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微系统三维集成技术的新发展 被引量:23
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作者 赵正平 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第1期1-10,共10页
进入新世纪,微电子的发展进入纳电子/集成微系统时代,人们在继续发展摩尔定律的同时,创新了超越摩尔定律的微系统三维集成技术。介绍了在成像传感、光集成微系统、惯性传感微系统、射频微系统、生物微系统和逻辑微系统的三维集成技术的... 进入新世纪,微电子的发展进入纳电子/集成微系统时代,人们在继续发展摩尔定律的同时,创新了超越摩尔定律的微系统三维集成技术。介绍了在成像传感、光集成微系统、惯性传感微系统、射频微系统、生物微系统和逻辑微系统的三维集成技术的新发展,包含MEMS和IC的3D异构集成、具有Si插入器的SiP3D集成和异质3D集成等技术和各自相应的特点,以及在各应用领域所产生的革命性成果。还介绍了微系统三维集成中有关TSV的可靠性研究的最新进展。 展开更多
关键词 微系统 3D集成 成像传感 光集成 惯性传感 射频(RF) 生物 多核逻辑电路 芯片上网络 可靠性 异构集成
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微构件材料力学性能测试方法 被引量:15
2
作者 苏才钧 吴昊 +2 位作者 郭占社 孟永钢 温诗铸 《实验力学》 CSCD 北大核心 2005年第3期441-447,共7页
随着MEMS的商业化进程,微构件材料力学性能的研究成为越来越重要的一个课题。微小试件的制备、安装、夹持、微驱动、高分辨率的载荷和位移测量等技术问题都是对微构件材料力学性能测试的很大挑战,很多传统的测试方法和装置已经不再适用... 随着MEMS的商业化进程,微构件材料力学性能的研究成为越来越重要的一个课题。微小试件的制备、安装、夹持、微驱动、高分辨率的载荷和位移测量等技术问题都是对微构件材料力学性能测试的很大挑战,很多传统的测试方法和装置已经不再适用了。近十几年,国内外学者发展了一些微构件材料力学性能的研究方法,来测量微构件的弹性模量、屈服强度、断裂强度、残余应力和疲劳强度等。本文从实验系统的集成度出发,将这些测试方法大致分为片外测试和片上测试两类。本文对单轴拉伸法、纳米压痕法、鼓膜法、微梁弯曲法和衬底曲率法等典型的片外测试方法和一些典型的片上测试方法进行了介绍,并比较了各自的优缺点。 展开更多
关键词 微构件 力学性能测试 MEMS 片上测试 片外测试
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基于MSP430单片机的数控直流稳压电源的设计 被引量:8
3
作者 李银桥 刘裕凌 +1 位作者 刘学锋 黄山 《计算机测量与控制》 2016年第12期231-233,236,共4页
随着现代电力电子技术的不断发展,大量高精度电子设备出现,这些设备的稳定运行都离不开高品质直流稳压电源的支持;基于MSP430单片机设计并实现了一款数控直流稳压电源,该电源由单片机控制电路、稳压输出电路、液晶显示电路、辅助电... 随着现代电力电子技术的不断发展,大量高精度电子设备出现,这些设备的稳定运行都离不开高品质直流稳压电源的支持;基于MSP430单片机设计并实现了一款数控直流稳压电源,该电源由单片机控制电路、稳压输出电路、液晶显示电路、辅助电源电路等组成;可通过按键实现输出电压的预置,并通过液晶显示,输出电压在0~20V之间可调,通过“+”“-”两键操作,电压最小步进值为0.1V,可根据实际需求设置输出电压值;该电源带负载能力强,具有过流过压保护功能,并且具有精度高、稳定性好,线路简单等特点。 展开更多
关键词 单片机 稳压电源 高精度 稳压芯片
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不锈钢微孔超声辅助钻削仿真与试验研究 被引量:7
4
作者 聂倩倩 王西彬 +3 位作者 梁志强 周天丰 焦黎 颜培 《航空制造技术》 2018年第11期94-100,共7页
针对不锈钢微孔钻削过程钻削应力大、断屑排屑困难和加工质量差等问题,开展了超声辅助钻削研究。分析了普通和超声钻削过程的钻头运动轨迹和轴向切削厚度,采用有限元仿真和钻削试验相结合的方式分析了超声振动对钻削力、切屑卷曲半径和... 针对不锈钢微孔钻削过程钻削应力大、断屑排屑困难和加工质量差等问题,开展了超声辅助钻削研究。分析了普通和超声钻削过程的钻头运动轨迹和轴向切削厚度,采用有限元仿真和钻削试验相结合的方式分析了超声振动对钻削力、切屑卷曲半径和微孔形貌的作用。结果表明:与普通钻削相比,超声钻削过程中,钻头有效切削作用时间和横刃作用区域应力降低,切屑卷曲半径减小,容易断屑,并且钻削力和微孔入口毛刺减小,微孔形貌大幅改善。 展开更多
