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声表面波谐振式力学量传感器的发展与现状
被引量：
2
1
作者
陈明
王玮
《传感器技术》
CSCD
2000年第5期1-3,共3页
扼要回顾了国内外在声表面波力学量传感器方面一些重要的成就 ,阐述了声表面波力学量传感器的特点、基本工作原理 ,简单推导了该传感器输入 -输出关系 ,并对声表面波其他传感器作了介绍。
关键词
声表面波
力学量传感器
谐振式
下载PDF
职称材料
石墨烯谐振式力学量传感器研究进展
被引量：
4
2
作者
万震
李成
+2 位作者
刘宇健
宋学锋
樊尚春
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第12期89-105,共17页
传统谐振式传感器的谐振敏感元件大多采用金属、石英晶体、硅等材料制成,但随着谐振式传感器朝着小型化、微型化、实用化的趋势发展,不但要求新型谐振子材料可进行微纳加工,还对其灵敏度和精度提出了更高的要求.石墨烯这种新型二维纳米...
传统谐振式传感器的谐振敏感元件大多采用金属、石英晶体、硅等材料制成,但随着谐振式传感器朝着小型化、微型化、实用化的趋势发展,不但要求新型谐振子材料可进行微纳加工,还对其灵敏度和精度提出了更高的要求.石墨烯这种新型二维纳米材料,因具有出色的力学、电学、光学、热学特性,在谐振传感领域有着巨大的应用潜力和研究价值,因此基于石墨烯材料的力学量传感器有望在小型化、高性能和环境适应性等多方面超越硅基力学量传感器.本文针对石墨烯谐振式力学量传感器,介绍了石墨烯材料的基本性质、制备与转移方法,阐述了谐振式传感器的工作原理与应用特点,进而分析了关于石墨烯谐振特性优化与谐振器制备的理论与实验研究;在此基础上,重点总结了石墨烯谐振器在压力、加速度、质量等传感器领域的研究进展,梳理了石墨烯谐振式力学量传感器在薄膜转移、结构制备与激振/拾振等方面的技术问题,同时也明确了石墨烯在谐振传感领域的研究价值和发展潜力.
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关键词
石墨烯
谐振
力学量传感器
性能分析
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职称材料
题名
声表面波谐振式力学量传感器的发展与现状
被引量：
2
1
作者
陈明
王玮
机构
西北工业大学自动控制系
出处
《传感器技术》
CSCD
2000年第5期1-3,共3页
文摘
扼要回顾了国内外在声表面波力学量传感器方面一些重要的成就 ,阐述了声表面波力学量传感器的特点、基本工作原理 ,简单推导了该传感器输入 -输出关系 ,并对声表面波其他传感器作了介绍。
关键词
声表面波
力学量传感器
谐振式
Keywords
surface
acoustic
wave
(SAW)
mechanical
quantity
sensor
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
石墨烯谐振式力学量传感器研究进展
被引量：
4
2
作者
万震
李成
刘宇健
宋学锋
樊尚春
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
深圳北航新兴产业技术研究院
南方科技大学量子科学与工程研究院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第12期89-105,共17页
基金
国家自然科学基金(批准号:62173021)
北京市自然科学基金(批准号:4212039)
+1 种基金
航空科学基金(批准号:2020Z073051002)
深圳市科技创新委员会(批准号:JCYJ20180504165721952)资助的课题。
文摘
传统谐振式传感器的谐振敏感元件大多采用金属、石英晶体、硅等材料制成,但随着谐振式传感器朝着小型化、微型化、实用化的趋势发展,不但要求新型谐振子材料可进行微纳加工,还对其灵敏度和精度提出了更高的要求.石墨烯这种新型二维纳米材料,因具有出色的力学、电学、光学、热学特性,在谐振传感领域有着巨大的应用潜力和研究价值,因此基于石墨烯材料的力学量传感器有望在小型化、高性能和环境适应性等多方面超越硅基力学量传感器.本文针对石墨烯谐振式力学量传感器,介绍了石墨烯材料的基本性质、制备与转移方法,阐述了谐振式传感器的工作原理与应用特点,进而分析了关于石墨烯谐振特性优化与谐振器制备的理论与实验研究;在此基础上,重点总结了石墨烯谐振器在压力、加速度、质量等传感器领域的研究进展,梳理了石墨烯谐振式力学量传感器在薄膜转移、结构制备与激振/拾振等方面的技术问题,同时也明确了石墨烯在谐振传感领域的研究价值和发展潜力.
关键词
石墨烯
谐振
力学量传感器
性能分析
Keywords
graphene
resonator
mechanical
quantity
sensor
performance
analysis
分类号
TQ127.11 [化学工程—无机化工]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
声表面波谐振式力学量传感器的发展与现状
陈明
王玮
《传感器技术》
CSCD
2000
2
下载PDF
职称材料
2
石墨烯谐振式力学量传感器研究进展
万震
李成
刘宇健
宋学锋
樊尚春
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
4
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
统计分析
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