能微结构的研制很大程度上依赖于智能材料及其成型技术,不仅受限于为数不多的材料体系,而且局限在单一的刺激响应形变。基于此,提出利用飞秒激光双光子增材制造技术在形状记忆薄膜上加工蛋白质微结构阵列的新方法,实现了微结构阵列尺寸和周期的双重响应形变。微结构阵列在热处理下被机械拉伸定性,实现了结构周期的调控,该过程可在热刺激下恢复;同时,牛血清白蛋白微结构可以在不同pH值的条件下表现为可逆的溶胀和收缩形变。智能材料与形状记忆基底相结合可以赋予微结构阵列更加复杂可控的双重响应形变。本文制备了微结构阵列和微透镜阵列,展示了双重响应下的结构变化和功能调谐,为智能化微结构阵列在微流控系统中的应用作出了有益的探索。 展开更多
关键词 飞秒激光直写 微透镜 蛋白质 微纳加工
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基于双光栅和柱透镜的高分辨率近红外微型光谱仪
10
作者 吴婧仪 周哲海 +2 位作者 赵爽 闵昆龙 李慧宇 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期1144-1150,共7页
因为便携、低成本、集成化等优势,微型光谱仪已经成为光谱仪技术发展的重要趋势,其中工作波段在近红外的微型光谱仪,在光纤传感和解调、光纤通信等领域有着非常广泛的应用。但目前的近红外微型光谱仪普遍存在分辨率低、成本高、体积大... 因为便携、低成本、集成化等优势,微型光谱仪已经成为光谱仪技术发展的重要趋势,其中工作波段在近红外的微型光谱仪,在光纤传感和解调、光纤通信等领域有着非常广泛的应用。但目前的近红外微型光谱仪普遍存在分辨率低、成本高、体积大不便于携带等问题,为此,提出了一种独特的基于双光栅和柱透镜的微型光谱仪结构,开展了理论和实验研究。相对于传统的微型光谱仪结构,新的设计主要有三个特征:使用光纤代替入射狭缝,以减少光能损失;采用双光栅将光束进行二次衍射;使用柱透镜以改变线阵CCD阵列表面的成像尺寸。首先,利用Zemax软件进行了光学设计和仿真分析,光谱范围为1525~1570 nm,光学系统结构在66 mm×40 mm×24 mm的体积范围内,光谱分辨率理论上达到0.2 nm,比未加柱透镜的结构提升了2.5倍。然后,根据理论分析,选购了合适的光电器件进行了系统封装,与匹配的电路模块结合,实现了微型光谱仪的光谱检测功能。光谱仪的光学系统安装在66 mm×40 mm×30 mm的体积范围内,实际测量的光谱分辨率为0.215 nm,与理论结果较为吻合。进一步地,搭建了一套基于该微型光谱仪的光纤光栅温度传感测量系统,该微型光谱仪作为信号解调仪,选择了四个中心波长分别为1534、1538、1542和1545 nm的光纤光栅作为传感器,温度在0~50℃范围内以1℃为间隔连续变化,最终实现了温度实时测量和信号解调,系统温度灵敏度分别达到9.58、9.68、9.69和9.6 pm·℃^(-1),验证了该微型光谱仪的高分辨率和高可靠性。研制的微型光谱仪的子组件可以固定在外壳上,系统内部无可移动元器件,体积小、分辨率高、稳定性好,可应用于其他诸如物质浓度分析、传感信号测量等需要高分辨光谱分析的场合。 展开更多
关键词 微型光谱仪 双光栅 柱透镜 高分辨率 近红外波段
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计量量子化、数字化变革下的国内外计量技术发展趋势 被引量:2
11
作者 杜晓爽 胡毅飞 +8 位作者 冯英强 谌贝 曾吾 费丰 李玮 屠治国 杨晓伟 翟玉卫 郝新友 《宇航计测技术》 CSCD 2023年第5期11-22,共12页
美欧发达国家高度重视计量技术发展,将量子、数智等前瞻性、基础性计量技术纳入国家发展战略,抢占科技制高点。近年来,中国在原子频标、冷原子重力计等计量领域取得了突破,已进入国际计量先进国家行列。随着国际计量的量子化、数字化变... 美欧发达国家高度重视计量技术发展,将量子、数智等前瞻性、基础性计量技术纳入国家发展战略,抢占科技制高点。近年来,中国在原子频标、冷原子重力计等计量领域取得了突破,已进入国际计量先进国家行列。随着国际计量的量子化、数字化变革,计量不断加速向量子化演进、量传方式逐渐向数智化转型、计量保障技术更加向实战化发展趋势凸显。通过搜集、整理国内外大量计量量子化、数智化和实战化等相关技术文献资料,归纳并分析了计量技术发展趋势,可为计量测试技术发展提供借鉴。 展开更多
关键词 计量 量子化 原子频标 金属磁量热计 重力梯度仪 微透镜 金刚石氮-空位色心 冷原子真空标准 量子电流 量子电功率 太赫兹辐射源 自由空间光通信 约翰逊噪声测温 辐射热点成像 人工智能 红外辐射
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高精细度微透镜光纤法布里-珀罗干涉仪 被引量:6
12
作者 唐才杰 江毅 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期1062-1065,共4页
通过在镀膜单模光纤端面制作微透镜,构造了微透镜光纤法布里-珀罗干涉仪。利用ABCD矩阵方法分析了微透镜法布里-珀罗腔的模场。由于微透镜的会聚作用,法布里-珀罗腔模场可以和单模光纤模场良好的匹配,从而达到高精细度和低插入损耗。实... 通过在镀膜单模光纤端面制作微透镜,构造了微透镜光纤法布里-珀罗干涉仪。利用ABCD矩阵方法分析了微透镜法布里-珀罗腔的模场。由于微透镜的会聚作用,法布里-珀罗腔模场可以和单模光纤模场良好的匹配,从而达到高精细度和低插入损耗。实验制作的微透镜光纤法布里-珀罗干涉仪。自由光谱区范围32.28 nm,精细度为78,峰值透射比为73%;在法布里-珀罗腔的光学腔长增加到100 μm的情况下,峰值透射比仍然大于50%。该微透镜光纤法布里-珀罗干涉仪制作容易、对设备要求低,可以封装成光纤法布里-珀罗滤波器和传感器,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 光纤光学 光纤传感器 光纤法布里-珀罗干涉仪 微透镜
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单片式微型滤色膜LCoS的照明系统设计 被引量:6
13