关键词 不锈钢 微孔 超声辅助钻削 仿真 钻削力 切屑形貌
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微型片式收发组件技术研究 被引量:7
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作者 李吉浩 戴扬 +2 位作者 施鹤年 韩宗杰 张金平 《微波学报》 CSCD 北大核心 2016年第6期31-34,共4页
针对采用有源相控阵技术的高分辨率合成孔径雷达(SAR)应用要求,设计制作了一款尺寸小、重量轻、厚度薄、可与片式天线阵面相兼容的片式T/R组件,对该片式T/R组件的接收和发射电路、垂直互连性能进行了仿真分析,并对该T/R组件样机进行测... 针对采用有源相控阵技术的高分辨率合成孔径雷达(SAR)应用要求,设计制作了一款尺寸小、重量轻、厚度薄、可与片式天线阵面相兼容的片式T/R组件,对该片式T/R组件的接收和发射电路、垂直互连性能进行了仿真分析,并对该T/R组件样机进行测试验证,在X波段获得的测试结果为:接收增益大于24 d B,噪声系数小于3d B,发射功率大于1 W,垂直互连的端口驻波小于1.35,垂直互连的插损小于0.2 d B。尺寸仅为10 mm×10 mm×5mm,可应用于相关工程中。 展开更多
关键词 收发组件 微型片式 噪声系数 增益
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微流道精密磨削技术及自驱动检测芯片实验研究 被引量:7
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作者 谢晋 郭奥钿 +2 位作者 卢阔 罗敏健 申洪杰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期1743-1750,共8页
针对病原体检测用芯片需要蠕动泵和离心机外加驱动的问题,设计微V槽流道的自驱动芯片,研究微液体流动的微流道拓扑结构及其精密磨削技术。因为激光等物理加工难以保证微拓扑结构精度,所以采用金刚石磨削技术实现石英玻璃表面的微V槽流... 针对病原体检测用芯片需要蠕动泵和离心机外加驱动的问题,设计微V槽流道的自驱动芯片,研究微液体流动的微流道拓扑结构及其精密磨削技术。因为激光等物理加工难以保证微拓扑结构精度,所以采用金刚石磨削技术实现石英玻璃表面的微V槽流道精密加工。基于多轴联动技术和机械物理去除原理开发了砂轮微尖端的高效精密在位修整工艺,可将磨粒精密修尖至同一角度,进行机械精密复制的塑性域微磨削。然后,实验分析微V槽流道的尖角、表面粗糙度、梯度等对微液体流速的影响。最后,制造出病原体检测的微流控芯片。研究结果显示,更大梯度、更小尖角和更小粗糙度以及尖角端分布的纳米流道可以大幅提高微液体流速。而且,微流道的V槽尖端半径为15μm,表面粗糙度为30 nm,可诱导微液体运动。在此基础上,研发的自驱动微流控芯片不需离心机就能够检测出布鲁氏菌的病原体核酸,检测灵敏度可以小于100 ag/μL。 展开更多
关键词 微细磨削 微流控芯片 病原体检测
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超精密车削时切屑形成及表面微观形貌形成机理的研究 被引量:4
7
作者 王晓霞 王洪祥 李明洪 《工具技术》 北大核心 2001年第9期14-16,共3页
在亚微米级CNC超精密车床上进行了单晶金刚石刀具切削试验 ,根据试验结果分析了切屑形成机理和最小切削厚度与表面粗糙度之间的关系 ,建立了加工表面微观形貌的几何模型。研究结果表明 :通过计算最小切削厚度值可预测金刚石车削加工可... 在亚微米级CNC超精密车床上进行了单晶金刚石刀具切削试验 ,根据试验结果分析了切屑形成机理和最小切削厚度与表面粗糙度之间的关系 ,建立了加工表面微观形貌的几何模型。研究结果表明 :通过计算最小切削厚度值可预测金刚石车削加工可获得的表面粗糙度值。 展开更多
关键词 超精密车削 金刚石刀具 微切屑 表面粗糙度 表面微观形貌
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2.5GHz RF功率放大器和低噪声放大器模块的设计与实现 被引量:4
8
