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题名频闪白光干涉技术（英文）
被引量：1
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作者
陈亮嘉
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机构
台湾大学
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出处
《计测技术》
2018年第3期1-30,共30页
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文摘
频闪白光干涉技术(SWLI)能够对被测系统进行动态模式的重建和表征,在微机电系统(MEMS)或微光机电系统(MOEMS)等振动样品测量中具有很高的实用性。传统频闪方法不能预先检测或分析具有单个振动激励源的微结构,而频闪白光干涉技术则解决了这一问题。为全面了解这一新开发的技术,本文从理论、技术方法和该技术各种应用的实验结果及分析进行了介绍。该技术为MEMS,MOEMS甚至微纳尺度生物体动态性能的重建和分析提供了一种有效的方法。实验结果和分析证明了频闪白光干涉技术在实际应用中具有良好的可行性和准确性。
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关键词
白光干涉法
动态测量
频闪白光干涉法(SWLI)
微机电系统(mems)
微光机电系统(MOEMS)
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Keywords
white light intefferometry
dynamic measurement
stroboscopic white light intefferometry （SWLI）
micro electro mechanicalsystems （mems）
miero-opto-eleetro-meehanieal systems （MOEMS）
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分类号
TB92
[一般工业技术—计量学]
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题名脉冲激光冲击处理下电镀铜薄膜疲劳特性分析
被引量：1
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作者
刘小冬
尚德广
柳会
徐明辉
徐姣
刘天亮
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机构
北京工业大学机械工程与应用电子技术学院
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出处
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期751-756,共6页
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基金
国家自然科学基金重大国际合作项目(51010006)
国家自然科学基金(50975005)
+1 种基金
北京市自然科学基金(3092003)
北京市教委科技计划重点项目(KZ201010005003)资助~~
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文摘
采用20 W光纤激光器对电镀铜薄膜双侧U形缺口试件进行激光冲击处理。试件采用准LIGA(lithographie,galvanformung,abformung)工艺电镀方法制备。在室温条件下,通过控制载荷对激光冲击处理前后的试件进行脉动拉伸疲劳试验,研究分析其机械疲劳特性变化的机理。通过对比冲击情况下同一周次的疲劳滞后环面积,发现激光束冲击到缺口边缘内侧的试件疲劳性能明显提高。研究表明,在各自一定的名义应力范围内,未经冲击处理强化试件的损伤要比激光冲击处理强化后试件的损伤大。激光冲击处理方式可使材料的疲劳性能增强,从而使疲劳寿命延长。
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关键词
电镀铜薄膜
激光冲击处理
疲劳寿命
滞后环
微机械电子系统
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Keywords
Copper thin film
Laser shock peening （LSP）
Fatigue life
Hysteresis loop
micro-electro-mechanicalsystems （mems）
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分类号
U416.217
[交通运输工程—道路与铁道工程]
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