作者 高慧芳 刘钦晓 +2 位作者 刘鹏 张文字 余飞鸿 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期100-104,共5页
为了使微型投影系统既保持结构紧凑又能获得良好光学性能,本文根据柯拉照明原理提出一种基于LCoS和LED光源的照明方案。该方案修改了基本的柯拉照明结构,通过合理设置孔阑,能在LCoS面上得到均匀光斑,而且照明部分光学元件非常简单,整体... 为了使微型投影系统既保持结构紧凑又能获得良好光学性能,本文根据柯拉照明原理提出一种基于LCoS和LED光源的照明方案。该方案修改了基本的柯拉照明结构,通过合理设置孔阑,能在LCoS面上得到均匀光斑,而且照明部分光学元件非常简单,整体尺寸大大减小。本文分别使用球面和非球面两种照明系统进行仿真对比,球面系统空间均匀性86%,非球面系统空间均匀性95%。基于非球面方案的整机系统能量效率达到9.94%,屏幕均匀性大于90%,光学模组的厚度在9mm以内,非常适合于内嵌式投影系统。 展开更多
关键词 LCOS LED 微型投影 非球面透镜
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微切口超声乳化术联合硅油取出术治疗玻切术后硅油填充眼合并白内障 被引量:6
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作者 张瑞帆 刘三梅 钟捷 《国际眼科杂志》 CAS 2014年第7期1266-1268,共3页
目的:观察玻璃体切割术后硅油填充眼行微切口白内障超声乳化联合睫状体平坦部硅油取出术的临床疗效。方法:2013-02/11对43例43眼玻璃体切割术后硅油填充眼合并白内障患者行微切口白内障超声乳化联合睫状体平坦部硅油取出术,术中均Ⅰ期... 目的:观察玻璃体切割术后硅油填充眼行微切口白内障超声乳化联合睫状体平坦部硅油取出术的临床疗效。方法:2013-02/11对43例43眼玻璃体切割术后硅油填充眼合并白内障患者行微切口白内障超声乳化联合睫状体平坦部硅油取出术,术中均Ⅰ期植入人工晶状体,观察患者术后3mo最佳矫正视力和手术并发症发生情况等。结果:术后3mo,最佳矫正视力较术前提高者共39例(91%),最高矫正视力达0.6,视力无提高者4例(9%)。所有患者均未发生后囊膜破裂、硅油残留、角膜内皮失代偿、前房积血、玻璃体积血、人工晶状体移位、继发性青光眼、锯齿缘离断等并发症。结论:微切口超声乳化人工晶状体植入术联合睫状体平坦部硅油取出术是一种有效、安全的手术方式。 展开更多
关键词 白内障 微切口 超声乳化术 人工晶状体 睫状体平坦部 硅油取出术
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基于远场光分布测量微透镜面形误差峰谷值的方法
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作者 唐乐 夏良平 +5 位作者 张满 张为国 孙昊 王春艳 党随虎 杜春雷 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期181-187,共7页
针对传统微透镜面形测试光路复杂和效率不高的问题,提出了一种基于微透镜远场光斑高效提取环带状面形误差峰谷(PV)值的方法。基于几何光学原理,计算了不同环带误差形成的光斑的分界线位置;建立了环带误差的三维模型,通过仿真不同误差模... 针对传统微透镜面形测试光路复杂和效率不高的问题,提出了一种基于微透镜远场光斑高效提取环带状面形误差峰谷(PV)值的方法。基于几何光学原理,计算了不同环带误差形成的光斑的分界线位置;建立了环带误差的三维模型,通过仿真不同误差模型下的远场光斑,获得了分界线内外光强比值和环带误差值的对应关系;最后利用微纳加工技术制备出不同环带误差的微透镜阵列,搭建测试光路,通过测试获得了不同环带误差下的光斑能量分布,通过模型计算获得的微透镜环带状面形误差PV值与干涉仪测试结果一致。 展开更多
关键词 光学器件 微透镜 远场光斑 环带状面形误差 光斑能量比
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High-speed, large-area and high-precision fabrication of aspheric micro-lens array based on 12-bit direct laser writing lithography 被引量:4
16
作者 Shiyi Luan Fei Peng +3 位作者 Guoxing Zheng Chengqun Gui Yi Song Sheng Liu 《Light(Advanced Manufacturing)》 2022年第4期50-60,共11页
Aspheric micro-lens array(AMLA),featured with low dispersion and diffraction-limited imaging quality,plays an important role in advanced optical imaging.Ideally,the fabrication of commercially applicable AMLAs should ... Aspheric micro-lens array(AMLA),featured with low dispersion and diffraction-limited imaging quality,plays an important role in advanced optical imaging.Ideally,the fabrication of commercially applicable AMLAs should feature low cost,high precision,large area and high speed.However,these criteria have been achieved only partially with conventional fabrication process.Herein,we demonstrate the fabrication and characterization of AMLAs based on 12-bit direct laser writing