作者 李树翀 韩振宇 吴德馨 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期18-20,24,共4页
功率放大器(PA)和低噪声放大器(LNA)模块是射频(RF)混合集成电路的重要组成部 分。文章介绍了2.5 GHz功率放大器和低噪声放大器的设计及其实现过程;阐述了模块中微带线的 设计,以及倒扣封装的实现。该模块具有良好的线性度、较大的线性... 功率放大器(PA)和低噪声放大器(LNA)模块是射频(RF)混合集成电路的重要组成部 分。文章介绍了2.5 GHz功率放大器和低噪声放大器的设计及其实现过程;阐述了模块中微带线的 设计,以及倒扣封装的实现。该模块具有良好的线性度、较大的线性空间、稳定的增益,符合设计要 求。 展开更多
关键词 功率放大器 低噪声放大器 微带线 PCB 倒扣工艺 S参数
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系统结构状态对微小芯片贴片精度的影响 被引量:5
9
作者 侯一雪 王敏 《电子工艺技术》 2020年第3期146-149,共4页
芯片贴片技术是微电子元器件封装工艺流程中的第一道工序,是后道封装工艺的基础。随着微电子芯片设计技术及元器件设计技术的发展,芯片尺寸已经微型化,对贴片工艺提出了更高要求。全自动贴片设备是解决此工艺问题的主要工艺设备。高精... 芯片贴片技术是微电子元器件封装工艺流程中的第一道工序,是后道封装工艺的基础。随着微电子芯片设计技术及元器件设计技术的发展,芯片尺寸已经微型化,对贴片工艺提出了更高要求。全自动贴片设备是解决此工艺问题的主要工艺设备。高精度自动拾放技术是全自动贴片设备的核心技术,从全自动贴片设备系统结构状态的角度分析了影响微小芯片贴片精度的几个要点。 展开更多
关键词 微小芯片 拾放技术 贴片精度 全自动贴片设备
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微型倒装AlGaInP发光二极管阵列器件的光电性能 被引量:5
10
作者 班章 梁静秋 +1 位作者 吕金光 李阳 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期315-322,共8页
为进一步提高红光微型发光二极管(LED)阵列器件的能量利用效率,对倒装AlGaInP LED阵列器件的光电性能进行研究。首先,测试对比了垂直型和倒装型AlGaInP LED两种芯片结构的出光性能,表明倒装型LED具有更高的出光功率。其次,建立了倒装型... 为进一步提高红光微型发光二极管(LED)阵列器件的能量利用效率,对倒装AlGaInP LED阵列器件的光电性能进行研究。首先,测试对比了垂直型和倒装型AlGaInP LED两种芯片结构的出光性能,表明倒装型LED具有更高的出光功率。其次,建立了倒装型LED阵列出光功率模型,计算得到了出光功率与环境温度、基底热阻的关系:随基底热阻增大、环境温度升高,AlGaInP LED阵列器件的出光功率逐渐降低,出光饱和处对应的注入电流前移,光电性能逐渐下降。然后,采用转印法制备了6×6倒装AlGaInP LED阵列,测试结果表明,理论与实测结果较为一致。最后,利用有限元软件计算分析了Cu和聚二甲基硅氧烷(PDMS)这两种常见基底的热阻随环境、结构变化的数值关系。结果显示:Cu基底的散热较为均匀,优化基底结构或增加空气对流速率,对Cu基底热阻值的改变相对较小;PDMS材料的散热均匀性相对较差,通过优化基底结构、增大空气对流速率可以有效降低基底热阻,改善微型LED阵列器件的光电性能。 展开更多
关键词 光学器件 微型 倒装 红光 AlGaInP发光二极管阵列
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基于LM3S811的多路电机控制系统设计 被引量:5
11
作者 谷士鹏 马亚平 张洋 《电子设计工程》 2019年第1期134-139,共6页
设计了一种基于LM3S811的多路电机控制系统。该系统以LM3S811微控制器作为系统核心,电机驱动芯片MC33887通过微控制器产生的PWM控制信号来控制各个电机的运转,信号采集模块通过多路开关的选择可以实现对多路电机的监测,从而实现电机的... 设计了一种基于LM3S811的多路电机控制系统。该系统以LM3S811微控制器作为系统核心,电机驱动芯片MC33887通过微控制器产生的PWM控制信号来控制各个电机的运转,信号采集模块通过多路开关的选择可以实现对多路电机的监测,从而实现电机的闭环控制。软件中运用中断机制,实现对指令的初步解析,系统可以同步控制多路电机按照一定轨迹运动,同时可以调节电机运动的加减速参数。试验结果表明,该系统具有良好的稳定性。 展开更多
