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金属氧化物半导体气敏传感器的研究和开发进展 被引量:14
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作者 蔡晔 葛忠华 陈银飞 《化工生产与技术》 CAS 1997年第2期29-34,共6页
综述了近期国内外金属氧化物半导体气教传感器的研究和开发进展;阐述了半导体气敏材料的气敏作用及机理;展望了今后半导体气敏传感器技术的发展趋向。
关键词 金属氧化物 气敏传感器 半导体
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基于STM32单片机的便携式室内空气质量检测仪 被引量:6
2
作者 曹伟洋 王涛 +3 位作者 马宏莉 曾敏 杨建华 杨志 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第11期101-104,共4页
为解决室内空气质量检测仪器存在的检测精度低和体积笨重等问题,本研究基于STM32单片机,利用低功耗和高精度的金属氧化物气体传感器,设计并开发了一种新型的室内空气质量检测仪器,用于甲苯和甲醛等室内常见污染气体的实时检测。研究开... 为解决室内空气质量检测仪器存在的检测精度低和体积笨重等问题,本研究基于STM32单片机,利用低功耗和高精度的金属氧化物气体传感器,设计并开发了一种新型的室内空气质量检测仪器,用于甲苯和甲醛等室内常见污染气体的实时检测。研究开发的样机尺寸为60 mm×40 mm×8 mm,对比市面同类产品,具有体积小、轻便和易携带的特点。在模拟室内环境的密闭腔室中开展了对不同体积分数污染气体的实际检测,结果表明:该空气质量检测仪器对室内常见污染气体具有传感响应快、恢复性能好且检测稳定等优异性能。 展开更多
关键词 金属氧化物气体传感器 STM32单片机 甲苯检测 甲醛检测
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电子束蒸发 WO_3-基气敏薄膜特性的研究 被引量:5
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作者 丘思畴 陈涛 +1 位作者 吴正华 黄汉尧 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1998年第3期1-4,共4页
介绍了用电子束蒸发制作WO3气敏薄膜、溅射掺Au、膜的热处理工艺以及对H2S气体的敏感特性测量的初步结果.着重讨论了WO3膜的稳定化过程.
关键词 气敏元件 电子束蒸发 薄膜 氧化钨 半导体
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VO_2(B)/ZnO异质复合纳米棒结构的室温NH_3敏感性能研究 被引量:4
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作者 梁继然 张叶 +2 位作者 杨然 赵一瑞 郭津榜 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期1323-1329,共7页
以VO_2(B)纳米棒为内核,利用液相生长法制备了VO_2(B)/ZnO异质复合纳米棒,研究了ZnO生长溶液浓度对复合结构微观形貌和气敏性能的影响规律。采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪对复合结构样品的微观形貌和结晶取向进行表征,并测试了复合... 以VO_2(B)纳米棒为内核,利用液相生长法制备了VO_2(B)/ZnO异质复合纳米棒,研究了ZnO生长溶液浓度对复合结构微观形貌和气敏性能的影响规律。采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪对复合结构样品的微观形貌和结晶取向进行表征,并测试了复合结构对NH_3的敏感性能。实验结果表明,随着ZnO种子液浓度的增大,ZnO逐渐由纳米颗粒生长为纳米棒结构,当ZnO种子液浓度为0.01 mol/L时,ZnO呈棒状沿径向发散生长在VO_2(B)纳米棒表面,形成树枝状VO_2(B)/ZnO异质复合纳米棒结构,这一结构在室温下表现出对NH_3的高灵敏度和突出的选择性,其灵敏度最大可达5.6,对NH_3的响应时间最短仅为2 s。在室温下表现出的优良NH_3敏感性能,主要与高密度的VO_2(B)/ZnO异质结和树枝状结构有关。研究结果为低功耗高灵敏度NH_3气敏传感器的研制提供了重要依据。 展开更多
关键词 VO2(B)纳米棒 ZNO纳米棒 金属氧化物异质结 氨气传感器
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Improved and excellent CO sensing properties of Cu-doped TiO_2 nanofibers 被引量:3
5
作者 WANG Biao ZHAO YuDong +4 位作者 HU LiMing CAO JunSheng GAO FengLi LIU Yun WANG LiJun 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2010年第3期228-232,共5页
