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轻质油品脱硫精制乳化难题的技术突破──介绍纤维膜接触器技术及应用 被引量:25
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作者 胡尧良 《炼油设计》 1999年第5期47-53,共7页
介绍了美国MERICHEM公司开发的纤维膜接触器技术及其在石油产品脱硫精制过程中的应用。与传统的脱硫精制过程不同,该项技术依据碱和油品的不同表面张力而设计的纤维膜接触器,可使油碱之间的接触及油中杂质与碱的反应在液膜上... 介绍了美国MERICHEM公司开发的纤维膜接触器技术及其在石油产品脱硫精制过程中的应用。与传统的脱硫精制过程不同,该项技术依据碱和油品的不同表面张力而设计的纤维膜接触器,可使油碱之间的接触及油中杂质与碱的反应在液膜上进行,而不像传统精制过程那样在液滴之间球面上接触和反应,从而避免了因液滴强烈混合分散乳化而导致油碱分离困难。该项技术可用于干气、液化石油气、石脑油、汽油、煤油和柴油等物料的碱(胺)精制法脱硫、脱氯和脱酸,也可用于废碱液的再生和处理。与常规混合分散法精制工艺相比,它有精制效率高、产品质量好、碱(胺)液消耗少、设备投资省和处理能力大等优点。在国外石化工业上已得到十分广泛的应用。 展开更多
关键词 石油馏分 脱硫 金属纤维膜 接触器 轻质油 精制
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金属薄膜电阻率与表面粗糙度、残余应力的关系 被引量:24
2
作者 唐武 邓龙江 +1 位作者 徐可为 Jian LU 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期617-620,共4页
针对磁控溅射Au金属薄膜,从实验角度研究了该薄膜电阻率与表面粗糙度、残余应力的关系,并对结果进行了分析。结果表明:薄膜电阻率随着表面粗糙度及残余应力的增加而增大。分析认为,晶体取向可能在金属薄膜力学性能和功能性之间有某种联... 针对磁控溅射Au金属薄膜,从实验角度研究了该薄膜电阻率与表面粗糙度、残余应力的关系,并对结果进行了分析。结果表明:薄膜电阻率随着表面粗糙度及残余应力的增加而增大。分析认为,晶体取向可能在金属薄膜力学性能和功能性之间有某种联系,并从应变能角度给予了解释。该结果为进一步探讨薄膜力学性能和功能特性的内在关系提供了研究基础。 展开更多
关键词 金属薄膜 电阻率 表面粗糙度 残余应力
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连续金属薄膜的电阻率研究 被引量:10
3
作者 范平 伍瑞锋 赖国燕 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期445-451,共7页
运用玻耳兹曼方程研究金属薄膜中的电子输运 ,考虑了来自表面和晶粒间界的散射 ,计算连续金属薄膜的平行电阻率。得到的电阻率理论曲线与实验曲线符合得很好。弥补了F S理论在较薄厚度时电阻率理论结果与实验结果不相符的缺陷。
关键词 金属薄膜 玻耳兹曼方程 F-S理论 电阻率
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Microstructures of metallic film and diamond growth from Fe-Ni-C system 被引量:12
4
作者 XU Bin LI Musen +3 位作者 YIN Longwei CUI Jianjun LIU Yuxian GONG Jianhong 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2002年第15期1258-1262,共5页
The microstructures of metallic film surrounding diamond have been systemically studied using the transmission electron microscopy (TEM) and the atom force microscopy (AFM). The film can be divided into three layers (... The microstructures of metallic film surrounding diamond have been systemically studied using the transmission electron microscopy (TEM) and the atom force microscopy (AFM). The film can be divided into three layers (inner layer near diamond, external layer near graphite and middle layer). The graphite cannot be directly transformed into diamond in the film at HTHP: there exists a parallelrelationship between (111) of γ-(Fe,Ni) and (110) of Fe3C in the inner layer; the sawtooth-like step morphology found by AFM on the film is similar to that of corresponding diamond surface. A new model for diamond growth at HPHT is proposed from the parallel relationship and sawtooth-like step morphology. It is believed that Fe3C may be a transitional phase in the course of diamond growth, γ-(Fe,Ni) in the inner layer can absorb carbon atom groups with lamella structure from Fe3C, and then the carbon groups stack on growing diamond. 展开更多
关键词 synthetic DIAMOND HIGH temperature and HIGH pressure metallic film TEM AFM.
