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光栅式双层悬臂梁结构设计与闭环反馈控制
被引量：
2
1
作者
陶新
欧卫林
何文波
《光学与光电技术》
2021年第4期45-54,共10页
加速度计在地球物理、惯性导航、油气勘探和地震检波等多个领域有广泛的应用,基于微光栅MEMS加速度计具有抗电磁干扰、高精度、易集成、体积小、重量轻等优势。针对微光栅加速度计受到交叉轴串扰导致的测量精度不高的问题,提出了一种基...
加速度计在地球物理、惯性导航、油气勘探和地震检波等多个领域有广泛的应用,基于微光栅MEMS加速度计具有抗电磁干扰、高精度、易集成、体积小、重量轻等优势。针对微光栅加速度计受到交叉轴串扰导致的测量精度不高的问题,提出了一种基于双器件层SOI基片制备敏感结构设计及其闭环控制方法,通过采用Comsol有限元仿真分析可知,该设计理论上,当上下层悬臂梁厚度差为0.5μm时,交叉轴串扰仅为0.01%,同时结构的敏感轴与非敏感轴的模态分离比传统结构提升了5.3倍,有效提高了敏感结构抗高阶机械模态扰动的能力。在此基础上,分析了静电力和磁电反馈的特点,并根据器件自身结构和电气特性,采用磁电反馈方式以增大线性范围。
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关键词
加速度测量
悬臂梁
交叉轴串扰
有限元仿真
闭环反馈控制
磁电反馈
原文传递
基于复合磁电材料的新型磁传感器高CMRR前端放大器设计
被引量：
1
2
作者
陈帅
景为平
+2 位作者
陈弘达
鲁华祥
李言谨
《磁性材料及器件》
CSCD
北大核心
2010年第6期41-45,共5页
由于弛豫铁电材料磁电传感器是微弱的高阻抗信号源,很容易给系统引入50Hz的强干扰信号,基于这一特点,设计了一款高共模抑制比(CMRR)的前端放大器集成电路。电路采用了适用于低电压工作的高输出阻抗CMOS电流镜结构以保证电路中电流镜的...
由于弛豫铁电材料磁电传感器是微弱的高阻抗信号源,很容易给系统引入50Hz的强干扰信号,基于这一特点,设计了一款高共模抑制比(CMRR)的前端放大器集成电路。电路采用了适用于低电压工作的高输出阻抗CMOS电流镜结构以保证电路中电流镜的大输出摆幅和高输出阻抗;采用电流反馈放大器结构以获得高CMRR。仿真研究表明,该电路基本满足设计要求,性能优良。
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关键词
弛豫铁电材料
磁电传感器
前端放大器
CMOS电流镜
电流反馈
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职称材料
题名
光栅式双层悬臂梁结构设计与闭环反馈控制
被引量：
2
1
作者
陶新
欧卫林
何文波
机构
华中光电技术研究所—武汉光电国家研究中心
出处
《光学与光电技术》
2021年第4期45-54,共10页
文摘
加速度计在地球物理、惯性导航、油气勘探和地震检波等多个领域有广泛的应用,基于微光栅MEMS加速度计具有抗电磁干扰、高精度、易集成、体积小、重量轻等优势。针对微光栅加速度计受到交叉轴串扰导致的测量精度不高的问题,提出了一种基于双器件层SOI基片制备敏感结构设计及其闭环控制方法,通过采用Comsol有限元仿真分析可知,该设计理论上,当上下层悬臂梁厚度差为0.5μm时,交叉轴串扰仅为0.01%,同时结构的敏感轴与非敏感轴的模态分离比传统结构提升了5.3倍,有效提高了敏感结构抗高阶机械模态扰动的能力。在此基础上,分析了静电力和磁电反馈的特点,并根据器件自身结构和电气特性,采用磁电反馈方式以增大线性范围。
关键词
加速度测量
悬臂梁
交叉轴串扰
有限元仿真
闭环反馈控制
磁电反馈
Keywords
acceleration
measurement
cantilever
cross-axis
interference
finite
element
simulation
closed-loop
feedback
control
magnetoelectric
feedback
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
原文传递
题名
基于复合磁电材料的新型磁传感器高CMRR前端放大器设计
被引量：
1
2
作者
陈帅
景为平
陈弘达
鲁华祥
李言谨
机构
南通大学江苏省专用集成电路设计重点实验室
中国科学院传感技术联合国家重点实验室
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
出处
《磁性材料及器件》
CSCD
北大核心
2010年第6期41-45,共5页
基金
传感技术联合国家重点实验室基金资助项目(Skt0804)
南通市科技局2009AA科技创新计划(工业)资助项目(AA2009024)
文摘
由于弛豫铁电材料磁电传感器是微弱的高阻抗信号源,很容易给系统引入50Hz的强干扰信号,基于这一特点,设计了一款高共模抑制比(CMRR)的前端放大器集成电路。电路采用了适用于低电压工作的高输出阻抗CMOS电流镜结构以保证电路中电流镜的大输出摆幅和高输出阻抗;采用电流反馈放大器结构以获得高CMRR。仿真研究表明,该电路基本满足设计要求,性能优良。
关键词
弛豫铁电材料
磁电传感器
前端放大器
CMOS电流镜
电流反馈
Keywords
relaxor
ferroelectric
material
magnetoelectric
sensor
front-end
amplifier
integrated
circuit
CMOS
current
mirror
current
feedback
technique
分类号
TN72 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光栅式双层悬臂梁结构设计与闭环反馈控制
陶新
欧卫林
何文波
《光学与光电技术》
2021
2
原文传递
2
基于复合磁电材料的新型磁传感器高CMRR前端放大器设计
陈帅
景为平
陈弘达
鲁华祥
李言谨
《磁性材料及器件》
CSCD
北大核心
2010
1
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职称材料
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