期刊文献+
共找到47篇文章
< 1 2 3 >
每页显示 20 50 100
基于二维材料的快速响应金属-半导体-金属结构光电探测器研究进展 被引量:5
1
作者 何嘉玉 陈克强 +6 位作者 冀婷 石林林 冯琳 李国辉 郝玉英 张晗 崔艳霞 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期745-762,共18页
快速响应光电探测器在光通信、高速摄影、生物医学成像等领域有广泛的需求。目前,市场上应用的快速响应光电探测器大多基于硅、砷化镓等传统的无机半导体材料,但是其制作工艺复杂、成本较高,并且机械灵活性差。以石墨烯、二硫化钼为代... 快速响应光电探测器在光通信、高速摄影、生物医学成像等领域有广泛的需求。目前,市场上应用的快速响应光电探测器大多基于硅、砷化镓等传统的无机半导体材料,但是其制作工艺复杂、成本较高,并且机械灵活性差。以石墨烯、二硫化钼为代表的二维材料具有独特的层状结构以及良好的光学、电学、热学和机械特性,是制备光电探测器的理想材料。尤其是部分二维材料所拥有的超高载流子迁移率特性,十分适用于研制快速响应光电探测器。近年来,一系列基于二维材料的金属-半导体-金属结构光电探测器(Metal-semiconductor-metal photodetectors,MSM-PDs)被陆续报道,很多具有1μs以下的快速响应特性。本文以基于二维材料的快速响应MSM-PDs为主题进行综述。首先介绍了MSM-PDs中的基本结构及工作原理,深入剖析了决定其响应速度的主要因素。随后介绍了石墨烯、过渡金属硫化物、黑磷、二维钙钛矿、三元硒氧铋等二维材料的分子结构、光学、电学等特性,并对各类二维材料在MSM-PDs的应用进行对比。然后分类介绍了响应速度在1μs以下的欧姆接触型、肖特基接触型以及基于表面等离激元效应二维材料MSM-PDs的研究进展。最后总结全文,并对二维材料在快速响应光电探测器中的应用前景及发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 光电探测器 快速响应 二维材料 石墨烯 过渡金属硫化物 黑磷 二维钙钛矿 金属-半导体-金属
下载PDF
Ultraviolet ZnO Photodetectors with High Gain 被引量:1
2
作者 Ghusoon M.Ali S.Singh P.Chakrabarti 《Journal of Electronic Science and Technology of China》 2010年第1期55-59,共5页
Fabrication and characterization of metal-semiconductor-metal ultraviolet (MSM UV) photodetector based on ZnO ultra thin (nano scale) films with Pd Schottky contact are reported. The ZnO thin film was grown on gla... Fabrication and characterization of metal-semiconductor-metal ultraviolet (MSM UV) photodetector based on ZnO ultra thin (nano scale) films with Pd Schottky contact are reported. The ZnO thin film was grown on glass substrate by thermal oxidation of preeposited zinc films using vacuum deposition technique. With applied voltage in the range from -3V to 3V, the contrast ratio, responsivity, and detectivity for an incident radiation of 0.1 mW at 365 nm wavelength were estimated. The proposed device exhibited a high gain which was attributed to the hole trapping at semiconductor-metal interface. I-V characteristics were studied and the parameters, such as ideality factor, leakage current, resistance-areaproduct, and barrier height, were extracted from the measured data. 展开更多
关键词 metal-semiconductor-metal (MSM) Schottky contacts ultraviolet (UV) detector zinc oxide(ZnO).