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金属薄膜结合性能的评价方法研究 被引量:6
5
作者 唐武 邓龙江 徐可为 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1412-1415,共4页
针对Al2O3基体上磁控溅射沉积的Au/NiCr/Ta多层金属薄膜,用压痕法、滚动接触疲劳法、摩擦力和声发射两种模式同时监测的划痕法,对比研究了金属薄膜与基体的结合性能。结果表明:压痕试验从压痕形貌上很难判断薄膜与基体是否发生剥离,压... 针对Al2O3基体上磁控溅射沉积的Au/NiCr/Ta多层金属薄膜,用压痕法、滚动接触疲劳法、摩擦力和声发射两种模式同时监测的划痕法,对比研究了金属薄膜与基体的结合性能。结果表明:压痕试验从压痕形貌上很难判断薄膜与基体是否发生剥离,压入过程中也没有诱发裂纹的产生,更无法分辨薄膜层间的分离;由于金属薄膜的塑性变形,滚动接触疲劳法很难应用于金属薄膜结合性能的表征;划痕法可应用于多层金属薄膜的特异划擦行为研究,其中摩擦力模式能反映压头进入不同金属膜层时的变化,层间声发射信号的灵敏度不如摩擦力信号,对应试验条件,摩擦力曲线存在若干以拐点为特征的载荷,摩擦力曲线上出现的拐点及拐点特征载荷值可以在一定程度上反映多层膜的层数和层厚,并可刻划出该膜/基体系承受压入载荷而不发生剥落的能力。 展开更多
关键词 金属薄膜 压痕法 划痕法 滚动接触疲劳法
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Synergistic Effect of Mo, W, Mn and Cr on the Passivation Behavior of a Fe-Based Amorphous Alloy Coating 被引量:8
6
作者 Wan-Ping Tian Hong-Wang Yang Suo-De Zhang 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第3期308-320,共13页
In this work,the electrochemical behaviors of SAM2X5 Fe-based amorphous alloy coating and hard chromium coating were comparatively studied in 3.5 wt% NaCl solution.In comparison with the hard chromium coating,the SAM2... In this work,the electrochemical behaviors of SAM2X5 Fe-based amorphous alloy coating and hard chromium coating were comparatively studied in 3.5 wt% NaCl solution.In comparison with the hard chromium coating,the SAM2X5 coating exhibited a wider and stable passive region with lower passive current density in the potentiodynamic polarization and showed a considerably lower current density at different anodic potentials in the potentiostatic polarization.In order to understand the passivation mechanism of the Fe-based amorphous coating,the components of the passive films formed at various polarization potentials were examined by X-ray photoelectron spectroscopy.The synergistic effect of Mo,W,Mn and Cr in the passive films was systemically analyzed.It has been revealed that Mo and W facilitate the formation of compact and stable Cr2O3 passive film at lower potentials,and the substantial enrichment of Mn in the passive film enhances the passivation ability at relatively higher potentials.The deep understanding of the passivation characteristics in multicomponent alloy systems could provide a guide for the design of corrosion-resistant amorphous alloy coatings for engineering applications. 展开更多
关键词 Amorphous alloy metallic coating PASSIVATION Surface film X-ray photoelectronspectroscopy (XPS)
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松香改性生漆漆膜性能研究 被引量:9
7
