基于质量流量控制器的高精密配气系统 被引量：11

1

作者 王婧娜 刘志伟 +3 位作者 严蕊 张婷 苏锦 胡岚 《化工自动化及仪表》 CAS 2016年第3期277-279,共3页

针对市售标气很难满足实际应用需求的问题,基于质量流量控制器的控制原理,研制一套高精密动态可持续输出的配气系统。给出系统的总体结构及其工作原理,并利用电化学传感器和统计学原理,对该系统的稳定性和准确度进行了考察,结果表明:在3... 针对市售标气很难满足实际应用需求的问题,基于质量流量控制器的控制原理,研制一套高精密动态可持续输出的配气系统。给出系统的总体结构及其工作原理,并利用电化学传感器和统计学原理,对该系统的稳定性和准确度进行了考察,结果表明:在30min的考察期内,配气浓度标准偏差小于0.40%,在95%的置信区间内与电化学传感器测定值的准确度相当。 展开更多

关键词 配气系统 质量流量控制器 混合标准气 高精密

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稀释法发生低含量硫化氢气体方法的研究 被引量：8

2

作者 胡树国 杨圣辉 +2 位作者 吴海 盖良京 李梦怡 《计量学报》 CSCD 北大核心 2011年第2期187-192,共6页

研制了采用高精度质量流量控制器组成的气体稀释装置，并通过不同种类气体标准物质对稀释装置的性能进行评价。将装置用于低含量硫化氢气体的发生，经硫化氢气体标准物质对装置多次测试得出结论，稀释装置能够快速、准确发生低含量的硫... 研制了采用高精度质量流量控制器组成的气体稀释装置，并通过不同种类气体标准物质对稀释装置的性能进行评价。将装置用于低含量硫化氢气体的发生，经硫化氢气体标准物质对装置多次测试得出结论，稀释装置能够快速、准确发生低含量的硫化氢气体，且具有较好线性、准确度和重现性。 展开更多

关键词 计量学 气体稀释装置 H2S 质量流量控制器 准确度 重现性

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ITER气体注入系统注入管线和气体流量控制阀特性研究

3

作者 谷正阳 赵宇轩 +5 位作者 李波 李伟 夏志伟 邓博文 刘浩 宫伟祥 《中国测试》 CAS 北大核心 2024年第5期180-185,共6页

为验证国际热核聚变实验堆计划(ITER)的气体注入系统(GIS)的设计是否能够满足装置运行的要求,以及为优化气体注入系统的气体加料控制模式提供直接而可靠的数据支撑。该研究在基于ITER GIS最终设计阶段提供的设计方案的基础上,在模拟实... 为验证国际热核聚变实验堆计划(ITER)的气体注入系统(GIS)的设计是否能够满足装置运行的要求,以及为优化气体注入系统的气体加料控制模式提供直接而可靠的数据支撑。该研究在基于ITER GIS最终设计阶段提供的设计方案的基础上,在模拟实验平台上进行实验研究,该研究涉及燃料气体H2、D2以及杂质气体Ne、Ar、N2及其混合气体的注入特性,包括其供气压力、注入管线结构对响应时间的影响。实验结论证明,气体注入系统的设计可以满足ITER装置的运行要求,且实验数据为ITER装置的气体控制模式,尤其是实现杂质气体快速、精确的控制,从而保障ITER装置安全运行,提供有力的技术支持。 展开更多

关键词 国际热核聚变实验堆计划 气体注入系统 气体输运特性 质量流量控制阀

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质量流量计流量误差分析 被引量：2

4

作者 李晓峰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期102-106,共5页

质量流量计（ＭＦＣ）广泛用于微电子工艺气体的流量控制。硅片制造工艺水平通常取决于对工艺过程中气体流量的精确控制。目前在线使用的质量流量计对工艺过程有较大影响，包括质量流量计的设计缺陷和外围条件的影响。现代工艺水平对质... 质量流量计（ＭＦＣ）广泛用于微电子工艺气体的流量控制。硅片制造工艺水平通常取决于对工艺过程中气体流量的精确控制。目前在线使用的质量流量计对工艺过程有较大影响，包括质量流量计的设计缺陷和外围条件的影响。现代工艺水平对质量流量计提出了更高要求。根据质量流量计的设计机理和外围条件，分析了ＭＦＣ对相关气体工艺的影响。 展开更多