下载PDF
金属-半导体-金属结构A1GaN/GaN异质结紫外探测器技术及特性 被引量:3
3
作者 杨乐臣 付凯 +3 位作者 史学舜 陈坤峰 李立功 张宝顺 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第13期37-39,共3页
制备了金属-半导体-金属(MSM)结构的A1GaN/GaN异质结紫外探测器,探测器采用Ni/Au金属作为电极。实验研究了探测器的光电响应特性和I-V特性。此探测器具有两个光谱响应范围,光谱响应的峰值响应率分别为288nm处0.717A/W和366nm处0... 制备了金属-半导体-金属(MSM)结构的A1GaN/GaN异质结紫外探测器,探测器采用Ni/Au金属作为电极。实验研究了探测器的光电响应特性和I-V特性。此探测器具有两个光谱响应范围,光谱响应的峰值响应率分别为288nm处0.717A/W和366nm处0.641A/W,峰值处的量子效率分别为288nm处308oA和366nm处217%。 展开更多
关键词 探测器 紫外 A1GaN GAN 金属-半导体-金属 光电探测器
原文传递
Electromagnetic Resonant Properties of Metal-Dielectric-Metal (MDM) Cylindrical Microcavities
4
作者 Hang HENG Rong WANG 《Photonic Sensors》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第2期148-156,共9页
Optical metamaterials can concentrate light interaction with quantum objects. In this paper, into extremely tiny volumes to enhance their a cylindrical microcavity based on the Au-dielectric-Au sandwiched structure i... Optical metamaterials can concentrate light interaction with quantum objects. In this paper, into extremely tiny volumes to enhance their a cylindrical microcavity based on the Au-dielectric-Au sandwiched structure is proposed. Numerical study shows that the cylindrical microcavity has the strong ability of localizing light and confining 10^3- - 10^4-fold enhancement of the electromagnetic energy density, which contains the most energy of the incoming light. The enhancement factor of energy density G inside the cavity shows the regularities as the change in the thickness of the dielectric slab, dielectric constant, and the radius of gold disk. At the normal incidence of electromagnetic radiation, the obtained reflection spectra operate in the range from 4.8 μm to 6μm and with the absorption efficiency C (C=1-Rmin), which can reach 99% by optimizing the structure's geometry parameters, and the dielectric constant. Due to the symmetry of the cylindrical microcavities, this structure is insensitive to the polarization of the incident wave. The proposed optical metamaterials will have potential applications in the surface enhanced spectroscopy, new plasmonic detectors, bio-sensing, solar cells, etc. 展开更多
关键词 MICROCAVITY metal-semiconductor-metal METAMATERIAL
原文传递
Near field enhancement and absorption properties of the double cylindrical microcavities based on triple-band metamaterial absorber
5
作者 衡航 杨理 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第6期563-568,共6页
We numerically study the near field enhancement and absorption properties inside the double cylindrical microcavities based on triple-band metamaterial absorber. The compact single unit cell consists of concentric gol... We numerically study the near field enhancement and absorption properties inside the double cylindrical microcavities based on triple-band metamaterial absorber. The compact single unit cell consists of concentric gold rings each with a gold disk in the center, and a metallic ground plane separated by a dielectric layer. At the normal incidence of electromagnetic radiation, the obtained reflection spectra show that the resonance frequencies of the double microcavities are 16.65 THz, 20.65 THz, and 25.65THz, respectively. We also calculate the values of contrast C (C = 1 - Rmin), which can reach 95%, 97%, and 95% at the corresponding frequencies by optimizing the geometry parameters of structure. Moreover, we demon- strate that the multilayer structure with subwavelength electromagnetic confinement allows 104 -105-fold enhancement of the electromagnetic energy density inside the double cavities, which contains the most energy of the incoming electro- magnetic radiation. Moreover, the proposed structure will be insensitive to the polarization of the incident wave due to the symmetry of the double cylindrical microcavities. The proposed optical metamaterial is a promising candidate as an absorbing element in scientific and technical applications because of its extreme confinement, multiband absorptions, and polarization insensitivity. 展开更多
关键词 METAMATERIAL metal-semiconductor-metal MICROCAVITY ABSORPTION
下载PDF
MODELING OF METAL-SEMICONDUCTOR-METAL PHOTODETECTOR
6
作者 陈维友 刘式墉 《Journal of Electronics(China)》 1994年第4期377-382,共6页
A complete model of Metal-Semiconductor-Metal Photodetector(MSM-PD) is presented. It can be used in any circuit simulators. Simulated DC characteristics for a GaAs MSM-PD are in good agreement with reported results.
