期刊文献+
共找到1,082篇文章
< 1 2 55 >
每页显示 20 50 100
单片集成三轴微机电陀螺仪 被引量:3
1
作者 邢朝洋 赵克 徐宇新 《导航与控制》 2017年第2期58-63,共6页
为使陀螺仪进一步小型化、集成化,提出了一种新型单片集成三轴微机电陀螺仪,该陀螺仪采用单一MEMS结构芯片实现3个轴向角速度的测量。介绍了单片三轴陀螺仪工作方式、结构设计以及电路原理,完成了MEMS结构的流片加工,对陀螺仪表头和整... 为使陀螺仪进一步小型化、集成化,提出了一种新型单片集成三轴微机电陀螺仪,该陀螺仪采用单一MEMS结构芯片实现3个轴向角速度的测量。介绍了单片三轴陀螺仪工作方式、结构设计以及电路原理,完成了MEMS结构的流片加工,对陀螺仪表头和整机进行了测试,单片三轴微机电陀螺仪x轴、y轴和z轴零偏稳定性分别达到53.4(°)/h、70.8(°)/h和18.4(°)/h,非线性度分别为1.59×10^(-4)、3.3×10^(-4)和2.18×10^(-4)。该陀螺仪具有三轴角速率检测效应,具有集成度高、体积小的优势,具有较强的应用潜力。 展开更多
关键词 单片三轴 微机电 陀螺仪 零偏稳定性
原文传递
单轴柔性铰链设计方法研究 被引量:62
2
作者 李玉和 李庆祥 +1 位作者 陈璐云 白立芬 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期172-174,共3页
针对微机电系统中常用单轴柔性铰链机构原始理论设计的复杂性 ,提出了简洁而准确的单轴柔性铰链设计计算方法。从基础理论出发推导出了柔性铰链刚度及转角设计公式 ,分析了柔性铰链设计中结构参数与性能的关系。通过一种压电驱动微动工... 针对微机电系统中常用单轴柔性铰链机构原始理论设计的复杂性 ,提出了简洁而准确的单轴柔性铰链设计计算方法。从基础理论出发推导出了柔性铰链刚度及转角设计公式 ,分析了柔性铰链设计中结构参数与性能的关系。通过一种压电驱动微动工作台设计实例分析了单轴柔性铰链机构在微机电系统中的应用。实践证明了该方法的简便。 展开更多
关键词 柔性铰链 微机电系统 计算机辅助设计 刚度 转角 机械传动 可逆弹性支撑结构
原文传递
基于ME MS的姿态测量系统 被引量:48
3
作者 朱荣 周兆英 《测控技术》 CSCD 2002年第10期6-8,13,共4页
载体的姿态测量是载体进行预计轨迹运动的基础。姿态测量有多种方式 ,其中采用磁场传感器测量大地磁场确定航向的方法由于结构简单、体积小、重量轻、启动迅速、成本低等特点 ,自古至今一直得到应用。本课题在此基础上 ,利用微机电系统 ... 载体的姿态测量是载体进行预计轨迹运动的基础。姿态测量有多种方式 ,其中采用磁场传感器测量大地磁场确定航向的方法由于结构简单、体积小、重量轻、启动迅速、成本低等特点 ,自古至今一直得到应用。本课题在此基础上 ,利用微机电系统 (MEMS)技术 ,设计了由微机电传感器组合而成的微型方位水平仪 ,该系统由三轴微加速度计和三轴微磁强计组成。利用大地磁场和重力场在地理坐标系和载体坐标系之间的方向余弦转换进行绝对角度解算得到姿态角。该微型姿态测量系统体积小、重量轻、功耗低、启动快、无长期漂移 ,可进行全姿态动态连续测量 ,测角精度为± 0 .5°(俯仰和滚转 )、± 0 .7°(航向 )。 展开更多
关键词 MEMS 姿态测量系统 微机电系统 微加速度计 微磁强计
下载PDF
微机电系统的科学研究与技术开发 被引量:22
4
作者 丁衡高 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第9期1-5,共5页
着重论述了当前国际上微机电系统的相关基础理论研究、微机电系统制造工艺技术的发展、微机电系统发展动态与趋势,最后强调了探索适合我国国情的微机电系统发展途径的重要性。
关键词 微机电系统(MEMS) 微机械 微惯性测量组合(MIMU)
原文传递
微电子机械系统的力学特性与尺度效应 被引量:25
5
作者 梅涛 孔德义 +1 位作者 张培强 伍小平 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期373-379,共7页