关键词 质量流量计 流量计 误差分析

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一种应用于隔爆试验装置中的新型自动配气系统 被引量：3

5

作者 季晓华 王志明 《工矿自动化》 北大核心 2014年第4期87-89,共3页

针对应用于隔爆试验装置中的传统配气方法存在配气速度慢、系统体积较大的问题,设计了一种基于质量流量法的自动配气系统。该系统采用质量流量控制器精确控制多种不同气体的流量,输出的多种气体经混合装置均匀混合后,由O2分析仪和H2分... 针对应用于隔爆试验装置中的传统配气方法存在配气速度慢、系统体积较大的问题,设计了一种基于质量流量法的自动配气系统。该系统采用质量流量控制器精确控制多种不同气体的流量,输出的多种气体经混合装置均匀混合后,由O2分析仪和H2分析仪实时监测混合气体的体积分数。测试结果表明,该配气系统配气速度快、结构简单,配制的多种气体体积分数精度能满足GB 3836.2—2010的要求。 展开更多

关键词 隔爆试验装置 自动配气 质量流量控制器 三元配气 混合气体

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浅析汽车定量装车控制系统的设计及应用 被引量：2

6

作者 白霞 《神华科技》 2018年第2期84-88,共5页

油品、中间物料及成品物料装车外运是炼油、化工销售的一个重要环节。配置合理的汽车定量装车控制系统和现场关键仪表设备,不仅提高了计量精度、安全性能、环保性能和工作效率,还为企业提高了管理水平和销售效益。本文主要介绍定量装车... 油品、中间物料及成品物料装车外运是炼油、化工销售的一个重要环节。配置合理的汽车定量装车控制系统和现场关键仪表设备,不仅提高了计量精度、安全性能、环保性能和工作效率,还为企业提高了管理水平和销售效益。本文主要介绍定量装车控制系统结构、关键功能、装车的流程及现场关键仪表设备的比选,在项目中能灵活合理地选择应用。 展开更多

关键词 定量装车系统 控制系统 批量控制仪 二段式球阀 质量流量计 体积流量计

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一种新型动态配气仪研究 被引量：2

7

作者 王美霞 苏晓舟 +1 位作者 戎伟丰 黄汉林 《中国职业医学》 CAS 北大核心 2014年第4期420-423,共4页

目的研制一种将液配气和气配气合二为一的新型动态配气仪。方法当原料气在常温下为液态时采用扩散管法,利用减重称量法计算出物质在标准扩散管的扩散速率,以空气或氮气作为载气(稀释气),通过调节其流量即可得到所需质量浓度的标准气体;... 目的研制一种将液配气和气配气合二为一的新型动态配气仪。方法当原料气在常温下为液态时采用扩散管法,利用减重称量法计算出物质在标准扩散管的扩散速率,以空气或氮气作为载气(稀释气),通过调节其流量即可得到所需质量浓度的标准气体;当原料气在常温下为气态时采用质量流量混合法,通过精确控制原料气和稀释气的流量,加以混合后得到所需质量浓度的标准气。结果研制的样机配置的标准气浓度可达到10-9级,最大稀释比达到1∶2 000。在液配气模式的动态配气应用测试中,其精密度测试结果显示相对标准偏差(RSD)<5.00%,已达到或超过日本同类产品水平;样机气配气模式应用的精密度测试结果显示RSD<5.00%,满足仪器设计要求。结论新型动态配气仪具有液配气和气配气合二为一的功能,稳定性较高,精密度好,能长时间连续稳定发生标准气体。 展开更多

关键词 动态配气 标准气体 扩散管 质量流量控制器

原文传递

全自动极限氧指数测定仪的研发 被引量：1

8

作者 白振华 管阳春 +1 位作者 穆岩 韩祥 《棉纺织技术》 CAS 北大核心 2019年第5期45-48,共4页

探讨全自动极限氧指数测定仪的开发过程。该全自动极限氧指数测定仪以PLC逻辑控制器、质量流量控制器为核心部件,配合开发专用上位机操作软件,实现了氧浓度的全自动调节,试样上边沿自动均匀点燃,同时记录续燃时间和阴燃时间,极限氧指数... 探讨全自动极限氧指数测定仪的开发过程。该全自动极限氧指数测定仪以PLC逻辑控制器、质量流量控制器为核心部件,配合开发专用上位机操作软件,实现了氧浓度的全自动调节,试样上边沿自动均匀点燃,同时记录续燃时间和阴燃时间,极限氧指数平均误差0.1%,平均每次试验节省2.03 h。认为:该仪器试验结果准确性高、效率高,为阻燃性能的检测提供了可靠保证。 展开更多