Cu-doped TiO2 nanofibers with an average diameter of about 80 nm are synthesized through an electrospinning method. Both anatase and rutile crystallographic structures are found in the fibers based on XRD results. Com... Cu-doped TiO2 nanofibers with an average diameter of about 80 nm are synthesized through an electrospinning method. Both anatase and rutile crystallographic structures are found in the fibers based on XRD results. Compared with pure TiO2 nanofibers, the Cu-doped TiO2 nanofibers exhibit improved CO sensing properties at 300°C. The sensitivity of Cu-doped TiO2 nanofibers is up to 3 when the sensor is exposed to 5 ppm CO, and the response and recovery times are about 4 and 8 s, respectively. Good selectivity is also observed in our investigations. These results indicate that the Cu-doped TiO2 nanofibers can be used to fabricate high performance CO sensors in practice. 展开更多
关键词 纳米纤维 TIO2 二氧化碳 铜掺杂 传感器 性能 X射线衍射 合成方法
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Improved and excellent ethanol sensing properties of SnO_2/multiwalled carbon nanotubes 被引量:3
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作者 LIU Li ZHUANG Juan +4 位作者 LIU KuiXue WANG LianYuan LI ShouChun LI Wei LI XiaoLong 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2010年第4期382-385,共4页
SnO2/multiwalled carbon nanotubes (MWNTs) have been studied as gas sensing materials. Compared with pure SnO2, SnO2/MWNTs exhibit improved ethanol sensing properties such as higher sensitivity and quicker response/rec... SnO2/multiwalled carbon nanotubes (MWNTs) have been studied as gas sensing materials. Compared with pure SnO2, SnO2/MWNTs exhibit improved ethanol sensing properties such as higher sensitivity and quicker response/recovery at 300°C. The sensitivity is 35, 65, 166 and 243 to 500, 1000, 2000 and 3000 ppm ethanol, respectively. The response time is about 1 s, and the recovery time is about 5 s. The sensing improvement is explained in terms of the appropriate basal resistance and enhanced signal transfer brought by MWNTs. 展开更多
关键词 多壁碳纳米管 气敏性能 乙醇 斯诺 MWNTS 气敏材料 响应时间 信号传输
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金属氧化物半导体基三乙胺传感器研究进展 被引量:2
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作者 张静宜 孟哈日巴拉 张战营 《无机盐工业》 CAS CSCD 北大核心 2021年第12期67-73,99,共8页
三乙胺是一种应用广泛但对人体有毒副作用的挥发性有机物,需要长期有效的监测,开发一种性能稳定、安全可靠的三乙胺气敏传感器,实现对环境中三乙胺气体浓度实时检测,对于三乙胺的安全储存、运输和使用等环节是至关重要的。金属氧化物半... 三乙胺是一种应用广泛但对人体有毒副作用的挥发性有机物,需要长期有效的监测,开发一种性能稳定、安全可靠的三乙胺气敏传感器,实现对环境中三乙胺气体浓度实时检测,对于三乙胺的安全储存、运输和使用等环节是至关重要的。金属氧化物半导体基气敏传感器具有制备简单、价格低廉、响应值高等优点,在三乙胺气体的检测中具有不可替代的作用。重点介绍了基于金属氧化物半导体的三乙胺传感器最新研究进展。综述了近年来包括掺杂、异质结、有机金属骨架和氧化还原石墨烯在内的关于金属氧化物半导体基三乙胺气敏材料的制备和性能等方面的研究成果。论述了金属氧化物半导体基复合材料对三乙胺气敏性能的机理。展望了金属氧化物基三乙胺气敏材料的未来研究方向。 展开更多
关键词 金属氧化物半导体 三乙胺 纳米材料 气体传感器
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纳米金属氧化物气体传感材料研究进展 被引量:2