针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了... 针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征。通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析 ,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论 。 展开更多
关键词 微电子机械系统 硅材料 尺度效应 微执行器 微机器人 微机械 力学特性
下载PDF
微尺度流动特性 被引量:34
6
作者 李战华 崔海航 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期476-480,共5页
通过微推进器小型化的具体问题说明微型化不是简单的尺寸缩小。微尺度流动所基于的物理因素与宏观流动不同 ,体现在流动涉及的表面积与体积之比增强、梯度参数效应及界面力效应等。物理因素作用的改变或新的因素参与 ,使微尺度流动呈现... 通过微推进器小型化的具体问题说明微型化不是简单的尺寸缩小。微尺度流动所基于的物理因素与宏观流动不同 ,体现在流动涉及的表面积与体积之比增强、梯度参数效应及界面力效应等。物理因素作用的改变或新的因素参与 ,使微尺度流动呈现新的特点 ,这为设计芯片和传感器中的流动提供了新的思路 ,正如文中介绍的增强层流混合方法。微尺度效应在流体力学理论方面也会有所体现 ,包括对基本方程、边界条件的修正。然而对流动现象的深入认识则是理论发展的关键。文中简单介绍了作者的研究组在微尺度液体流动实验方面的研究结果。 展开更多
关键词 微电子机械系统 液体流动 尺度效应
下载PDF
微电子机械系统中的残余应力问题 被引量:32
7
作者 钱劲 刘澂 +1 位作者 张大成 赵亚溥 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期393-401,共9页
残余应力一直是微系统技术 (MST)发展中一个令人关注的问题 ,它影响着MEMS器件设计、加工和封装的全过程。文中考虑薄膜中残余应力的起源 ,介绍测量残余应力的主要方法 ,并就计算薄膜中残余应力的Stoney公式及其推广形式作了详细的讨论 ... 残余应力一直是微系统技术 (MST)发展中一个令人关注的问题 ,它影响着MEMS器件设计、加工和封装的全过程。文中考虑薄膜中残余应力的起源 ,介绍测量残余应力的主要方法 ,并就计算薄膜中残余应力的Stoney公式及其推广形式作了详细的讨论 ,针对微尺度下残余应力对MEMS结构力学行为的影响 。 展开更多
关键词 微电子机械笼 残余应力 薄膜 屈曲 粘附 响应频率
下载PDF
一种微型柱体超声电机的研究 被引量:34
8
作者 朱华 陈超 赵淳生 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第12期128-133,共6页
对压电陶瓷片的布局方式与力系数之间的关系进行了分析,证明了压电陶瓷片粘贴在金属弹性体一阶弯振的波谷位置时其激振效率是最高的。研制了一种新型定子结构的微型柱体超声电机。该电机直径5mm,长30mm,重量4.2g。当驱动电压峰峰值为20... 对压电陶瓷片的布局方式与力系数之间的关系进行了分析,证明了压电陶瓷片粘贴在金属弹性体一阶弯振的波谷位置时其激振效率是最高的。研制了一种新型定子结构的微型柱体超声电机。该电机直径5mm,长30mm,重量4.2g。当驱动电压峰峰值为200V,驱动频率为53kHz时,电机最大转速为350r/min,堵转力矩为2.5×10?3N?m。因为这种电机结构比较简单紧凑,便于实现进一步的微型化。所以又利用压电陶瓷管为激励元件,研制出直径2mm,长度7mm,重量为0.258g的微型柱体超声电机。在驱动电压峰峰值为60V,驱动频率75kHz时电机的转速为813r/min。文中详细介绍了这2个微型电机的工作原理、结构特点和设计方法。 展开更多
关键词 微型电机 超声电机 微机电系统 优化设计 模态分析
下载PDF
硅基MEMS技术 被引量:18
9
作者 郝一龙 张立宪 +1 位作者 李婷 张大成 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期523-526,共4页
