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静电悬浮式惯性仪表中的微位移检测技术 被引量：9
1
作者 韩丰田 吴秋平 董景新 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第1期72-76,共5页
静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来,对基于MEMS工艺的悬浮式微惯性传感器的研究引起了广泛的重视。介绍了静电悬浮式惯性仪表中采用的差动电容式微位... 静电陀螺仪、空间静电加速度计等基于静电悬浮的惯性仪表在高精度的惯性导航和空间微重力测量领域得到广泛应用。近年来,对基于MEMS工艺的悬浮式微惯性传感器的研究引起了广泛的重视。介绍了静电悬浮式惯性仪表中采用的差动电容式微位移检测电路的原理,分别对静电陀螺、静电加速度计和MEMS微陀螺、微加速度计的电极配置方案和位移检测的接口电路进行了分析,并对不同的位移检测方案进行了比较。 展开更多
关键词 静电悬浮 差动电容传感器 微位移检测 惯性仪表
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一种基于微位移检测的PLC控制某轴承零件尺寸分拣装置 被引量：1
2
作者 李思成 季锦程 +3 位作者 辛毅 张浩 管建峰 高飞 《现代制造技术与装备》 2018年第2期147-148,共2页
介绍了一种通过PLC控制的微位移检测器来检测轴承零件内径的平台。详细介绍了总体技术方案和结构,阐述了具体的实施方案,最后进行了平台精度分析和制订了PLC控制方案,具有很高的实用性。
关键词 微位移传感检测 分拣系统 PLC控制编程
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基于电容微位移感知单元的多维力感知机构分析与设计 被引量：1
3
作者 蔡大军 尹航 +2 位作者 陈雷 许允斗 姚建涛 《机械设计》 CSCD 北大核心 2020年第12期43-50,共8页
提出了一种可以测量六维微位移的电容式感知单元,可将部件间的六维位移转化成可识别的电容信号。首先对提出的微位移感知单元进行了分析,推导出了从二维微位移感知单元到六维力感知单元的解耦关系式;其次针对提出的多维力感知机构弹性... 提出了一种可以测量六维微位移的电容式感知单元,可将部件间的六维位移转化成可识别的电容信号。首先对提出的微位移感知单元进行了分析,推导出了从二维微位移感知单元到六维力感知单元的解耦关系式;其次针对提出的多维力感知机构弹性体进行了刚度建模,推导出了多维力与微位移之间的映射矩阵,并推导出误差矩阵;最后对多维力感知机构进行了虚拟标定,分析了误差产生的可能原因。该电容六维力传感器具有较小的理论误差和较高的可行度,为该领域后续的设计研究奠定了一定的基础。 展开更多
关键词 多维力感知机构 微型电容 微位移感知单元 映射
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基于激光自动搜寻的微位移传感系统设计 被引量：1
4
作者 李婷 解旭辉 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第6期39-41,共3页
基于激光自动聚焦探测原理研究开发了一种非接触式微位移传感系统。利用光驱内的激光头,根据自动聚焦的原理进行设计,在“S”曲线法的基础上又提出了一种新的测量方法——自动搜寻法。将这2种方法相结合,既可进行大量程的测量,也可进行... 基于激光自动聚焦探测原理研究开发了一种非接触式微位移传感系统。利用光驱内的激光头,根据自动聚焦的原理进行设计,在“S”曲线法的基础上又提出了一种新的测量方法——自动搜寻法。将这2种方法相结合,既可进行大量程的测量,也可进行较小量程内高分辨力的测量。大量程(1.8mm)内的分辨力为2μm,较小量程(200μm)内的分辨力可达0.2μm。试验表明该系统具有良好的线性度、重复性和动态响应特性,可用来测量复杂物体表面的面形。 展开更多
关键词 微位移传感系统 自动搜寻法 自动聚焦 激光头 误差信号
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