期刊文献+
共找到393篇文章
< 1 2 20 >
每页显示 20 50 100
微机电系统(MEMS)技术及发展趋势 被引量:26
1
作者 王亚珍 朱文坚 《机械设计与研究》 CSCD 2004年第1期10-12,共3页
主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。
关键词 微机电系统 MEMS 微机械加工 微传感器 微执行器 发展趋势
下载PDF
低波纹度快速响应压电陶瓷驱动电源的研制 被引量:19
2
作者 周亮 姚英学 张宏志 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第4期237-239,共3页
压电陶瓷驱动电源是压电陶瓷微位移器应用中的关键部件。文章提出了一种新的压电陶瓷驱动电源结构,并开发研制了新的压电陶瓷驱动电源,该电源采用直接稳压和放大方式,具有输出精度高,响应速度快,波纹度小,驱动能力强,稳定性好,... 压电陶瓷驱动电源是压电陶瓷微位移器应用中的关键部件。文章提出了一种新的压电陶瓷驱动电源结构,并开发研制了新的压电陶瓷驱动电源,该电源采用直接稳压和放大方式,具有输出精度高,响应速度快,波纹度小,驱动能力强,稳定性好,结构简单,调试方便,造价低廉,实用性强等特点,适用于各种压电陶瓷驱动器。 展开更多
关键词 压电陶瓷 驱动电源 微位移器
下载PDF
国外微型管内机器人的发展 被引量:22
3
作者 张永顺 《机器人》 EI CSCD 北大核心 2000年第6期506-513,共8页
本文首先论述了微型管道机器人的发展背景及与传统管内机器人的区别 ,然后对几种典型常规小管径管道机器人和国外几种典型微驱动式管内微型机器人工作原理对比分析 ,指出了目前管内微型机器人研究中所面临的主要问题 ,并对实现微管内机... 本文首先论述了微型管道机器人的发展背景及与传统管内机器人的区别 ,然后对几种典型常规小管径管道机器人和国外几种典型微驱动式管内微型机器人工作原理对比分析 ,指出了目前管内微型机器人研究中所面临的主要问题 ,并对实现微管内机器人实用化的关键技术及研究发展方向进行了探讨 . 展开更多
关键词 微驱动器 微型管内机器人 工业机器人
下载PDF
微电机研究的最新动态与应用展望 被引量:14
4
作者 李朝东 《微特电机》 北大核心 2003年第1期3-6,共4页
针对厘米至毫米级微电机 ,综述近年来国内外在微电机方面的研究进展 ,展示微电机的应用领域和潜在的市场前景 ,指出发展微电机尚待解决的主要问题。
关键词 微电机 研究 压电材料 超声波电机 步进电机 微驱动器 微机电系统 微机器人
下载PDF
微机电系统的研究与展望 被引量:13
5
作者 林忠华 胡国清 +1 位作者 刘文艳 张慧杰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期71-75,共5页
微机电系统是面向21世纪的高新技术。文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现 状及应用前景进行了全面分析。在此基础上,论述了MEMS未来发展的趋势。
关键词 微机电系统 硅微细加工 微传感器 微执行器
下载PDF
微型爬壁机器人研究的关键技术 被引量:18
6
作者 郭成 谈士力 翁盛隆 《制造业自动化》 2004年第7期21-24,共4页
首先论述了微型爬壁机器人的发展背景及与传统爬壁机器人的区别。然后对微型爬壁机器人研究的国内外现状及关键技术做了详细分析。
关键词 微驱动器 微型爬壁机器人 MEMS
下载PDF
压电驱动微滴喷射过程的数学模型 被引量:19
7
作者 魏大忠 张人佶 +1 位作者 吴任东 周浩颖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期611-614,共4页
通过对压电驱动器的力-位移方程的简化,得到了压电驱动器的受力方程。从质量守恒和能量守恒的角度对腔体内部流体运动情况进行了分析,简化了分析过程。在此基础上,建立了微滴喷射过程的数学模型,得到的计算结果、喷射规律与试验结果基... 通过对压电驱动器的力-位移方程的简化,得到了压电驱动器的受力方程。从质量守恒和能量守恒的角度对腔体内部流体运动情况进行了分析,简化了分析过程。在此基础上,建立了微滴喷射过程的数学模型,得到的计算结果、喷射规律与试验结果基本一致。 展开更多
关键词 微滴 喷射 压电 快速制造
下载PDF
小型蠕动机器人原理与实现 被引量:15
8
作者 白绍平 汪劲松 张伯鹏 《机器人》 EI CSCD 北大核心 1994年第3期140-143,149,共5页
本文阐述了蠕动的原理,在此基础上研制了一套小型里蠕动机器人系统。其主要部分由三个La:PZT电致伸缩微位移器和一套独特的柔性链机构所组成,机器人的外形尺寸为150×61×46mm,重2kg,最大步距10μm,... 本文阐述了蠕动的原理,在此基础上研制了一套小型里蠕动机器人系统。其主要部分由三个La:PZT电致伸缩微位移器和一套独特的柔性链机构所组成,机器人的外形尺寸为150×61×46mm,重2kg,最大步距10μm,行程40mm,运动精度0.2μm。 展开更多
