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节能窗薄膜张力控制系统的设计
1
作者
姚庆梅
郭亚
+2 位作者
曹建荣
张永坚
许夫明
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
北大核心
2017年第1期116-120,共5页
针对磁控溅射节能窗膜生产线中PET薄膜具有易拉伸变形,导致镀膜生产无法正常工作的问题,对PET薄膜卷的收、放提出了恒张力、恒线速度的控制进行了设计。在对张力产生的原因及动力学方程进行分析的基础上建立了放卷过程的数学模型,并从...
针对磁控溅射节能窗膜生产线中PET薄膜具有易拉伸变形,导致镀膜生产无法正常工作的问题,对PET薄膜卷的收、放提出了恒张力、恒线速度的控制进行了设计。在对张力产生的原因及动力学方程进行分析的基础上建立了放卷过程的数学模型,并从该模型出发,采用模型参考自适应张力控制策略,设计了PLC技术和变频器技术相结合的控制方案,以满足系统的恒张力、恒线速度要求。通过系统仿真和现场运行证明,该控制系统达到了预期的控制效果。
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关键词
磁控溅射
真空镀膜
张力控制
可编程逻辑控制器
变频器技术
下载PDF
职称材料
外加磁场对磁控溅射过程及薄膜物性的影响
被引量：
1
2
作者
朱炎
狄国庆
赵登涛
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2001年第4期384-388,共5页
通过在放电空间中引入垂直基片方向有梯度的磁场,使得利用普通的平面磁控溅射技术可以方便地制备磁性薄膜。与此同时,磁性薄膜的许多物理性能发生了变化。这种变化还出现于非磁性靶的情况中。本工作对有、无磁场时溅射的过程与结果作了...
通过在放电空间中引入垂直基片方向有梯度的磁场,使得利用普通的平面磁控溅射技术可以方便地制备磁性薄膜。与此同时,磁性薄膜的许多物理性能发生了变化。这种变化还出现于非磁性靶的情况中。本工作对有、无磁场时溅射的过程与结果作了比较,包括自偏压值,薄膜结晶状况,薄膜磁性能的变化等等。通过比较认为,带电粒子在放电空间中的特殊磁场位形中的运动是变化的根本原因。
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关键词
梯度
磁场
磁控溅射
薄膜
物理性能
原文传递
AgCo颗粒膜的制备工艺及巨磁电阻效应
被引量：
1
3
作者
郑远开
李佐宜
+5 位作者
于军
林更琪
卢正启
彭子龙
邱进军
谢基凡
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第5期462-464,共3页
采用磁控射频溅射法制备了AgCo颗粒膜；研究了薄膜成份及制备工艺对薄膜巨磁电阻效应的关系。在低Co含量时，薄膜磁电阻变化率随着Co含量的增加和退火温度的升高而变大。
关键词
AgCo颗粒膜
巨膜电阻效应
关控射频
薄膜
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职称材料
题名
节能窗薄膜张力控制系统的设计
1
作者
姚庆梅
郭亚
曹建荣
张永坚
许夫明
机构
山东建筑大学信息与电气工程学院
出处
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
北大核心
2017年第1期116-120,共5页
基金
山东省科技厅科技发展基金资助项目(2013GGX10131)
山东省建设厅科技基金资助项目(2010QG007)
文摘
针对磁控溅射节能窗膜生产线中PET薄膜具有易拉伸变形,导致镀膜生产无法正常工作的问题,对PET薄膜卷的收、放提出了恒张力、恒线速度的控制进行了设计。在对张力产生的原因及动力学方程进行分析的基础上建立了放卷过程的数学模型,并从该模型出发,采用模型参考自适应张力控制策略,设计了PLC技术和变频器技术相结合的控制方案,以满足系统的恒张力、恒线速度要求。通过系统仿真和现场运行证明,该控制系统达到了预期的控制效果。
关键词
磁控溅射
真空镀膜
张力控制
可编程逻辑控制器
变频器技术
Keywords
magnetric
sputtered
vacuum
coating
tension
control
PLC
inverter
technology
分类号
TP23 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
外加磁场对磁控溅射过程及薄膜物性的影响
被引量：
1
2
作者
朱炎
狄国庆
赵登涛
机构
苏州大学物理系薄膜材料实验室
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2001年第4期384-388,共5页
文摘
通过在放电空间中引入垂直基片方向有梯度的磁场,使得利用普通的平面磁控溅射技术可以方便地制备磁性薄膜。与此同时,磁性薄膜的许多物理性能发生了变化。这种变化还出现于非磁性靶的情况中。本工作对有、无磁场时溅射的过程与结果作了比较,包括自偏压值,薄膜结晶状况,薄膜磁性能的变化等等。通过比较认为,带电粒子在放电空间中的特殊磁场位形中的运动是变化的根本原因。
关键词
梯度
磁场
磁控溅射
薄膜
物理性能
Keywords
gradient
magnetic
field
magnetr
on
sputter
ing
thin
films
分类号
O484 [理学—固体物理]
原文传递
题名
AgCo颗粒膜的制备工艺及巨磁电阻效应
被引量：
1
3
作者
郑远开
李佐宜
于军
林更琪
卢正启
彭子龙
邱进军
谢基凡
机构
华中理工大学固体电子学系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第5期462-464,共3页
基金
武汉市晨光计划资助
文摘
采用磁控射频溅射法制备了AgCo颗粒膜；研究了薄膜成份及制备工艺对薄膜巨磁电阻效应的关系。在低Co含量时，薄膜磁电阻变化率随着Co含量的增加和退火温度的升高而变大。
关键词
AgCo颗粒膜
巨膜电阻效应
关控射频
薄膜
Keywords
AgCo
granular
film,
giant
magnetoresistance,
magnetr
ou
RF
sputter
ing
system
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
O484.4 [理学—物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
节能窗薄膜张力控制系统的设计
姚庆梅
郭亚
曹建荣
张永坚
许夫明
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
北大核心
2017
0
下载PDF
职称材料
2
外加磁场对磁控溅射过程及薄膜物性的影响
朱炎
狄国庆
赵登涛
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
2001
1
原文传递
3
AgCo颗粒膜的制备工艺及巨磁电阻效应
郑远开
李佐宜
于军
林更琪
卢正启
彭子龙
邱进军
谢基凡
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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