8
作者 张轩 杨海峰 +3 位作者 席广成 卢晓静 李俊芳 闫妍 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI CAS 2012年第2期28-31,49,共5页
综述了常见几种纳米金属氧化物传感材料在晶体结构控制、纳米结构构建、元素及化合物掺杂等提升材料气敏性能方面的研究进展,同时介绍了相应传感器件的研发现状。
关键词 金属氧化物 纳米结构 气体传感器 掺杂
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WO_(x)基气敏材料的研究进展
9
作者 黄景萍 曹立伟 李昂 《科技创新导报》 2022年第16期15-21,118,共8页
在各种气体传感器中,基于金属半导体的气体传感器具有独特的优势。与其他传感器相比,基于金属氧化物半导体的气体传感器既便宜又易于制造,此外,它还具有响应速度快、恢复速度快、灵敏度高等优点,具有很大的应用潜力。常见的金属氧化物... 在各种气体传感器中,基于金属半导体的气体传感器具有独特的优势。与其他传感器相比,基于金属氧化物半导体的气体传感器既便宜又易于制造,此外,它还具有响应速度快、恢复速度快、灵敏度高等优点,具有很大的应用潜力。常见的金属氧化物材料有ZnO、SnO_(2)、WO_(x)等,其中,氧化钨(WO_(x))由于其优异的电学和光学性能被广泛应用于传感、催化、电池等领域。本文总结了氧化钨(WO_(x))的合成和结构,着重概括了化学计量的WO_(3)及亚化学计量的氧化钨(WO_(3-x),0<x<1)在气体传感器领域的研究现状和进展,并整理了相关气敏传感机理,最后展望了WO_(x)基传感器的发展趋势。 展开更多
关键词 金属氧化物 WO_(x) 气敏传感器 气敏传感机理
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关于石墨烯与金属氧化物复合材料应用于气敏材料的研究
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作者 冯秋霞 王兢 李晓干 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期10006-10012,10018,共8页
综述了最近报道的关于石墨烯与不同金属氧化物复合材料的主要制备方法,重点强调了石墨烯与金属氧化物复合材料应用于气敏传感器领域在响应提高,响应恢复速度提高,工作温度降低等方面所体现出的优势,并分析了关于气敏特性改善的可能因素... 综述了最近报道的关于石墨烯与不同金属氧化物复合材料的主要制备方法,重点强调了石墨烯与金属氧化物复合材料应用于气敏传感器领域在响应提高,响应恢复速度提高,工作温度降低等方面所体现出的优势,并分析了关于气敏特性改善的可能因素,同时考虑了关于石墨烯与金属氧化物复合材料气敏响应可能的作用机理。同时也探讨了未来研究的方向和技术挑战,为进一步的研究和发展提供了一定的帮助。 展开更多
关键词 石墨烯 金属氧化物 复合材料 气敏材料 气体传感器
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金属氧化物半导体气体传感器选择性改进研究进展
11
作者 刘亚东 徐勇 +1 位作者 尤立娟 王学峰 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期1-5,共5页
选择性较差一直是金属氧化物半导体(MOS)传感器难以攻破的主要技术瓶颈。本文基于单层结构和分层结构两种角度,对目前解决MOS传感器选择性问题的技术途径进行了综述。基于单层结构提出的技术途径,能够在一定程度上提升传感器的选择性,... 选择性较差一直是金属氧化物半导体(MOS)传感器难以攻破的主要技术瓶颈。本文基于单层结构和分层结构两种角度,对目前解决MOS传感器选择性问题的技术途径进行了综述。基于单层结构提出的技术途径,能够在一定程度上提升传感器的选择性,但在实际应用环境下的抗干扰能力等方面存在一定的未知性和局限性。基于分层结构提出的技术途径,在对气体的响应过程中产生的具有差异性的特征,可以为传感器对目标气体的准确识别提供可靠依据。但分层结构MOS传感器一致性较难控制、制备技术要求较高、使用寿命相对较短等问题仍需进一步改进和完善。 展开更多
关键词 金属氧化物半导体气体传感器 选择性 技术途径
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一种基于自适应温度调制模式的金属氧化物气体传感器 被引量:4
12
作者 朱斌 殷晨波 +1 位作者 张子立 杨柳 《南京工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2013年第1期61-65,共5页
通过分析温度对金属氧化物气体传感器性能影响的过程,提出一种自适应温度调制模式的传感器气敏性能研究方法,着重阐述自适应温度调制模式的工作原理,设计以气敏单元电阻值为反馈信号的传感器闭环控制加热电路,借助于电路模拟方法,获取... 通过分析温度对金属氧化物气体传感器性能影响的过程,提出一种自适应温度调制模式的传感器气敏性能研究方法,着重阐述自适应温度调制模式的工作原理,设计以气敏单元电阻值为反馈信号的传感器闭环控制加热电路,借助于电路模拟方法,获取在不同气体下传感器温度响应曲线。结果表明:在相同的计数长度k和不同气体组分下,温度响应曲线各不相同。以H2为例,传感器的温度范围为140~220℃,传感器温度变化周期为800 ms,其中上升时间长度为300ms,下降时间长度为500 ms,为定性分析气体种类和定量分析气体浓度提供了大量的传感器响应信息。 展开更多
关键词 温度调制 金属氧化物气体传感器 热分析 闭环电路 电路模拟
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