关键词 微型机器人 机器人 蠕动
下载PDF
压电驱动微型喷雾器的研究 被引量:11
9
作者 刘长庚 周兆英 +1 位作者 王晓浩 叶雄英 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2001年第4期272-274,共3页
研究开发了一种压电驱动微型喷雾器。利用微机械加工技术 ,制作微米级的喷孔阵列。基于喷墨打印机原理 ,微喷换能器采用压电驱动方式在其较高阶谐振状态下工作。实验分析了这种微喷换能器的阻抗特性、谐振状态下振动特性以及微型喷雾器... 研究开发了一种压电驱动微型喷雾器。利用微机械加工技术 ,制作微米级的喷孔阵列。基于喷墨打印机原理 ,微喷换能器采用压电驱动方式在其较高阶谐振状态下工作。实验分析了这种微喷换能器的阻抗特性、谐振状态下振动特性以及微型喷雾器的工作性能。实验结果表明 ,这种喷雾器喷出的雾滴直径大小集中 ,工作稳定且容易控制喷雾量。 展开更多
关键词 压电驱动 微加工技术 工作原理 喷雾器
下载PDF
基于MEMS的流动主动控制技术及其研究进展 被引量:10
10
作者 程忠宇 吴学忠 李圣怡 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2005年第4期577-584,共8页
MEMS技术与流动控制技术的结合,使得流动主动控制技术的实际应用逐步成为现实,极大地推动了流动主动控制技术的发展。简述了流动主动控制技术的基本原理、关键技术,以及应用MEMS技术实现流动主动控制的机理和途径。介绍了几家国外研... MEMS技术与流动控制技术的结合,使得流动主动控制技术的实际应用逐步成为现实,极大地推动了流动主动控制技术的发展。简述了流动主动控制技术的基本原理、关键技术,以及应用MEMS技术实现流动主动控制的机理和途径。介绍了几家国外研究机构近年来在流动主动控制技术领域基于MEMS技术的微传感、微控制和微执行技术及其集成技术的研究进展,以及在三角翼前沿涡控制、减阻研究、发动机喷流控制、细长体背风面分离流控制等方面的应用情况。 展开更多
关键词 流动控制 微机电系统 微传感器 微控制器 微驱动器
下载PDF
微型管内机器人的发展现状与展望 被引量:3
11
作者 张永顺 《制造业自动化》 2000年第12期48-52,共5页
首先论述了微型管道机器人的发展背景及与传统管内机器人的区别,然后在对国外几种驱动类型管内微型机器人的工作原理分析阐述的基础上,指出了目前管内微型机器人研究中所面临的主要问题,并对实现微管内机器人实用化的关键技术及研究... 首先论述了微型管道机器人的发展背景及与传统管内机器人的区别,然后在对国外几种驱动类型管内微型机器人的工作原理分析阐述的基础上,指出了目前管内微型机器人研究中所面临的主要问题,并对实现微管内机器人实用化的关键技术及研究发展方向进行了探讨。 展开更多
关键词 微驱动器 微型管内机器人
下载PDF
压电陶瓷迟滞特性的建模及复合控制 被引量:14
12
作者 王希花 郭书祥 +1 位作者 叶秀芬 汝长海 《电机与控制学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第5期766-771,共6页
压电陶瓷因其具有迟滞特性,如不经处理,会对其应用产生影响。针对当期望输出与频率无关时的压电陶瓷的迟滞非线性问题,提出了一种基于极坐标的数学建模方法,同时给出了通用的PI迟滞模型,并对两种模型进行了比较。仿真结果表明仿真曲线... 压电陶瓷因其具有迟滞特性,如不经处理,会对其应用产生影响。针对当期望输出与频率无关时的压电陶瓷的迟滞非线性问题,提出了一种基于极坐标的数学建模方法,同时给出了通用的PI迟滞模型,并对两种模型进行了比较。仿真结果表明仿真曲线较平滑,克服了PI迟滞算子拟合出现的毛刺问题。根据实验结果分析了极坐标的迟滞曲线和PI迟滞曲线的拟合误差,并进一步给出了拟合方差。在该迟滞模型的基础上,引入前馈PID控制方法进行实验,给出跟踪平均绝对误差及方差,并与经典PI控制在跟踪精确度等方面进行了比较。实验结果证明了该控制方法的可行性和精确性。 展开更多
关键词 压电陶瓷 微驱动器 迟滞特性 极坐标建模 前馈控制
下载PDF
管道微机器人中压电执行器的研究 被引量:7
13
作者 马建旭 马培荪 罗俊章 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第2期108-112,118,共6页
微执行器作为微机械系统的核心单元,一直是微机械发展的关键。文章介绍了一种应用于管道微机器人的足式压电执行器。在交变电压作用下,该压电执行器将压电体的弯曲振动转化成其弹性足沿管壁的移动,从而实现执行器的运动。在分析其工... 微执行器作为微机械系统的核心单元,一直是微机械发展的关键。文章介绍了一种应用于管道微机器人的足式压电执行器。在交变电压作用下,该压电执行器将压电体的弯曲振动转化成其弹性足沿管壁的移动,从而实现执行器的运动。在分析其工作原理的基础上,研制了压电微执行器的驱动电源,并进行了简单的实验研究。研究表明该执行器具有结构简单,易于微型化,响应快,驱动方便等特点。 展开更多