作者 宋先亮 蒋建新 +1 位作者 谢建杰 白杨 《林产化学与工业》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期7-10,共4页
研究了松香改性对生漆漆膜性能的影响。研究结果表明,加入松香或乙醇溶解的松香均能改善生漆漆膜性能,加入生漆质量5%的松香效果最佳。生漆与金属铁离子反应后,再用5%松香改性,漆膜性能显著提高,干燥时间缩短为53 h,附着力为4~5级,耐... 研究了松香改性对生漆漆膜性能的影响。研究结果表明,加入松香或乙醇溶解的松香均能改善生漆漆膜性能,加入生漆质量5%的松香效果最佳。生漆与金属铁离子反应后,再用5%松香改性,漆膜性能显著提高,干燥时间缩短为53 h,附着力为4~5级,耐冲击力为30 kg/cm,硬度为2H。红外光谱分析表明,生漆中的漆酚和松香中的树脂酸发生酯化反应,从而改善了漆膜特性。 展开更多
关键词 生漆 松香 金属离子 改性 漆膜
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热浸镀锌层磷酸盐-铈盐复合处理制备超疏水膜层研究 被引量:8
8
作者 翁天宇 赖德林 +4 位作者 李晓聪 朱炎彬 车淳山 邓文礼 孔纲 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期801-810,共10页
在Q235钢上热浸镀锌后,经磷酸盐-铈盐-硬脂酸复合处理制备了超疏水膜层。采用接触角仪测定试样的接触角(WCA)和滚动角(WSA),研究了其疏水性;采用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、能谱分析仪(EDS)、傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、X射线衍射... 在Q235钢上热浸镀锌后,经磷酸盐-铈盐-硬脂酸复合处理制备了超疏水膜层。采用接触角仪测定试样的接触角(WCA)和滚动角(WSA),研究了其疏水性;采用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、能谱分析仪(EDS)、傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)研究试样的表面形貌和成分结构;采用电化学阻抗谱(EIS)和塔菲尔极化曲线(Tafel)研究试样的耐腐蚀性。结果表明,超疏水膜层通过界面空气膜层的捕获可以有效减少基体腐蚀,当硝酸铈处理时间为300 s时性能最好,在表面形成一层多孔的磷酸锌/铈盐微纳米复合结构;硬脂酸疏水改性后接触角达到162°,电化学阻抗增加了2个数量级,显示出良好的耐腐蚀性。 展开更多
关键词 金属材料 超疏水 磷化膜 铈盐 耐腐蚀
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基于ANSYS技术的固支圆形膜片弹性特性分析 被引量:6
9
作者 吴振亭 崔涛 《机械研究与应用》 2006年第2期32-33,共2页
采用有限元软件ANSYS 7.0对周边固支圆形金属膜片的弹性特性进行有限元的分析,研究影响其弹性特性变化的规律及主要因素,分析结果对圆形金属膜片的设计与制造提供了科学依据。
关键词 金属膜片 弹性特性 有限元分析
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金属薄膜的电阻率温度系数 被引量:6
10
作者 范平 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 2000年第4期33-40,共8页
利用同时考虑表面散射和晶界散射的金属薄膜电导理论 ,得到金属薄膜的电阻率温度系数与厚度的关系式 .金属Cu膜、Ag膜和Au膜的电阻率温度系数随膜厚变化的实验结果表明 ,计算曲线与实验结果符合较好 ,弥补了F S理论在较薄厚度时与实验... 利用同时考虑表面散射和晶界散射的金属薄膜电导理论 ,得到金属薄膜的电阻率温度系数与厚度的关系式 .金属Cu膜、Ag膜和Au膜的电阻率温度系数随膜厚变化的实验结果表明 ,计算曲线与实验结果符合较好 ,弥补了F S理论在较薄厚度时与实验结果不相符的缺陷 .分析得出 ,薄膜厚度较薄时马希森定律仍成立 . 展开更多
关键词 金属薄膜 电阻率 温度系数 马希森定律
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AFM Study on Interface of HTHP As-grown Diamond Single Crystal and Metallic Film 被引量:5
11
作者 BinXU MusenLI +2 位作者 LongweiYIN JianjunCUI JianhongGONG 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第2期113-116,共4页
The study for the interface of as-grown diamond and metallic film surrounding diamond is an attractive way for understanding diamond growth mechanism at high temperature and high pressure (HTHP), because it is that th... The study for the interface of as-grown diamond and metallic film surrounding diamond is an attractive way for understanding diamond growth mechanism at high temperature and high pressure (HTHP), because it is that