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题名金属氧化物半导体气体传感器选择性改进研究进展
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作者
刘亚东
徐勇
尤立娟
王学峰
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机构
陆军防化学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第10期1-5,共5页
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文摘
选择性较差一直是金属氧化物半导体(MOS)传感器难以攻破的主要技术瓶颈。本文基于单层结构和分层结构两种角度,对目前解决MOS传感器选择性问题的技术途径进行了综述。基于单层结构提出的技术途径,能够在一定程度上提升传感器的选择性,但在实际应用环境下的抗干扰能力等方面存在一定的未知性和局限性。基于分层结构提出的技术途径,在对气体的响应过程中产生的具有差异性的特征,可以为传感器对目标气体的准确识别提供可靠依据。但分层结构MOS传感器一致性较难控制、制备技术要求较高、使用寿命相对较短等问题仍需进一步改进和完善。
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关键词
金属氧化物半导体气体传感器
选择性
技术途径
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Keywords
metal oxide semiconductor gas sensors
selectivity
technology pathways
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名金属氧化物半导体基三乙胺传感器研究进展
被引量：2
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作者
张静宜
孟哈日巴拉
张战营
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机构
河南理工大学材料科学与工程学院
河南理工大学环境友好型无机材料河南省高校重点实验室培育基地
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出处
《无机盐工业》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第12期67-73,99,共8页
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基金
国家自然科学基金(U1704255)
河南省教育厅自然科学基金(20A430014)。
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文摘
三乙胺是一种应用广泛但对人体有毒副作用的挥发性有机物,需要长期有效的监测,开发一种性能稳定、安全可靠的三乙胺气敏传感器,实现对环境中三乙胺气体浓度实时检测,对于三乙胺的安全储存、运输和使用等环节是至关重要的。金属氧化物半导体基气敏传感器具有制备简单、价格低廉、响应值高等优点,在三乙胺气体的检测中具有不可替代的作用。重点介绍了基于金属氧化物半导体的三乙胺传感器最新研究进展。综述了近年来包括掺杂、异质结、有机金属骨架和氧化还原石墨烯在内的关于金属氧化物半导体基三乙胺气敏材料的制备和性能等方面的研究成果。论述了金属氧化物半导体基复合材料对三乙胺气敏性能的机理。展望了金属氧化物基三乙胺气敏材料的未来研究方向。
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关键词
金属氧化物半导体
三乙胺
纳米材料
气体传感器
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Keywords
metal oxide semiconductor
triethylamine
nanomaterials
gas sensors
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分类号
TP212.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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