关键词 微机械 微机器人 压电执行器 控制电路
下载PDF
基于规则的仿人智能控制在微驱动系统中的应用 被引量:10
14
作者 孙立宁 张涛 +2 位作者 曲东升 李国君 刘美霞 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期101-103,106,共4页
根据三角形放大原理设计出一种以压电陶瓷为驱动元件、应变片为微位移传感元件的精密微位移机构,由于压电陶瓷存在迟滞、蠕变和非线性的不足,并且难于得到其准确的数学模型,采用常现线性PID控制方法很难实现微驱动机构的高速高精度... 根据三角形放大原理设计出一种以压电陶瓷为驱动元件、应变片为微位移传感元件的精密微位移机构,由于压电陶瓷存在迟滞、蠕变和非线性的不足,并且难于得到其准确的数学模型,采用常现线性PID控制方法很难实现微驱动机构的高速高精度控制,针对这一问题,将基于数字PI控制的仿人智能控制方法应用于微驱动系统的控制中,它是在数字PID控制算法的基础上通过仿人智能控制的特征变量en·Δen的取值符号选择相应的控制策略,实验结果表明采用该方法可以大大地提高系统的静态和动态性能. 展开更多
关键词 仿人智能控制 压电陶瓷 微驱动系统 定位精度
下载PDF
微光机电系统及其应用 被引量:1
15
作者 李文军 赵小林 +1 位作者 蔡炳初 戴旭涵 《微细加工技术》 2001年第3期1-8,13,共9页
微光机电系统 (MOEMS)是在微机电系统 (MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统 ,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统 ,MOEMS在信息、军事、航天、医学、工业等领域有着广阔的应用前景 ,综述了近年来微... 微光机电系统 (MOEMS)是在微机电系统 (MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统 ,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统 ,MOEMS在信息、军事、航天、医学、工业等领域有着广阔的应用前景 ,综述了近年来微光机电系统的发展和应用。 展开更多
关键词 微光机电系统 微光学 微驱动器 微机电系统
下载PDF
微扑翼飞行器驱动机构的设计与动态特性研究 被引量:4
16
作者 侯宇 方宗德 +2 位作者 刘岚 傅卫平 吴立言 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期499-505,共7页
微扑翼飞行器是一种新概念的飞行器,在应用技术上它超出了传统的飞机设计和气动力的研究范畴,同时开创了微机电系统技术(MEMS)在航空领域的应用。微扑翼驱动机构的设计、制作及其动态特性研究是飞行器设计中的关键环节。本文的研究对象... 微扑翼飞行器是一种新概念的飞行器,在应用技术上它超出了传统的飞机设计和气动力的研究范畴,同时开创了微机电系统技术(MEMS)在航空领域的应用。微扑翼驱动机构的设计、制作及其动态特性研究是飞行器设计中的关键环节。本文的研究对象是一个静电驱动的胸腔式微扑翼机构,由于这种结构存在着强烈的静电和机械两个物理场的非线性耦合,因此系统的动态特性是非常复杂的。本文从理论上分析了系统奇点的存在与稳定性;在相空间中分析了无阻尼及有阻尼系统的非线性动态特性;研究了初始条件和阻尼对临界拉入电压的影响;最后分析了在不同激励电压信号下系统的响应。所得研究结论对微扑翼驱动机构的设计、制作和应用提供了一定的理论依据。 展开更多
关键词 航空、航天推进系统 微扑翼飞行器 微驱动机构 机电耦合 非线性动态特性
下载PDF
微机电系统技术进展 被引量:2
17
作者 张西慧 梁春广 《河北工业大学学报》 CAS 2003年第5期104-109,共6页
概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统,介绍... 概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统,介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用. 展开更多
关键词 微机电系统 发展史 微制造技术 微执行器 微传感器
下载PDF
新型三自由度微机器人及其控制系统 被引量:3
18
作者 杨宜民 章云 吴一辉 《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第6期727-732,共6页
本文提出一种新型三自由度微机器人的机械结构及其控制系统.微机器人的机构具有三轴共体、体积小和内藏传感器等特点,其控制器的鲁棒性强.计算机仿真和实验结果表明.该微机器人的动态性能好、重复精度高.该微机器人可以单独使用,... 本文提出一种新型三自由度微机器人的机械结构及其控制系统.微机器人的机构具有三轴共体、体积小和内藏传感器等特点,其控制器的鲁棒性强.计算机仿真和实验结果表明.该微机器人的动态性能好、重复精度高.该微机器人可以单独使用,也可安装在一般工业机器人的终端执行器上。 展开更多