through the interface carbon atom groups from the molten film are transported to growing diamond surface. It is of great interest to perform atomic force microscopy (AFM) experiment; which provides a unique technique different from that of normal optical and electron microscopy studies, to observe the interface morphology. In the present paper, we report first that the morphologies obtained by AFM on the film are similar to those of corresponding diamond surface, and they are the remaining traces after the carbon groups moving from the film to growing diamond. The fine particles and a terrace structure with homogeneous average step height are respectively found on the diamond (100) and (111) surface. Diamond growth conditions show that its growth rates and the temperature gradients in the boundary layer of the molten film at HTHP result in the differences of surface morphologies on diamond planes, being rough on (100) plane and even on the (111) plane. The diamond growth on the (100) surface at HPHT could be considered as a process of unification of these diamond fine particles or of carbon atom groups recombination on the growing diamond crystal surface. Successive growth layer steps directly suggest the layer growth mechanism of the diamond (111) plane. The sources of the layer steps might be two-dimensional nuclei and dislocations. 展开更多
关键词 Synthetic diamond High temperature and high pressure metallic film AFM
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基于ANSYS技术的固支圆形膜片弹性特性分析 被引量:5
12
作者 章志芳 赵伟阁 《机械》 2006年第3期34-35,共2页
受侧向载荷作用的圆形金属膜片可作为一种弹性功能元件,常用于防止装置超压或实现某些特定的工艺操作,在许多行业被大量使用。几何和材料非线性的特点使得其弹性特性的解析计算非常困难,其设计和制造主要依赖于反复的实验。文中采用有... 受侧向载荷作用的圆形金属膜片可作为一种弹性功能元件,常用于防止装置超压或实现某些特定的工艺操作,在许多行业被大量使用。几何和材料非线性的特点使得其弹性特性的解析计算非常困难,其设计和制造主要依赖于反复的实验。文中采用有限元软件ANSYS7.0对周边固支圆形金属膜片的弹性特性进行了有限元的分析,研究影响其弹性特性变化的规律和其主要因素,分析结果对于圆形金属膜片的设计与制造提供了科学依据。 展开更多
关键词 金属膜片 弹性特性 有限元分析
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金属薄膜/复合材料结构高低温循环过程的热应力分析 被引量:5
13
作者 杨建平 曹生珠 +2 位作者 王瑞 吴敢 陈学康 《真空与低温》 2011年第2期70-74,84,共6页
分析了用于卫星天线反射器的金属薄膜/复合材料结构在模拟空间环境寿命试验的高低温循环过程中的应力;给出了金属薄膜在经历高低温循环时产生微裂纹的机理。根据微裂纹产生机理,提出了选用合适的过渡层材料在金属薄膜和复合材料基底之... 分析了用于卫星天线反射器的金属薄膜/复合材料结构在模拟空间环境寿命试验的高低温循环过程中的应力;给出了金属薄膜在经历高低温循环时产生微裂纹的机理。根据微裂纹产生机理,提出了选用合适的过渡层材料在金属薄膜和复合材料基底之间形成应力释放层,抑制金属薄膜产生微裂纹。仿真分析和试验结果均证实了这一方法的可行性,并提出了进一步降低微裂纹产生的措施。 展开更多
关键词 金属薄膜 复合材料基底 高低温循环 应力 微裂纹
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Au/NiCr/Ta和Au/NiCr多层金属膜的划痕特征载荷 被引量:3
14
作者 唐武 马幼平 +2 位作者 徐可为 王平 李弦 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期407-410,共4页