关键词 微控制器 多路电机 驱动芯片 闭环控制
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miRNA的芯片研究在神经外科领域的进展 被引量:5
12
作者 梁思泉 只达石 黄慧玲 《医学综述》 2007年第22期1724-1726,共3页
微RNA(microRNA,miRNA)是一些长度为22核苷酸左右的非编码调控RNA家族。基于它的基因同源性、保守性及特异性等特点,影响蛋白质的合成,进而调节生物细胞的发育。随着基因芯片技术的进步,miRNA的研究取得了一定突破。尤其是在神经外科领... 微RNA(microRNA,miRNA)是一些长度为22核苷酸左右的非编码调控RNA家族。基于它的基因同源性、保守性及特异性等特点,影响蛋白质的合成,进而调节生物细胞的发育。随着基因芯片技术的进步,miRNA的研究取得了一定突破。尤其是在神经外科领域,研究发现,miR-124、miR-125、miR-95、miR-1b-2、miR-9、miR-128、miR-99b等在脑发育中起到重要作用。miR-15a和miR-16-1在垂体腺瘤中,miR-21在胶质母细胞瘤中,miR-10b在原发多形胶质瘤组织中,均有明显高表达。miRNA将在神经外科疾病的诊断和治疗等各方面起到重要作用。 展开更多
关键词 脑肿瘤 MIRNA 基因芯片
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Micro LED微显示芯片制备技术 被引量:4
13
作者 陈佳昕 李梦梅 郭伟玲 《照明工程学报》 2021年第1期12-18,共7页
Micro LED微显示技术是将传统LED薄膜化、微小化和矩阵化,像素点距离从毫米级降至微米级,并在一个芯片上高度集成的固体自发光显示技术,因其低功耗、响应快、寿命长、发光效率高等特点,被视为一种独特的显示面板技术。本文主要介绍了Mic... Micro LED微显示技术是将传统LED薄膜化、微小化和矩阵化,像素点距离从毫米级降至微米级,并在一个芯片上高度集成的固体自发光显示技术,因其低功耗、响应快、寿命长、发光效率高等特点,被视为一种独特的显示面板技术。本文主要介绍了Micro LED微显示芯片的制备技术,包括芯片结构设计、制备技术优化、光电集成芯片制备技术、巨量转移技术,最后介绍了芯片小型化效应。 展开更多
关键词 微显示 芯片制备 光电集成 芯片小型化效应
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快速检测糖化血红蛋白的免疫微传感器 被引量:4
14
作者 边超 屈岚 +3 位作者 薛茜男 孙楫舟 张虹 夏善红 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2010年第1期20-24,共5页
研制基于标准CM05工艺和微加工技术的微型糠化血红蛋白免疫传感器,可用于血液中糖化血红蛋白浓度与血红蛋白浓度的快速检测.该微传感器包括含有信号读出电路的传感集成芯片和一次性测试试条,实现了对4—24μg/mL糖化血红蛋白和60~18... 研制基于标准CM05工艺和微加工技术的微型糠化血红蛋白免疫传感器,可用于血液中糖化血红蛋白浓度与血红蛋白浓度的快速检测.该微传感器包括含有信号读出电路的传感集成芯片和一次性测试试条,实现了对4—24μg/mL糖化血红蛋白和60~180μg/mL血红蛋白的检测,响应时间小于3min,试剂用量10μL,具有简便、快速、试剂用量少等优点. 展开更多
关键词 CMOS 微加工 糖化血红蛋白 集成芯片
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新型智能电子体温计的研究 被引量:3
15
作者 庄春生 杨杰 +1 位作者 刘宏伟 肖红 《河南科学》 2004年第6期853-855,共3页
以单片机为核心研制成新型智能电子体温计。在软件控制下,实现智能化的体温测量,不但能精确测温,而且能对温度进行语音播报、逻辑判断,并用LCD模块将判断结果以汉字的形式显示出来。
关键词 智能功能 单片机 电子体温计 语音芯片 液晶显示
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雨量光线传感器接口芯片MLX75308及其应用 被引量:4
16
作者 韩芝侠 马鸣 《新技术新工艺》 2014年第12期77-80,共4页
