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题名激光直写制备金属与碳材料微纳结构与器件研究进展
被引量：7
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作者
周伟平
白石
谢祖武
刘明伟
胡安明
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机构
湖南科技大学物理与电子科学学院
理化学研究所光量子工学研究中心先进激光加工研究团队
先进制造与纳米工程实验室
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期38-50,共13页
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基金
湖南省教育厅一般项目(19C0763)
湖南科技大学博士启动基金资助项目(E52060)。
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文摘
激光直写技术作为一种新兴的低成本、高效、高精度的加工技术,可以适用于几乎任意自由度的二维或者三维微纳结构快速成型制备。这对光电子以及半导体微纳结构与器件的制备具有重大的意义。金属微纳结构在电子学和光子学中有着广泛的应用。本文综述了激光直写制备金属微纳结构相关研究进展。主要包括激光直写制备金、银、铜以及复合材料微纳结构与器件。随后重点综述了激光直写表面增强拉曼光谱微流道芯片相关的研究进展。随着环保要求的不断提高,功能性碳材料将会在更多领域得到广泛的应用。与传统的热碳化方法相比,激光直写工艺可以在材料的表面上实现精细的图案化微纳结构的制备。本文进一步综述了激光碳化直写碳功能材料相关研究进展。主要包括激光直写原位还原氧化石墨烯、激光碳化木材、叶子等木质材料。通过对本课题组的研究以及目前相关的研究成果进行综述,本文可为激光直写制备金属与碳材料微纳结构与器件研究及应用提供参考。
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关键词
激光直写
微纳结构与器件
金属微纳结构
碳材料
表面增强拉曼
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Keywords
laser direct writing
micro/nano structures and devices
metal micro/nano structures
carbon materials
surface-enhanced Raman spectroscopy
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名激光辅助三维金属微打印(特邀)
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作者
林子杰
徐剑
程亚
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机构
华东师范大学物理与电子科学学院精密光谱科学与技术国家重点实验室
华东师范大学物理与电子科学学院极端光机电实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2020年第12期239-255,共17页
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文摘
当前微纳尺度的三维金属结构,由于其独特的物化性能和空间构型优势,在科学与工程领域的应用需求日益增多。由此应运而生的各种三维金属微尺度打印技术近年来相继被开发,并引起了广泛关注。在众多技术中,基于激光的三维微打印技术有着非接触加工、制造灵活性好等优势。文中综述了当前一些代表性的激光辅助三维金属微打印技术,总结了各种三维金属微打印的基本原理、技术优势及典型应用。针对高表面光滑度、高熔点、高电导率的三维金属微打印存在的挑战,介绍了超快激光制备玻璃微通道模具法辅助实现三维金属微制造的新技术。最后就三维金属微打印的未来方向和应用前景进行了探讨。
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关键词
三维金属微打印
金属微纳结构
激光三维打印
超快激光
玻璃微通道
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Keywords
3D metal micro-printing
metal micro/nano-structures
laser 3D printing
ultrafast laser
glass microchannel molding
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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