结合MEMS技术的发展历史 ,概括了当今硅基MEMS加工技术的发展方向。指出表面牺牲层技术和体硅加工技术是硅基MEMS加工技术的两条发展主线 ;表面牺牲层技术向多层、集成化方向发展 ;体硅工艺主要表现为键合与深刻蚀技术的组合 ,追求大质... 结合MEMS技术的发展历史 ,概括了当今硅基MEMS加工技术的发展方向。指出表面牺牲层技术和体硅加工技术是硅基MEMS加工技术的两条发展主线 ;表面牺牲层技术向多层、集成化方向发展 ;体硅工艺主要表现为键合与深刻蚀技术的组合 ,追求大质量块和低应力以及三维加工。SOI技术是新一代的体硅工艺发展方向 ; 展开更多
关键词 微电子机械系统 牺牲层 体硅工艺 深刻蚀
下载PDF
中国微纳制造研究进展 被引量:31
10
作者 王立鼎 褚金奎 +1 位作者 刘冲 罗怡 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2-12,共11页
介绍了中国微纳制造领域的总体概况。从微构件力学性能、微纳摩擦磨损及粘附行为研究、典型微流体器件输运特性研究、拓扑优化技术在微纳结构设计中的应用研究、微传热学的研究和微测试方法和装置的研究具体介绍了微纳制造基础理论方面... 介绍了中国微纳制造领域的总体概况。从微构件力学性能、微纳摩擦磨损及粘附行为研究、典型微流体器件输运特性研究、拓扑优化技术在微纳结构设计中的应用研究、微传热学的研究和微测试方法和装置的研究具体介绍了微纳制造基础理论方面取得的进展。从设计方法、硅基微机电系统(Micro electro mechanical system,MEMS)制造工艺、非硅MEMS制造工艺等方面介绍了微系统设计与加工工艺研究进展。从物理量微传感器、微执行器件与系统、微纳生化传感与分析和微能源等方面介绍了微纳器件与微纳系统的研究进展,最后对中国微纳制造发展进行了总结和展望。 展开更多
关键词 微纳制造 微电子机械系统 微传感器 微执行器
下载PDF
抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展 被引量:18
11
作者 王立鼎 吴一辉 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期121-122,206,共3页
阐明微型机械新型学科的内涵和广阔的应用前景。综述美、日等发达国家从事微型机械的研究与开发状况和国内微型机械的研究现状。提出了推动我国微型机械快速发展的建议。
关键词 微型机械 研究现状 发展建议
下载PDF
仿蚯蚓蠕动微机器人及控制系统 被引量:20
12
作者 马建旭 李明东 +1 位作者 包志军 王爱平 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第7期855-857,861,共4页
在研究蚯蚓运动机理的基础上,提出一种适用于微小软管移动的仿蚯蚓蠕动式微机器人.该机器人分为三个柔性单元体,每个柔性单元体主要由一对绝缘板、两板之间相连的三根形状记忆合金(SMA)元件、充入空气将SMA等加以封闭的橡胶... 在研究蚯蚓运动机理的基础上,提出一种适用于微小软管移动的仿蚯蚓蠕动式微机器人.该机器人分为三个柔性单元体,每个柔性单元体主要由一对绝缘板、两板之间相连的三根形状记忆合金(SMA)元件、充入空气将SMA等加以封闭的橡胶囊组成.在SMA的形状记忆效应和橡胶气囊的综合作用下,柔性单元体可实现蚯蚓各节相类似的运动,从而实现微机器人蠕动式前进.研制了该机器人的控制系统,并进行了简单的试验.理论和试验表明,该机器人既能满足柔软性、安全性要求,且结构原理新颖,又具有其他微机器人无法比拟的优势. 展开更多
关键词 机器人 微电子机械系统 控制系统 仿蚯蚓蠕动
下载PDF
微能源 被引量:19
13
作者 刘路 解晶莹 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期470-474,共5页
微电子机械系统 (MEMS———MicroElectroMechanicalSystems) ,是指运用微电子加工技术和微机械加工技术 ,在较小的物理尺寸上 ,集成了微机械元件 ,微传感器 ,微机械执行器 ,微电子元件、电路和供能部件的器件或是系统。目前供能问题已... 微电子机械系统 (MEMS———MicroElectroMechanicalSystems) ,是指运用微电子加工技术和微机械加工技术 ,在较小的物理尺寸上 ,集成了微机械元件 ,微传感器 ,微机械执行器 ,微电子元件、电路和供能部件的器件或是系统。目前供能问题已经成为MEMS降低成本、进入实用化、自动化的最大障碍。现有的一个解决方案是微能源。介绍了微能源技术的发展和技术现状 ,分别讨论了微型内燃机系统、微燃料电池、微太阳电池、微型锂电池、微型核电池等几种微能源的制造工艺 ,工作特性以及应用现状。简单分析了微能源的发展方向和应用前景。 展开更多
