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界面梯度对TiN／不锈钢涂层应力的影响 被引量：2
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作者 李戈扬 漆玄 +3 位作者 施晓蓉 李鹏兴 张流强 郑永铭 《功能材料》 EI CAS CSCD 1996年第6期569-572,共4页
气相沉积表面涂层在科学技术各领域得到广泛应用，然而，由于涂层与基体在化学和物理性质上的差异，使得涂层与基体在界面两侧产生结构和性能上的突变，影响了涂层功能的充分发挥。为此，采用多靶磁控溅射技术制备了具有梯度过渡层的Ｔ... 气相沉积表面涂层在科学技术各领域得到广泛应用，然而，由于涂层与基体在化学和物理性质上的差异，使得涂层与基体在界面两侧产生结构和性能上的突变，影响了涂层功能的充分发挥。为此，采用多靶磁控溅射技术制备了具有梯度过渡层的ＴｉＮ／不锈钢涂层，并研究了梯度层对涂层内应力的影响。研究结果表明：采用多靶磁控溅射技术，分别控制各靶的功率，能够精确控制梯度层的成份变化，制备不同厚度的镀层；应力分析显示，随梯度过渡层厚度的增加，涂层的内应力明显降低。 展开更多
关键词 磁控溅射 界面梯度 涂层 内应力 不锈钢 氮化钛
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