随着光电技术、集成电路技术和检测控制技术的飞速发展,将雨量光线传感器RLS应用在汽车上从而实现雨刷自动刮水和车前灯自动控制等是近年来汽车传感器应用中的研究热点。重点介绍了德国Melexis公司研发的雨量光线传感器专用接口芯片MLX7... 随着光电技术、集成电路技术和检测控制技术的飞速发展,将雨量光线传感器RLS应用在汽车上从而实现雨刷自动刮水和车前灯自动控制等是近年来汽车传感器应用中的研究热点。重点介绍了德国Melexis公司研发的雨量光线传感器专用接口芯片MLX75308,以其为主控元件设计了RLS模块实现方案,并对其工作原理加以陈述。该方案可满足雨量光线检测在汽车应用方面的智能化、集成化、可靠性高和成低本的国产化研发和生产的需要,具有巨大的市场潜力和广阔的应用前景。 展开更多
关键词 雨量传感器 光照传感器 微控制器 接口芯片 MLX75308
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基于FPGA的单片机仿真器设计 被引量:4
17
作者 曹健雄 严壮志 《中国医疗器械杂志》 CAS 2010年第6期424-426,441,共4页
基于FPGA的仿真器是目前高端单片机仿真器的发展方向。文章结合FPGA的结构和技术特点,着重描述了海尔HR6P系列单片机仿真器的软硬件设计,提供了一种集成度高、性能可靠、价格低廉、携带方便的仿真器设计方案。
关键词 单片机 仿真芯片 可编程逻辑器件(FPGA) 调试
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基于液滴微流控技术的集成式数字PCR芯片 被引量:4
18
作者 刘聪 蒋克明 +4 位作者 周武平 张涛 张志强 印晨宇 黎海文 《新技术新工艺》 2019年第5期1-6,共6页
为了实现对核酸的高灵敏度检测,设计出一款新型的微滴数字聚合酶链式反应(ddPCR)芯片。该芯片由流动聚焦式微滴生成模块及后方的微滴储存腔构成。使用COMSOL软件对微滴生成及收集腔内液体流动进行仿真,验证芯片结构的合理性。使用软光... 为了实现对核酸的高灵敏度检测,设计出一款新型的微滴数字聚合酶链式反应(ddPCR)芯片。该芯片由流动聚焦式微滴生成模块及后方的微滴储存腔构成。使用COMSOL软件对微滴生成及收集腔内液体流动进行仿真,验证芯片结构的合理性。使用软光刻技术及模压成型方法制得聚合物芯片并进行试验,结果表明,该芯片可以在70s内生成20000个直径为120μm(0.89nL)的微滴,微滴一致性较好(体积的变异系数为2.11%),且可以整齐、稳定地排列在收集腔内。应用该芯片直接进行原位PCR扩增及检测即可得出DNA检测结果。该芯片具有高灵敏度、高通量和高集成度的优势,避免了普通数字PCR的各种缺陷,如操作复杂、移液过程中的样品污染、样品损失、微滴破碎和融合。 展开更多
关键词 微液滴 数字聚合酶链式反应 微流控芯片 核酸检测 COMSOL仿真 两相流水平集
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微型飞行器测控系统的研究现状和发展 被引量:3
19
作者 陈皓生 陈大融 +1 位作者 徐军 李疆 《测控技术》 CSCD 2002年第12期1-4,10,共5页
微型飞行器测控系统的设计方法是随着微型飞行器的发展而不断变化的。目前 ,对微型飞行器测控系统的研究主要集中在硬件的选择和布局 ,信号的处理和数据传输 3个方面 ,这也是不同微型飞行器测控系统的特色所在。随着芯片技术和微机电系... 微型飞行器测控系统的设计方法是随着微型飞行器的发展而不断变化的。目前 ,对微型飞行器测控系统的研究主要集中在硬件的选择和布局 ,信号的处理和数据传输 3个方面 ,这也是不同微型飞行器测控系统的特色所在。随着芯片技术和微机电系统的发展 ,微型飞行器测控系统将逐步集成为芯片系统 ,其关键技术涉及到微控制器、微传感器和微执行器的设计和制造 。 展开更多
关键词 微型飞行器 测控系统 微控制器 芯片系统 单片机
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微流控芯片与生物质谱联用技术的发展与展望 被引量:2
20
作者 水雯箐 苏佳 +2 位作者 黄珍玉 黄懿 杨芃原 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2002年第2期100-111,99,共13页
本文系统归纳了当前微流控电泳芯片与生物质谱的联用模式。芯片材质涵盖玻璃与高聚物 ,与接口衔接的电离手段包括电喷雾电离 ( ESI)和基质辅助激光解析电离 ( MAL DI)。
关键词 联用技术 发展 微流控芯片 生物质谱 电泳芯片 生物大分子 分析
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