关键词 微能源 微电子机械系统 制造工艺 工作特性
下载PDF
基于UKF的MEMS传感器姿态测量系统 被引量:29
14
作者 赵鹤 王喆垚 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期642-646,共5页
针对工业和民用领域对姿态测量的需求,提出了基于MEMS加速度计、陀螺仪和磁强计的姿态测量系统,并采用无先导卡尔曼滤波(Unscented Kalm an F ilter,UKF)方法处理传感器数据。针对基于加速度计和磁强计的姿态测量方式在动态测量时不准... 针对工业和民用领域对姿态测量的需求,提出了基于MEMS加速度计、陀螺仪和磁强计的姿态测量系统,并采用无先导卡尔曼滤波(Unscented Kalm an F ilter,UKF)方法处理传感器数据。针对基于加速度计和磁强计的姿态测量方式在动态测量时不准确的问题和单独采用陀螺仪测量角度产生漂移的问题,设计了基于方向旋转矩阵的UKF滤波器:结合两种测量方式的优点,互相克服各自的不足。经过UKF处理后:在静态测试中,测量系统没有积累误差;在动态测试中,陀螺仪补偿了加速度计和磁强计测量方法的中产生的毛刺。实验结果表明,所设计的姿态系统可以达到很高的精度;通过嵌入式系统完成数据采集和滤波,姿态测量系统具有很好的实时性。 展开更多
关键词 惯性导航 姿态测量 微机电系统(MEMS) 无先导卡尔曼滤波(UKF)
下载PDF
三轴数字MEMS加速度计现场标定方法 被引量:28
15
作者 彭孝东 张铁民 +1 位作者 李继宇 闫国琦 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期544-548,595,共5页
微机电系统(micro electro mechanical systems,简称MEMS)加速度传感器作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测中有着广泛应用。根据三轴数字加速度传感器的输出数学模型,详细推导了如何计算数学模型中标度因数、安装误差系数以及零偏值... 微机电系统(micro electro mechanical systems,简称MEMS)加速度传感器作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测中有着广泛应用。根据三轴数字加速度传感器的输出数学模型,详细推导了如何计算数学模型中标度因数、安装误差系数以及零偏值。提出一种基于长方体的六位置简单标定方法,对比三轴转台精确标定结果表明六位置简单标定法简单易行,精度较高,易于单片机实现,适合不具备三轴转台的场所,且该方法对MEMS三轴数字加速度计的校准具有很好的通用性。 展开更多
关键词 微机电系统 加速度计传感器 标定 转台
下载PDF
一种压阻式微压力传感器 被引量:24
16
作者 李伟东 吴学忠 李圣怡 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第7期1-2,5,共3页
微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一,它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。为增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。基于一些相关的微加工工艺制定了制... 微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一,它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。为增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。基于一些相关的微加工工艺制定了制作这种微传感器的工艺流程并且制作成功了传感芯片。设计了一个处理电路去获得此传感器的输出信号,它由两级放大电路和两级巴特沃斯低通滤波电路组成。最后利用这个测试系统检测出了随压力变化而发生变化的微电压信号。 展开更多