关键词 极限氧指数 极限氧指数测定仪 PLC逻辑控制器 质量流量控制器 阻燃性能

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MOCVD系统的气体流量自动控制研究 被引量：1

9

作者 王涛 高爱华 张伟 《真空电子技术》 2007年第1期56-58,共3页

研究了金属有机物化学气相沉积(MOCVD)系统中气体流量的自动控制方法。研究分析了基于质量流量控制器、可编程序控制器和触摸屏的自动控制系统气体流量自动控制方法。该方法提高了MOCVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性... 研究了金属有机物化学气相沉积(MOCVD)系统中气体流量的自动控制方法。研究分析了基于质量流量控制器、可编程序控制器和触摸屏的自动控制系统气体流量自动控制方法。该方法提高了MOCVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性,使得MOCVD系统气体流量控制水平有显著提高。 展开更多

关键词 金属有机物化学气相沉积 质量流量控制器 可编程序控制器 触摸屏

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气体质量流量控制器的分流器的设计 被引量：1

10

作者 苏乾益 杨桂花 《中国仪器仪表》 2016年第5期66-69,共4页

分流器是气体质量流量控制器中的一个重要部件。分流器是否合适将对气体质量流量控制器的性能指标,如精度、线性等重要指标参数有直接的影响。合适的分流器能够改善产品的精度、线性等性能指标;反之,不合适的分流器将会使得产品的精度... 分流器是气体质量流量控制器中的一个重要部件。分流器是否合适将对气体质量流量控制器的性能指标,如精度、线性等重要指标参数有直接的影响。合适的分流器能够改善产品的精度、线性等性能指标;反之,不合适的分流器将会使得产品的精度、线性等指标参数超差,最终导致产品成为不合格品。为解决分流器的设计问题,本文根据流体力学的理论,建立气体质量流量控制器的分流器的数学模型。该模型能够为分流器的设计和计算提供理论依据。 展开更多

关键词 气体 质量流量控制器 分流器 设计

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CMOSens~流量计和控制器在NO输送系统中的应用 被引量：1

11

作者 张红涛 刘仲明 +1 位作者 朱学峰 邬江洪 《中国医学物理学杂志》 CSCD 2006年第4期280-283,279,共5页

本文在研究分析了CMOSens质量流量计和控制器的基础上,研究设计了一套能与呼吸机周期同步且成比例地释放NO标气的NO输送系统,并用N O/NO 2电化学传感器连续监测治疗气中NO浓度和二氧化氮(NO 2)浓度。在NO治疗气浓度为20 ppm的情况下,通... 本文在研究分析了CMOSens质量流量计和控制器的基础上,研究设计了一套能与呼吸机周期同步且成比例地释放NO标气的NO输送系统,并用N O/NO 2电化学传感器连续监测治疗气中NO浓度和二氧化氮(NO 2)浓度。在NO治疗气浓度为20 ppm的情况下,通过整定系统软件参数后,呼吸机的吸气流量和NO供给流量的相位差为0,NO检测浓度相比较整定前的检测值平均增大2.15 ppm,更接近于NO设定浓度值,NO 2检测浓度≤0.2 ppm属于安全范围。结果表明经过整定后的系统系实现了和呼吸机周期同步地供给NO标气,并且提高了NO治疗气的精度、降低了NO由于被氧化而生成NO 2的可能性。 展开更多

关键词 肺动脉高压 质量流量控制器 周期同步 相位差

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基于流量校准的吸附测量方法及误差分析

12

作者 刘碧强 曹海山 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期1597-1605,共9页

多孔吸附材料广泛应用于分离提纯、气体储存和工业催化等领域,吸附等温线的测定对研究吸附性质具有重要意义。针对传统容积法易受管路温度均匀性影响的问题,介绍了一种基于流量校准的吸附测量方法。分析了两种方法的误差传递,并对比了... 多孔吸附材料广泛应用于分离提纯、气体储存和工业催化等领域,吸附等温线的测定对研究吸附性质具有重要意义。针对传统容积法易受管路温度均匀性影响的问题,介绍了一种基于流量校准的吸附测量方法。分析了两种方法的误差传递,并对比了结构参数、物性参数和仪表精度对测量结果的影响。分析结果显示,增大校准球体积和样品室容积可提升传统容积法测量精度,提升样品量、比过剩吸附量、密度和仪表精度,可提升两种方法的测量精度。相比传统容积法,基于流量校准的吸附测量方法误差因子数量更少,可实现更低的测量误差。研究成果对提升容积法吸附测量精度具有指导意义。 展开更多

