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Mg_(0.66)Zn_(0.34)O薄膜的微观结构及光学性能(英文) 被引量：2
1
作者 刘全生 张希艳 +6 位作者 吴昊 王晓春 柏朝晖 王能利 米晓云 卢利平 袁东方 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1555-1559,共5页
采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备了Mg0.66Zn0.34O薄膜,研究了Mg0.66Zn0.34O薄膜的结构和光学性能,结果表明:石英玻璃衬底上Mg0.66Zn0.34O薄膜呈面心立方岩盐结构,晶格常数为0.42338nm,比MgO的晶格常数(0.0021nm)大。扫描电镜分析显... 采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备了Mg0.66Zn0.34O薄膜,研究了Mg0.66Zn0.34O薄膜的结构和光学性能,结果表明:石英玻璃衬底上Mg0.66Zn0.34O薄膜呈面心立方岩盐结构,晶格常数为0.42338nm,比MgO的晶格常数(0.0021nm)大。扫描电镜分析显示:薄膜均匀且平均粒径约为10nm。吸收光谱表明:薄膜的吸收带边位于276nm,相应的禁带宽度为4.49eV,该薄膜的吸收边位于日盲区;发光光谱由3个发射峰组成,峰值分别位于384.8nm(3.22eV)、443.7nm(2.79eV)和532.9nm(2.33eV),激发光谱峰值位于379nm(3.28eV)。 展开更多
关键词 氧化锌镁薄膜 光学性能 石英玻璃衬底 日盲区
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蓝宝石衬底上透明Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备及表征
2
作者 张希艳 刘全生 +3 位作者 王玉霞 柏朝晖 王晓春 孙海鹰 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2105-2109,共5页
采用射频磁控溅射法在Al_2O_3(001)衬底上制备了高Mg含量的Mg_xZn_(1-x)O薄膜,研究了Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构和光学性能。结果表明:Al_2O_3(001)衬底上Mg_xZn_(1-x)O薄膜的组分为Mg_(0.47)Zn_(0.53)O,薄膜呈六方纤锌矿结构,薄膜沿c轴... 采用射频磁控溅射法在Al_2O_3(001)衬底上制备了高Mg含量的Mg_xZn_(1-x)O薄膜,研究了Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构和光学性能。结果表明:Al_2O_3(001)衬底上Mg_xZn_(1-x)O薄膜的组分为Mg_(0.47)Zn_(0.53)O,薄膜呈六方纤锌矿结构,薄膜沿c轴方向取向生长,且c轴方向晶格增大0.0029 nm。薄膜的吸收边峰值位于292nm,对应的禁带宽度为4.24ev。薄膜平均粒径约为10～20nm,在深紫外-可见光激发下的荧光发射峰分别位于320nm和400nm附近。 展开更多
关键词 氧化锌镁 射频磁控溅射 蓝宝石衬底 透明薄膜
原文传递
Mg掺杂对溶胶-凝胶法生长MZO纳米薄膜性能的影响 被引量：1
3
作者 贲旭博 端木庆铎 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第2期115-120,共6页
通过溶胶-凝胶(sol-gel)法分别在石英及Si衬底上制备了含不同Mg原子数分数的氧化镁锌(MZO)纳米薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高阻测量仪研究了Mg掺杂对MZO纳米薄膜的表面形貌、结构及电学性能等方面的影响。结果... 通过溶胶-凝胶(sol-gel)法分别在石英及Si衬底上制备了含不同Mg原子数分数的氧化镁锌(MZO)纳米薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高阻测量仪研究了Mg掺杂对MZO纳米薄膜的表面形貌、结构及电学性能等方面的影响。结果表明,随着Mg原子数分数的增加,MZO薄膜的晶粒数目增加,且排列致密和均匀,表现为ZnO的六方纤锌矿结构;当Mg原子数分数增加到一定程度时,薄膜XRD的半高宽(FWHM)增大,结晶质量降低,MZO薄膜中ZnO的含量减少,晶粒尺寸变小,其电阻率明显增加且方块电阻稳定性较好;通过紫外-可见光分光度计(UV-VIS)透射率曲线测试,发现MZO薄膜在紫外光区有明显的吸收特性,随着Mg含量的增加透射率曲线发生蓝移。 展开更多
关键词 氧化镁锌(MZO)纳米薄膜 溶胶-凝胶法 Mg掺杂 形貌结构 薄膜性能
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