关键词 metal-semiconductor-metal PHOTODETECTOR MODELING COMPUTER-AIDED ANALYSIS
下载PDF
Physical model for the exotic ultraviolet photo-conductivity of ZnO nanowire films
7
作者 潘跃武 任守田 +1 位作者 曲士良 王强 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期634-639,共6页
Employing a simple and efficient method of electro-chemical anodization, ZnO nanowire films are fabricated on Zn foil, and an ultraviolet (UV) sensor prototype is formed for investigating the electronic transport th... Employing a simple and efficient method of electro-chemical anodization, ZnO nanowire films are fabricated on Zn foil, and an ultraviolet (UV) sensor prototype is formed for investigating the electronic transport through back-to-back double junctions. The UV (365 nm) responses of surface-contacted ZnO film are provided by I-V measurement, along with the current evolution process by on/off of UV illumination. In this paper, the back-to-back metal-seconductor-metal (M-S-M) model is used to explain the electronic transport of a ZnO nanowire film based structure. A thermionic-field electron emission mechanism is employed to fit and explain the as-observed UV sensitive electronic transport properties of ZnO film with surface-modulation by oxygen and water molecular coverage. 展开更多
关键词 ZnO nanowires metal-semiconductor-metal contact water modulated surface barrier thermionic-field electron emission
下载PDF
一维阵列MSM 4H-SiC紫外光电探测器的研制 被引量:2
8
作者 杨伟锋 蔡加法 +3 位作者 张峰 刘著光 吕英 吴正云 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期570-573,共4页
采用Ni/Au作为肖特基接触制备了一维阵列MSM4H-SiC紫外光电探测器,并测量和分析了阵列器件的I-V、光谱响应特性.结果表明,阵列探测器性能均匀性好,击穿电压均高于100V.阵列中单器件暗电流小,在偏压为20V的时候,最大暗电流均小于5pA(电... 采用Ni/Au作为肖特基接触制备了一维阵列MSM4H-SiC紫外光电探测器,并测量和分析了阵列器件的I-V、光谱响应特性.结果表明,阵列探测器性能均匀性好,击穿电压均高于100V.阵列中单器件暗电流小,在偏压为20V的时候,最大暗电流均小于5pA(电流密度为5nA/cm2),光电流比暗电流高3个数量级以上.其光谱响应表明,单器件在电压为20V时的响应度约为0.09A/W,比400nm时的比值均大5000倍,说明探测器具有良好的紫外可见比. 展开更多
关键词 4H-SIC 金属-半导体-金属 一维阵列 响应度
下载PDF
金属-无机半导体-金属光电探测器的研究进展 被引量:2
9
作者 高琳华 崔艳霞 +4 位作者 梁强兵 刘艳珍 李国辉 范明明 郝玉英 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第8期221-239,共19页
金属-半导体-金属光电探测器(MSM-PDs)本身固有的高速、高响应率、易集成等特性使其在光纤通信、传感、制导等多个领域受到广泛关注。文中围绕金属-无机半导体-金属光电探测器展开综述。首先介绍了MSM-PDs的基本结构,包含共面和垂直两... 金属-半导体-金属光电探测器(MSM-PDs)本身固有的高速、高响应率、易集成等特性使其在光纤通信、传感、制导等多个领域受到广泛关注。文中围绕金属-无机半导体-金属光电探测器展开综述。首先介绍了MSM-PDs的基本结构,包含共面和垂直两种类型。紧接着,介绍了MSM-PDs具体的工作原理,除了常见的光电导型及肖特基型工作原理,还介绍了以金属作为吸光层的热载流子光电探测器的工作原理。随后,详细介绍了以GaAs、InGaAs、Si/Ge等无机材料作为半导体层的MSM-PDs在过去所取得的研究进展。此外,还介绍了利用金属微纳结构拓展较宽带隙半导体材料MSM-PDs在红外波段响应特性的研究进展。最后,总结全文并对MSM-PDs未来的发展做出了展望。 展开更多
关键词 金属-半导体-金属 光电探测器 肖特基 红外 金属微纳结构
下载PDF
Near-infrared metal-semiconductor-metal photodetector based on semi-insulating GaAs and interdigital electrodes 被引量:2
10
作者 A.I.Nusir A.M.Hill +1 位作者 M.O.Manasreh J.B.Herzog 《Photonics Research》 SCIE EI 2015年第1期1-4,共4页