关键词 吸附 测量 状态方程 误差分析 流量控制器 不确定度

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气体质量流量控制器在地浸采铀中的应用 被引量：1

13

作者 杜志明 王立民 廖文胜 《铀矿冶》 CAS 2020年第2期92-97,共6页

介绍了在中国地浸采铀领域中气体流量加入计量的控制现状及存在的问题。针对CO2+O2地浸采铀中氧气加入的特点,开展了气体质量流量设备的选型试验。为解决配制中气体返水损坏设备的难题,研制了一套气体质量流量控制系统。现场应用表明,... 介绍了在中国地浸采铀领域中气体流量加入计量的控制现状及存在的问题。针对CO2+O2地浸采铀中氧气加入的特点,开展了气体质量流量设备的选型试验。为解决配制中气体返水损坏设备的难题,研制了一套气体质量流量控制系统。现场应用表明,在气、液压力连续变化的复杂条件下,该系统实现了对气体的高精度计量,可就地和远程方式实时调节、显示、记录气体的加入参数,确保了气体流量控制系统的稳定运行,降低了劳动强度,达到了技术目标。 展开更多

关键词 气体计量 地浸采铀 质量流量 流量控制器

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5850i型质量流量控制器的原理及应用

14

作者 王长勋 《石油化工自动化》 CAS 2002年第2期78-79,共2页

介绍了Brooks公司生产的 5 85 0i型质量流量控制器的测量原理。

关键词 5850i型 质量流量控制器 原理 应用 COD分析仪

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微重力环境中的气体质量流量控制器研究 被引量：1

15

作者 李明 于强 +1 位作者 翟光杰 孙志斌 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期841-845,共5页

提出了一种高可靠气体质量流量控制器设计.介绍了该流量控制器的原理和结构.通过比较不同的气体流量传感器和阀门,选择了可满足空间科学实验设备可靠性要求的MEMS传感器和针阀.MEMS质量流量计的输出电压(代表实际气体流量),经过减法电... 提出了一种高可靠气体质量流量控制器设计.介绍了该流量控制器的原理和结构.通过比较不同的气体流量传感器和阀门,选择了可满足空间科学实验设备可靠性要求的MEMS传感器和针阀.MEMS质量流量计的输出电压(代表实际气体流量),经过减法电路放大和A/D采样之后,与设定电压(代表设定的气流流量)进行比较,差值信号输入给PID控制器,由其输出步进电机的控制脉冲数和方向,步进电机驱动器驱动电机调节流过针阀的气体流量,使之与设定流量相等.给出了利用该气体质量流量控制器控制氧气流量的实验结果.该系统可实现流量的灵活调节,并具备空间科学实验设备所要求的性能,为未来在空间利用气体流量连续可调的质量流量控制计进行燃烧科学实验奠定了基础. 展开更多

关键词 空间燃烧实验 质量流量控制计 MEMS

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基于现场总线技术的科里奥利粉料流量测控仪表设计 被引量：1

16

作者 耿春明 储成 满庆丰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第9期108-110,共3页

针对目前应用的JD_Coriolis BH I型科里奥利粉料质量流量测控仪表通讯功能的不足,设计出了基于PROFI-BUS-DP现场总线技术和通用串行总线(Universal Serial Bus,USB)技术通讯方式的测控仪表,并且给出了具体的软、硬件设计方法。实验和生... 针对目前应用的JD_Coriolis BH I型科里奥利粉料质量流量测控仪表通讯功能的不足,设计出了基于PROFI-BUS-DP现场总线技术和通用串行总线(Universal Serial Bus,USB)技术通讯方式的测控仪表,并且给出了具体的软、硬件设计方法。实验和生产线使用结果表明,采用uCOS-II操作系统为软件平台,以STM32F-32-bit ARM Cortex微处理器为硬件平台设计的测控系统实时性强,系统运行稳定。采用的PROFIBUS-DP现场总线技术和通用串行总线通讯(USB)技术,以其大数据量传递,受干扰小以及即插即用等优点,将进一步改善测控仪表与中央控制室、测控仪表与用户的数据交互能力。 展开更多