lithography,which exhibits a high fabrication speed,large area,perfect lens shape control via a three-dimensional optical proximity correction and average surface roughness lower than 6 nm.In particular,the AMLAs can be flexibly designed with customized filling factor and arbitrary off-axis operation for each single micro-lens,and the proposed pattern transfer approach with polydimethylsiloxane(PDMS)suggests a low-cost way for mass manufacturing.An auto-stereoscopic-display flexible thin film with excellent display effect has been prepared by using above technology,which exhibits a new way to provide flexible auto-stereoscopic-display at low cost.In brief,the demonstrated fabrication of AMLAs based on direct laser writing lithography reduce the complexity of AMLA fabrication while significantly increasing their performance,suggesting a new route for high-quality three-dimentional optical manufacturing towards simplified fabrication process,high precision and large scale. 展开更多
关键词 Aspheric micro-lens array Large-area fabrication Sub 6 nm roughness 12-bit direct laser writing lithography
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液晶微透镜技术研究新进展 被引量:5
17
作者 郑继红 王雅楠 《光学仪器》 2014年第2期182-188,共7页
液晶微透镜是一种利用电光效应来改变透镜折射率空间分布和微电子技术工艺制作的新型微透镜,是结合了微透镜技术和液晶良好电控特性的新型光学微纳器件。液晶微透镜具有尺寸微小,焦距可调等优点,在微光学系统和微光机电系统中具有广阔... 液晶微透镜是一种利用电光效应来改变透镜折射率空间分布和微电子技术工艺制作的新型微透镜,是结合了微透镜技术和液晶良好电控特性的新型光学微纳器件。液晶微透镜具有尺寸微小,焦距可调等优点,在微光学系统和微光机电系统中具有广阔的应用前景。简要概述了液晶微透镜的基本原理和几种典型液晶微透镜类型,包括液晶(LC)和聚合物分散液晶(PDLC)透镜的发展,阐述了液晶微透镜的研究现状以及研究发展趋势。 展开更多
关键词 光学器件 微透镜 液晶 聚合物分散液晶
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Atomically thin optical lenses and gratings 被引量:5
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作者 Jiong Yang Zhu Wang +8 位作者 Fan Wang Renjing Xu Jin Tao Shuang Zhang Qinghua Qin Barry Luther-Davies Chennupati Jagadish Zongfu Yu Yuerui Lu 《Light(Science & Applications)》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第1期562-569,共8页
Two-dimensional(2D)materials have emerged as promising candidates for miniaturized optoelectronic devices due to their strong inelastic interactions with light.On the other hand,a miniaturized optical system also requ... Two-dimensional(2D)materials have emerged as promising candidates for miniaturized optoelectronic devices due to their strong inelastic interactions with light.On the other hand,a miniaturized optical system also requires strong elastic light–matter interactions to control the flow of light.Here we report that a single-layer molybdenum disulfide(MoS2)has a giant optical path length(OPL),around one order of magnitude larger than that from a single-layer of graphene.Using such giant OPL to engineer the phase front of optical beams we have demonstrated,to the best of our