Metal-semiconductor-metal photodetectors on semi-insulating Ga As with interdigital electrodes showed significant enhancement in the spectral response in the near-infrared region as the electrode spacing is reduced. T... Metal-semiconductor-metal photodetectors on semi-insulating Ga As with interdigital electrodes showed significant enhancement in the spectral response in the near-infrared region as the electrode spacing is reduced. The photocurrent for the device with 5 μm interdigital spacing is five orders of magnitude higher than the dark current, and the room temperature detectivity is on the order of 2.4 × 1012cm Hz1∕2W-1at 5 V bias. Furthermore,the spectral response of this device possesses strong dependence on the polarization of incident light showing potential plasmonic effects with only microscale dimensions. These experimental data were analyzed using optical simulation to confirm the response of the devices. 展开更多
关键词 GA AS Near-infrared metal-semiconductor-metal photodetector based on semi-insulating GaAs and interdigital electrodes
原文传递
InAlAs/InGaAsMSM光电探测器
11
作者 张永刚 陈建新 +1 位作者 任尧成 李爱珍 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 1995年第1X期49-52,共4页
采用GSMBE方法及典型的器件工艺制成了用InAlAs作为肖特基势垒增强材料的高性能InAlAs/InGaAs/InPMSM光电探测器。用自制的测试系统对器件的直流和瞬态特性进行了测试,测试结果表明,器件的击穿电压大... 采用GSMBE方法及典型的器件工艺制成了用InAlAs作为肖特基势垒增强材料的高性能InAlAs/InGaAs/InPMSM光电探测器。用自制的测试系统对器件的直流和瞬态特性进行了测试,测试结果表明,器件的击穿电压大于30V,在10V偏压下暗电流小于20nA,对应的暗电流密度为3pA/μm ̄2,优于已有的文献报导;器件的瞬态响应中上升时间小于20ps,半高全宽小于40ps,器件性能表明用此套GSMBE系统在优化生长条件下生长的InP系材料质量良好,在外延层晶体质量,本底杂质浓度及界面质量等方面已达到较高水平。 展开更多
关键词 光电探测器 GSMBE 外延生长
原文传递
Theoretical optimization of the characteristics of ZnO metal-semiconductor-metal photodetectors 被引量:1
12
作者 Ghania Harzallah Mohamed Remram 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第10期1-5,共5页
A two-dimensional model of a metal-semiconductor-metal (MSM) ZnO-based photodetector (PD) is developed. The PD is based on a drift diffusion model of a semiconductor that allows the calculation of potential distri... A two-dimensional model of a metal-semiconductor-metal (MSM) ZnO-based photodetector (PD) is developed. The PD is based on a drift diffusion model of a semiconductor that allows the calculation of potential distribution inside the structure, the transversal and longitudinal distributions of the electric field, and the distribution of carrier concentration. The ohmicity of the contact has been confirmed. The dark current of MSM PD based ZnO for different structural dimensions are likewise calculated. The calculations are comparable with the experimental results. Therefore, the influence with respect to parameters s (finger spacing) and w (finger width) is studied, which results in the optimization of these parameters. The best optimization found to concur with the experimental results is s = 16 μm, w = 16 μm, l = 250 μm, L = 350 μm, where l is the finger length and L is the length of the structure. This optimization provides a simulated dark current eaual to 24.5 nA at the polarization of 3 V. 展开更多