采用摩擦力和声发射两种模式同时监测的划痕法研究了 Au/NiCr/Ta和 An/NiCr多层金属薄膜的临界载荷 Lc,并与TiN硬质薄膜进行了对比.实验结果表明:摩擦力和声发射模式均能反映出压头进入不同金属膜层时的变化... 采用摩擦力和声发射两种模式同时监测的划痕法研究了 Au/NiCr/Ta和 An/NiCr多层金属薄膜的临界载荷 Lc,并与TiN硬质薄膜进行了对比.实验结果表明:摩擦力和声发射模式均能反映出压头进入不同金属膜层时的变化.在单一金属薄膜层中两者均无大的变化.对应实验范围内不同的沉积温度,拐点特征载荷值基本不受其影响。 展开更多
关键词 划痕法 金属薄膜 临界载荷 微波集成电路 薄膜器件
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非水体系中电沉积方法制备稀土金属La沉积膜 被引量:4
15
作者 龚晓钟 汤皎宁 李均钦 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期161-165,共5页
使用尿素-NaBr-KBr-甲酰胺镀液用电沉积方法在硅基体上沉积出含有金属镧的沉积膜,研究了沉积液中甲酰胺的含量和电流密度等工艺参数对沉积膜的形貌和金属 La 含量的影响.结果表明,在适当的沉积条件下,沉积膜由金属镧及少量氧化镧组成,... 使用尿素-NaBr-KBr-甲酰胺镀液用电沉积方法在硅基体上沉积出含有金属镧的沉积膜,研究了沉积液中甲酰胺的含量和电流密度等工艺参数对沉积膜的形貌和金属 La 含量的影响.结果表明,在适当的沉积条件下,沉积膜由金属镧及少量氧化镧组成,呈白灰色、均匀、致密、光滑,La 的含量(质量分数)达到91.35%;电流密度过低或过高都使沉积膜的表面形态呈现灰黑色、疏松和粗糙.沉积膜中金属镧的含量先随着电流密度的增大而提高,后又降低.镀液中适当含量的甲酰胺使其呈现较好的流动状态,有利于制备高质量的沉积膜.用聚乙烯醇保护膜可以使沉积膜免于氧化. 展开更多
关键词 金属材料 沉积膜 金属镧 非水体系 电沉积
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Preparation of hydroxyapatite layer on Ti-based bulk metallic glasses by acid and alkali pre-treatment 被引量:3
16
作者 Hao Hu Zhen-Duo Cui +3 位作者 Sheng-Li Zhu Zhao-Yang Li Yan-Qin Liang Xian-Jin Yang 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第1期22-27,共6页
In this paper, a thin calcium phosphate layer was prepared on the surface of Ti4oZr10Cu36Pd14 bulk metallic glasses (BMGs). All samples were dipped in HNO3 aqueous solution and boiled in 1.2 mol-L-I NaOH aqueous sol... In this paper, a thin calcium phosphate layer was prepared on the surface of Ti4oZr10Cu36Pd14 bulk metallic glasses (BMGs). All samples were dipped in HNO3 aqueous solution and boiled in 1.2 mol-L-I NaOH aqueous solution. After the two preliminary treatment steps, they were soaked in simulated body fluid (SBF) to form an apatite layer on the surface. After immersion for 12 days, a coating composed mainly of Ca-P particles was rapidly deposited on the surface of Ti40Zr10Cu36Pd14 bulk metallic glasses. The surfaces of chemically treated sam- ples and the samples after immersion in SBF were char- acterized by X-ray diffraction (XRD), X-ray photoemission spectroscopy (XPS), field emission scanning electron microscopy (FESEM), and energy dispersive spectroscopy (EDS). Analysis results indicate that this apatite coating consists of Ca-P particles with different diameters. In addition, the Ca/P ratio of the apatite coatings immersed for 14 days is 1.62, which is close to that of hydroxyapatite (HA). 展开更多
关键词 metallic glass Titanium alloy HYDROXYAPATITE Thin film
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Ca和Y对Mg-1.5Zn合金热裂行为的影响 被引量:4
17