关键词 微机电系统 压阻式 微传感器 测试系统
下载PDF
微型机械的特点、研究现状和应用 被引量:17
17
作者 赵淳生 陈启东 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 1998年第1期8-15,共8页
简明地叙述了微型机械的特点,综述了微型机械在国内外的研究现状,强调了微型马达的研究在微型机械发展中的重要地位,列举了微型机械应用的典型实例。最后对我国在九五期间发展微型机械提出了一些建议。
关键词 微型机械 微电子机械系统 微系统 微型机器人
下载PDF
基于四元数EKF算法的小型无人机姿态估计 被引量:24
18
作者 宋宇 翁新武 郭昕刚 《吉林大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期511-518,共8页
针对小型无人机设计的姿态测量系统,提出一种用于小型无人机姿态估计的四元数扩展Kalman滤波算法.该算法通过建立四元数姿态运动模型和航姿传感器测量模型,构建了以四元数和陀螺仪随机漂移为状态向量、以加速度计测量值和磁阻仪解算的... 针对小型无人机设计的姿态测量系统,提出一种用于小型无人机姿态估计的四元数扩展Kalman滤波算法.该算法通过建立四元数姿态运动模型和航姿传感器测量模型,构建了以四元数和陀螺仪随机漂移为状态向量、以加速度计测量值和磁阻仪解算的航向角为观测向量的扩展Kalman滤波器,并设计了自适应测量噪声协方差矩阵修正法.实验结果表明,该算法不但解决了微机电系统惯性器件用于载体姿态测量时精度低、易发散、易被干扰的问题,而且显著减小了陀螺仪随机漂移对姿态估计的影响,有效提高了姿态估计的精度. 展开更多
关键词 四元数 扩展Kalman滤波 姿态估计 微机电系统 小型无人机
下载PDF
纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装 被引量:24
19
作者 张国军 陈尚 +2 位作者 薛晨阳 张斌珍 张开瑞 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2009年第3期221-227,共7页
提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术.期望结合MEMS工艺和仿生组装工艺技术,解决复杂结构的仿生制造问题.文中简单介绍了仿生学理论以及定向探测机理.采用MEMS基硅微机械加工技术完成了传感器微结构的加工.... 提出了一种纤毛式微机电系统(MEMS)矢量水声传感器的仿生组装技术.期望结合MEMS工艺和仿生组装工艺技术,解决复杂结构的仿生制造问题.文中简单介绍了仿生学理论以及定向探测机理.采用MEMS基硅微机械加工技术完成了传感器微结构的加工.通过模仿鱼类侧线器官神经丘感觉器的仿生结构,完成了传感器仿生微结构的组装,制作出纤毛式硅微仿生矢量水声传感器的模型样机.最后,完成了传感器的校准测试.测试结果表明,该水声传感器不但体积小、质量轻、结构简单,而且具有"8"字型的指向特性.该水声传感器的声压灵敏度为-197.7 dB(0 dB=1 V/μPa). 展开更多
关键词 微机电系统 仿生组装 纤毛 矢量水声传感器
下载PDF
MEMS加速度传感器的数据采集和预处理 被引量:24
20
作者 韩盈党 李哲 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第2期16-19,共4页
设计了一种基于微机电系统(MEMS)加速度传感器的数据采集单元,用微处理器通过内部集成电路(I2C)总线采集加速度传感器ADXL345的数据,对数据进行低通滤波、零偏误差修正以及去除重力加速度等,从而得到载体的运动加速度,并对加速度进行二... 设计了一种基于微机电系统(MEMS)加速度传感器的数据采集单元,用微处理器通过内部集成电路(I2C)总线采集加速度传感器ADXL345的数据,对数据进行低通滤波、零偏误差修正以及去除重力加速度等,从而得到载体的运动加速度,并对加速度进行二次积分得到位移,在100 m范围内实测多次,仿真计算位移误差在2%以内。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 加速度传感器 内部集成电路(I2C) 数据预处理
下载PDF
上一页 1 2 55 下一页 到第
使用帮助 返回顶部