关键词 ZNO Theoretical optimization of the characteristics of ZnO metal-semiconductor-metal photodetectors
原文传递
Monolithically Fabricated OEICs Using RTD and MSM
13
作者 胡艳龙 梁惠来 +3 位作者 李益欢 张世林 毛陆虹 郭维廉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期641-645,共5页
Two kinds of monolithically fabricated circuits are demonstrated in GaAs-based material systems using resonant tunneling diodes(RTD) and metal-semiconductor-metal photo detectors(MSM PD). The electronic characteri... Two kinds of monolithically fabricated circuits are demonstrated in GaAs-based material systems using resonant tunneling diodes(RTD) and metal-semiconductor-metal photo detectors(MSM PD). The electronic characteristics of these fabricated RTD devices,MSM devices,and integrated circuits are tested at room temperature. The results show that the current peak-to-valley ratio is 4,and the photocurrent at 5V is enhanced by a factor of nearly 9,from 2 to about 18μA by use of recessed electrodes. The working theory and logical functions of the circuits are validated. 展开更多
关键词 resonant tunneling diode metal-semiconductor-metal photo detector device simulation monolithic optoelectronic integration
下载PDF
Au-Al_xGa_(1-x)N MSM结构紫外光电二极管伏安特性研究
14
作者 赵岚 鲁正雄 +1 位作者 赵鸿燕 成彩晶 《航空兵器》 2005年第5期27-29,共3页
在N型AlxGa1-xN(x=0.19~0.25)薄膜表面热蒸发Au金属薄膜,经过退火后制成MSM结构的光电器件.测试其I-V曲线,从金属-半导体MSM结构肖特基二极管的理论模型推导了这种新型紫外器件的理想伏安特性,并将实验结果与理论模型相拟合,为制造导... 在N型AlxGa1-xN(x=0.19~0.25)薄膜表面热蒸发Au金属薄膜,经过退火后制成MSM结构的光电器件.测试其I-V曲线,从金属-半导体MSM结构肖特基二极管的理论模型推导了这种新型紫外器件的理想伏安特性,并将实验结果与理论模型相拟合,为制造导弹来袭紫外告警探测器提供研究依据. 展开更多
关键词 ALGAN 紫外探测器 MSM 伏安特性
下载PDF
U型凹槽电极硅MSM结构光电探测器的研制
15
作者 黄燕华 陈松岩 +2 位作者 李成 蔡加法 余金中 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期869-871,894,共4页
为了提高硅MSM结构光电探测器的光电响应度,制备了U型凹槽电极结构的探测器。5 V偏压下,对650 nm波长入射光的绝对光电响应度测试表明,凹槽电极结构的探测器最大光电响应度值为0.486 A/W,比同样尺寸的平版结构光电探测器提高了约6倍。... 为了提高硅MSM结构光电探测器的光电响应度,制备了U型凹槽电极结构的探测器。5 V偏压下,对650 nm波长入射光的绝对光电响应度测试表明,凹槽电极结构的探测器最大光电响应度值为0.486 A/W,比同样尺寸的平版结构光电探测器提高了约6倍。文中也对比了具有抗反射膜和不具有抗反射膜的器件相对响应光谱的差别,并且比较分析了叉指间隙分别为5μm和10μm器件光电响应的不同。 展开更多
关键词 金属-半导体-金属结构 光电响应度 探测器
原文传递
基于金属-介质-金属圆柱体微腔的光的强局域和高吸收特性(英文)
16
作者 衡航 《南京师大学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期137-143,共7页
等离激元纳米结构能够把光场局域到非常小的空间,而应用在表面增强光谱、生物传感和太阳能电池等领域.我们设计了一种对光场具有高局域和强吸收特性的基于金-介质-金三明治结构的圆柱体微腔结构.计算结果显示:该圆柱微腔能够局域入射光... 等离激元纳米结构能够把光场局域到非常小的空间,而应用在表面增强光谱、生物传感和太阳能电池等领域.我们设计了一种对光场具有高局域和强吸收特性的基于金-介质-金三明治结构的圆柱体微腔结构.计算结果显示:该圆柱微腔能够局域入射光的绝大部分能量,产生强的平均电磁场能量密度.微腔内的平均电磁场能量密度增强因子G达到10~3~10~4数量级,而且G值随着介质层的厚度、介电常数和圆饼半径的变化呈现出了一定的变化规律.在正入射波的条件下,经计算得到了4.8μm^6μm范围的反射光谱和吸收率C(C=1-R_(min)),通过优化介电常数和结构的几何参数,C值达到99%. 展开更多
关键词 微腔 金属-半导体-金属 吸收
下载PDF