作者 王志 周野 +4 位作者 周乐 李一洲 毛萍莉 刘正 王峰 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期561-568,共8页
采用具有凝固收缩力和凝固温度采集系统的约束杆(CRC)热裂测试装置研究了Ca和Y(2%,3%,质量分数)两种元素对Mg-1.5Zn合金热裂行为的影响,并通过石蜡渗透法测定合金裂纹体积。实验结果表明Mg-1.5Zn合金中添加Ca和Y元素后,由于脆弱区凝固... 采用具有凝固收缩力和凝固温度采集系统的约束杆(CRC)热裂测试装置研究了Ca和Y(2%,3%,质量分数)两种元素对Mg-1.5Zn合金热裂行为的影响,并通过石蜡渗透法测定合金裂纹体积。实验结果表明Mg-1.5Zn合金中添加Ca和Y元素后,由于脆弱区凝固温度范围缩小(△T)使合金的热裂敏感性(HTS)显著降低。另外,随着Ca和Y含量的增加合金的热裂敏感性进一步降低。通过热裂区域的微观组织观察发现由于MgZn-3Ca和Mg-1.5Zn-3Y合金的低熔点共晶相增多使热裂纹可以在凝固末期被共晶液相补缩。热裂纹的微观断口表明热裂是由于凝固末期枝晶分离和液膜撕裂引起的,并且沿着晶界萌生和扩展。 展开更多
关键词 金属材料 热裂敏感性 裂纹体积 液膜 共晶液相
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磁控溅射铂抑制镀银表面的二次电子发射 被引量:4
18
作者 何鋆 俞斌 +5 位作者 王琪 白春江 杨晶 胡天存 谢贵柏 崔万照 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期206-212,共7页
降低表面的二次电子产额是抑制微波部件二次电子倍增效应和提升功率阈值的有效途径之一,目前主要采用在表面构造陷阱结构和沉积非金属薄膜的方法降低二次电子产额,其缺点是会改变部件的电性能.针对此问题,采用在表面沉积高功函数且化学... 降低表面的二次电子产额是抑制微波部件二次电子倍增效应和提升功率阈值的有效途径之一,目前主要采用在表面构造陷阱结构和沉积非金属薄膜的方法降低二次电子产额,其缺点是会改变部件的电性能.针对此问题,采用在表面沉积高功函数且化学惰性的金属薄膜来降低二次电子产额.首先,采用磁控溅射方法在铝合金镀银样片表面沉积100 nm铂,测量结果显示沉积铂后样片的二次电子产额最大值由2.40降至1.77,降幅达26%.其次,用相关唯象模型对二次电子发射特性测量数据进行了拟合,获得了在40-1500 eV能量范围内能够准确描述样片二次电子产额特性的Vaughan模型参数,以及在0-50 eV能量范围内能够很好地拟合二次电子能谱曲线的Chung-Everhart模型参数.最后,将获得的实验数据和相关拟合参数用于Ku频段阻抗变换器的二次电子倍增效应功率阈值仿真研究,结果表明通过沉积铂可将部件的功率阈值由7500 W提升至36000 W,证实了所提方法的有效性.研究结果为金属材料二次电子发射特性的研究提供实验数据参考,对抑制大功率微波部件二次电子倍增效应具有参考价值. 展开更多
关键词 二次电子产额 二次电子倍增效应 金属薄膜
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氧化膜对6082铝合金搅拌摩擦焊接头疲劳性能的影响 被引量:4
19
作者 张欣盟 何广忠 +4 位作者 王贝贝 杨超 薛鹏 倪丁瑞 马宗义 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期299-305,共7页
对6 mm厚的6082-T6铝合金进行两种表面处理然后实施搅拌摩擦焊接,研究了对接面氧化膜对接头组织和疲劳性能的影响。结果表明,进行速度为1000 mm/min的高速焊接时,对接面未打磨和打磨的接头焊接质量都良好,接头强度系数达到81%;两种接头... 对6 mm厚的6082-T6铝合金进行两种表面处理然后实施搅拌摩擦焊接,研究了对接面氧化膜对接头组织和疲劳性能的影响。结果表明,进行速度为1000 mm/min的高速焊接时,对接面未打磨和打磨的接头焊接质量都良好,接头强度系数达到81%;两种接头的疲劳性能基本相同,疲劳强度均为100 MPa;少数样品在焊核区外断裂,大部分样品在热影响区断裂。与接头相比,两种接头焊核区的疲劳性能有所提高,均为110 MPa,在疲劳测试中裂纹并未沿"S"线萌生和扩展。 展开更多
关键词 金属材料 铝合金 搅拌摩擦焊接 氧化膜 疲劳性能
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金属有机物化学气相沉积法沉积镍膜的影响因素 被引量:4
20
作者 刘世良 赵立峰 +1 位作者 彭冬生 谢长生 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期4-6,共3页
为了获得高速沉积镍膜的工艺参数 ,以羰基镍 [Ni(CO) 4 ]为前驱体 ,用金属有机物化学气相沉积法进行试验 ,以SEM ,DSC ,XRD测试分析技术探讨了载气、温度和羰基镍的摩尔分数对沉积速率的影响 ;也探讨了温度及羰基镍的摩尔分数对镍膜微... 为了获得高速沉积镍膜的工艺参数 ,以羰基镍 [Ni(CO) 4 ]为前驱体 ,用金属有机物化学气相沉积法进行试验 ,以SEM ,DSC ,XRD测试分析技术探讨了载气、温度和羰基镍的摩尔分数对沉积速率的影响 ;也探讨了温度及羰基镍的摩尔分数对镍膜微观形貌的影响。结果表明 ,以氩气为载气比氦气为载气更容易获得高沉积速率 ;在沉积温度为 15 0℃左右可获得沉积速率较快、微观形貌较好的薄膜 ;随羰基镍摩尔分数的增加 ,沉积速率也明显增大 ,同时薄膜的微观形貌也变得较为粗大 ,但达到 30 %之后 ,沉积速率增速减缓。 展开更多
关键词 化学气相沉积 金属有机物 羰基镍 镍膜
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