knowledge,the world’s thinnest optical lens consisting of a few layers of MoS2 less than 6.3 nm thick.By taking advantage of the giant elastic scattering efficiency in ultra-thin high-index 2D materials,we also demonstrated high-efficiency gratings based on a single-or few-layers of MoS2.The capability of manipulating the flow of light in 2D materials opens an exciting avenue towards unprecedented miniaturization of optical components and the integration of advanced optical functionalities.More importantly,the unique and large tunability of the refractive index by electric field in layered MoS2 will enable various applications in electrically tunable atomically thin optical components,such as micro-lenses with electrically tunable focal lengths,electrical tunable phase shifters with ultra-high accuracy,which cannot be realized by conventional bulk solids. 展开更多
关键词 atomically thin GRATING micro-lens MOS2 TWO-DIMENSIONAL
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基于移动掩模曝光的聚酰亚胺连续微结构刻蚀工艺研究 被引量:4
19
作者 谢玉萍 吴鹏 +3 位作者 杨正 尹韶云 杜春雷 董连和 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期44-48,共5页
为实现在聚酰亚胺薄膜上制备连续面形的微透镜结构,开发了一种薄膜光刻刻蚀的工艺方法.首先利用移动掩模曝光得到连续面形的光刻胶微浮雕结构,再通过反应离子刻蚀技术将微结构高保真度、低粗糙度地转移到PI薄膜上.为解决刻蚀过程中最关... 为实现在聚酰亚胺薄膜上制备连续面形的微透镜结构,开发了一种薄膜光刻刻蚀的工艺方法.首先利用移动掩模曝光得到连续面形的光刻胶微浮雕结构,再通过反应离子刻蚀技术将微结构高保真度、低粗糙度地转移到PI薄膜上.为解决刻蚀过程中最关键的等比刻蚀问题,分别研究了刻蚀气体组分的优选、气体组分配比和气体流量的优化等对等比刻蚀的影响.实验结果表明:在一定的刻蚀条件(如射频功率、腔室压强和自偏压)下,O2+SF6的混合工作气体中,O2为一定值,随着SF6占的比例增加至13.04%,总流量为46sccm的优化值时,实现了刻蚀速率和刻蚀比分别为136nm/min和1∶1.02,刻蚀误差仅为2.3%的较好各向异性刻蚀.通过实验室搭建的焦距测试系统,证明了该方法在PI薄膜上制备的微透镜阵列与石英上具有相同的光学特性. 展开更多
关键词 微透镜 移动掩膜曝光 反应离子刻蚀 等比刻蚀 聚酰亚胺 各向异性 光学特性
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高光束质量大功率垂直腔面发射激光 被引量:4
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作者 宁永强 张星 +5 位作者 秦莉 刘云 王伟 张立森 王贞福 王立军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3219-3225,共7页
大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)在激光泵浦、激光测距、激光雷达等领域有广泛的应用前景,但目前的常规激光器材料结构尚未针对大功率激光输出进行优化设计。特别是为获得大功率激光输出所采用的大出光窗口导致的激光光束质量劣化成为... 大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)在激光泵浦、激光测距、激光雷达等领域有广泛的应用前景,但目前的常规激光器材料结构尚未针对大功率激光输出进行优化设计。特别是为获得大功率激光输出所采用的大出光窗口导致的激光光束质量劣化成为限制其应用发展的核心问题之一。针对上述问题对激光器材料结构与器件结构进行了两方面的新结构设计和研制:(1)以实现大功率激光输出为目标,材料结构设计上对出光窗口一侧的N-DBR反射率进行了调整,以具有99.3%反射率的n-DBR替代常规结构中所采用的99.7%以上反射率。与常规材料结构相比,采用优化后的材料结构制备的直径500μm出光孔径的单管器件在注入电流110 A时激光输出功率达到102 W,而单元出光窗口直径100μm的5×5阵列在100 A电流下的激光输出功率为103 W,单元直径为140μm的8×8阵列在130 A注入电流下的激光输出功率达到115 W;(2)针对大出光窗口导致的光束质量劣化,通过湿法化学刻蚀研制了直接集成在出光窗口表面的微透镜结构,单元出光窗口直径为90μm的6×6阵列器件在4 A注入电流下的激光光束发散角压缩到6.6°,与未集成微透镜时的14.8°相比有了大幅改善。实验结果表明:降低n-DBR反射率及集成微透镜结构有效地改善提高了大功率垂直腔面发射激光的输出功率和激光光束质量。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 大功率 高光束质量 微透镜 窄脉冲
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