AlGaN metal-semiconductor-metal ultraviolet photodetectors on sapphire substrate with a low-temperature AlN buffer layer
17
作者 张军琴 杨银堂 贾护军 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第10期87-89,共3页
Unintentionally doped AlGaN thin films are grown on c-plane(0001) sapphire substrate by metal-organic chemical vapor deposition, and low-temperature AlN is deposited onto sapphire substrate used as a bu?er layer. AlGa... Unintentionally doped AlGaN thin films are grown on c-plane(0001) sapphire substrate by metal-organic chemical vapor deposition, and low-temperature AlN is deposited onto sapphire substrate used as a bu?er layer. AlGaN metal-semiconductor-metal ultraviolet photodetectors with Ni/Au interdigitated contact electrodes are then fabricated by lift-off technology. The dark current of the AlGaN photodetectors is 5.61×10-9 A at 2-V applied bias and the peak response occurrs at 294 nm. 展开更多
关键词 AlGaN metal-semiconductor-metal ultraviolet photodetectors on sapphire substrate with a low-temperature AlN buffer layer ALN
原文传递
金属–半导体–金属结构非极性α-AlGaN深紫外探测器的制备
18
作者 贾辉 徐建飞 +2 位作者 石璐珊 梁征 张滢 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1304-1308,共5页
通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)高温外延生长的未掺杂非极性α-AlGaN半导体薄膜,制备了金属–半导体–金属(MSM)结构的深紫外光电探测器,研究了在α-AlGaN半导体薄膜表面磁控溅射不同时间的SiO2纳米颗粒对α-AlGaN MSM结构的深紫... 通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)高温外延生长的未掺杂非极性α-AlGaN半导体薄膜,制备了金属–半导体–金属(MSM)结构的深紫外光电探测器,研究了在α-AlGaN半导体薄膜表面磁控溅射不同时间的SiO2纳米颗粒对α-AlGaN MSM结构的深紫外探测器性能的影响。结果表明:5 V偏压下,探测器光谱响应峰值提高了大约3个数量级,深紫外近可见抑制比高达10^4,具有很好的深紫外特性,同时暗电流也下降了2-3个数量级,磁控溅射SiO2纳米颗粒提升了α-AlGaNMSM结构深紫外探测器性能。 展开更多
关键词 深紫外探测器 二氧化硅纳米颗粒 非极性α面铝镓氮 金属–半导体–金属结构
原文传递
ZnO紫外探测器的研究
19
作者 杨磊 王柱生 +9 位作者 李占奎 刘凤琼 王秀华 陈翠红 李海霞 李荣华 戎欣娟 祖凯玲 李春燕 卢子伟 《原子核物理评论》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期69-72,共4页
利用水热法生长的N型优质Zn O晶体材料蒸镀了Au、Ag、Al金属,制备出金属-半导体-金属型(MSM)Zn O紫外探测器,测试了五种接触类型的Zn O紫外探测器(Au-Zn O-Au、Ag-Zn O-Ag、Au-Zn O-Al、Ag-Zn O-Al、Al-Zn O-Al)在365 nm紫外光光照前后... 利用水热法生长的N型优质Zn O晶体材料蒸镀了Au、Ag、Al金属,制备出金属-半导体-金属型(MSM)Zn O紫外探测器,测试了五种接触类型的Zn O紫外探测器(Au-Zn O-Au、Ag-Zn O-Ag、Au-Zn O-Al、Ag-Zn O-Al、Al-Zn O-Al)在365 nm紫外光光照前后的I-V特性曲线。实验表明Au-Zn O-Au型、Ag-Zn O-Ag型的探测器的光电流是暗电流的100万倍,因此,Au-Zn O-Au型、Ag-Zn O-Ag型的Zn O紫外探测器性能比AuZn O-Al、Ag-Zn O-Al、Al-Zn O-Al型的优越。Zn O材料的电阻率对Zn O紫外探测器的光电流有较大的影响。在相同偏压下,电阻率越大,探测器的光电流越小。 展开更多
关键词 ZNO 紫外探测器 金属-半导体-金属
原文传递
电压调制ZnO紫外探测器光响应截止波长的研究 被引量:9
20
作者 段雨晗 丛明煜 +1 位作者 蒋大勇 梁庆成 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第20期36-40,共5页
通过射频磁控溅射技术,成功制备了具有金属-半导体-金属(MSM)结构的ZnO紫外光电探测器。研究了外加偏压对探测器响应度和截止波长的影响。随着偏压的增大,器件的响应度逐渐增加并且趋于饱和,探测器的响应截止波长红移了12 nm。这是电场... 通过射频磁控溅射技术,成功制备了具有金属-半导体-金属(MSM)结构的ZnO紫外光电探测器。研究了外加偏压对探测器响应度和截止波长的影响。随着偏压的增大,器件的响应度逐渐增加并且趋于饱和,探测器的响应截止波长红移了12 nm。这是电场引起的耗尽层的展宽以及带隙倾斜造成的。提出了一种利用外加偏压控制探测器截止波长的有效方法,该方法对紫外光电探测器的进一步研究和应用具有重要意义。 展开更多
关键词 探测器 光电探测器 氧化锌 金属-半导体金属结构 响应度 截止波长 红移
原文传递
上一页 1 2 3 下一页 到第
使用帮助 返回顶部