关键词 现场总线技术 通用串行总线 科里奥利 粉料流量 质量流量计

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基于C8051F410单片机的流量仪设计与应用 被引量：1

17

作者 赵祖龙 赖万昌 《中国科技信息》 2013年第5期70-71,共2页

设计实现了一种基于C8051F410为核心的高稳定性和高性价比气体流量仪。利用C8051F410单片机片内的A/D和D/A转换器来采集和输出信号,从而达到控制质量流量控制器的目的。该流量仪具有电路设计简单、可靠性好、性价比高、检测精度高等优点。

关键词 C8051F410单片机 FM12864-12L 质量流量控制器 A/D D/A

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现场总线在科里奥利粉料流量测控系统的应用 被引量：1

18

作者 贾路尧 满庆丰 +2 位作者 耿春明 储成 刘亚 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第1期77-78,82,共3页

针对目前科里奥利粉料流量测控系统模拟量通讯漂移和易受干扰的缺点以及测量信号传输距离受限的现状,文中提出了将PROFIBUS-DP总线和CAN总线技术运用到测控系统中,并给出了设计方案。采用PROFIBUS-DP总线替代模拟量与现场PLC通信,使得... 针对目前科里奥利粉料流量测控系统模拟量通讯漂移和易受干扰的缺点以及测量信号传输距离受限的现状,文中提出了将PROFIBUS-DP总线和CAN总线技术运用到测控系统中,并给出了设计方案。采用PROFIBUS-DP总线替代模拟量与现场PLC通信,使得通信变得智能可靠。通过CAN总线传送测量信号,使得测量信息的传输更加准确,测控仪表的安装位置变得灵活,能够隔离恶劣的现场环境,提高了系统的测控精度和可靠性。 展开更多

关键词 现场总线 PROFIBUS-DP CAN 科里奥利 粉料流量 质量流量计

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一种智能化NO输送系统的研制 被引量：1

19

作者 阮广福 《广东教育学院学报》 2009年第3期62-66,共5页

为了满足临床吸入一氧化氮(NO)治疗安全与可靠的要求,研制一种和呼吸机同步的一氧化氮吸入装置是至关重要的.该装置使用气体流量计(GFM)检测呼吸机的吸气流量,通过气体稀释公式计算出在治疗条件下NO标气的流量,并由质量流量控制器(MFC)... 为了满足临床吸入一氧化氮(NO)治疗安全与可靠的要求,研制一种和呼吸机同步的一氧化氮吸入装置是至关重要的.该装置使用气体流量计(GFM)检测呼吸机的吸气流量,通过气体稀释公式计算出在治疗条件下NO标气的流量,并由质量流量控制器(MFC)来控制NO标气送往呼吸回路,同时采用NO/NO2电化学传感器对进入人体前的治疗气中NO浓度和二氧化氮(NO2)浓度进行监测.试验结果表明:该一氧化氮吸入装置供NO标气相对于呼吸机供气滞后不到200 ms,NO气体的用量相对于持续供气时节约了E/(I+E)(吸呼比:I∶E)、NO2的生成量<2 mg/L,从而不仅实现了监测与配气的智能化,而且也提高了NO治疗气精度、确保了治疗的可靠性与安全性. 展开更多

关键词 一氧化氮(NO) 肺动脉高压 周期同步 质量流量控制器 响应时间

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细胞培养供气装置及相关技术的研究进展 被引量：1

20

作者 王春晨 陈锋 +6 位作者 徐新喜 张广 孙建军 余明 李良喆 董正阳 吴太虎 《医疗卫生装备》 CAS 2016年第12期125-129,共5页

供气装置是通过特定的气体混合配比实现的,能够为细胞培养提供适宜气体环境的一类仪器设备,是细胞培养设备的重要组成部分。介绍了不同种类供气装置的国内外研究现状及进展,并对代表性供气装置的关键技术、细胞培养供气装置及其相关技... 供气装置是通过特定的气体混合配比实现的,能够为细胞培养提供适宜气体环境的一类仪器设备,是细胞培养设备的重要组成部分。介绍了不同种类供气装置的国内外研究现状及进展,并对代表性供气装置的关键技术、细胞培养供气装置及其相关技术未来的发展趋势进行了分析,指出供气装置能够满足各类细胞培养实验所需要的气体环境,将会在生物研究中发挥更大的作用。 展开更多

关键词 细胞培养 供气装置 气体混合配比 质量流量控制器 自动控制 补偿机制

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