关键词 微驱动器 微机器人 鲁棒性 机器人 控制系统
下载PDF
扭臂结构静电驱动式微驱动器动力学特性分析 被引量:8
19
作者 孙东明 董玮 +3 位作者 玄伟 刘彩霞 王国东 陈维友 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期658-665,共8页
基于扭转动力学原理,推导了用于分析静电微驱动器的驱动电压、响应时间和其它动力学参数的特性方程。对于忽略和考虑空气阻尼效应的2种情况,分别进行了详细的讨论,计算结果可以用于分析器件处于真空和空气条件下的工作状态。结果表明,... 基于扭转动力学原理,推导了用于分析静电微驱动器的驱动电压、响应时间和其它动力学参数的特性方程。对于忽略和考虑空气阻尼效应的2种情况,分别进行了详细的讨论,计算结果可以用于分析器件处于真空和空气条件下的工作状态。结果表明,当考虑空气阻尼时,悬臂梁的运动轨迹与忽略空气阻尼时相比较发生相当大的改变,从而吸合(pull-in)电压和响应时间等计算结果也发生改变。因此,对于微机电系统(MEMS)器件的设计和制作,空气阻尼效应是影响其性能和工作条件的重要因素。最后,介绍了一种光学测量方法,可用于器件的响应时间和悬臂梁扭转角度等参数的测试,得到的实验结果与理论分析结果有较好的吻合。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 微驱动器 静电驱动 动力学分析 空气压膜阻尼
原文传递
Clawed Miniature Inchworm Robot Driven by Electromagnetic Oscillatory Actuator 被引量:7
20
作者 Kyung-min Lee Youngshik Kim +1 位作者 Jamie K. Paik Buhyun Shin 《Journal of Bionic Engineering》 SCIE EI CSCD 2015年第4期519-526,共8页
In this research we propose a novel inchworm robot, which is composed of an Electromagnetic Oscillatory Actuator (EOA) and claws. The EOA consists of a yoke, a magnet, and a coil. The overall robot size is 12.2 mm x... In this research we propose a novel inchworm robot, which is composed of an Electromagnetic Oscillatory Actuator (EOA) and claws. The EOA consists of a yoke, a magnet, and a coil. The overall robot size is 12.2 mm x 11 mm x 9 mm (length x height ~ width). The locomotion of the robot is achieved by different amounts of slips when the robot stretches and contracts its front leg. To realize locomotion, the working conditions were calculated theoretically and the calculated input signal was applied to the robot. The performance of the inchworm robot was evaluated experimentally with varying input voltages and frequencies. A simple op-amps based driving circuit was used to provide a square-wave input. Travel speed, average distance per step of the robot, and moving distance of the leg and body at each step were measured. The maximum travel speed was 36 mm-s-1 at 30 Hz, which validates our simple locomotion strategy experimentally. 展开更多
关键词 electromagnetic actuator micro mobile robot INCHWORM CRAWLER locomotion
原文传递
上一页 1 2 20 下一页 到第
使用帮助 返回顶部